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有機(jī)層沉積裝置、有機(jī)發(fā)光顯示裝置和顯示裝置制造方法與流程

文檔序號:12251374閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種有機(jī)層沉積裝置,包括:

沉積單元,包括與基板間隔開的至少一個(gè)沉積組件,所述至少一個(gè)沉積組件將材料沉積在所述基板上,

所述至少一個(gè)沉積組件包括:

沉積源,排放沉積材料;

沉積源噴嘴單元,安裝在所述沉積源上,所述沉積源噴嘴單元具有形成在其中的沉積源噴嘴;以及

多個(gè)圖案片,面對所述沉積源噴嘴單元并且彼此間隔開,以使得所述沉積材料經(jīng)由所述多個(gè)圖案片沉積在所述基板的多個(gè)不同區(qū)域上。

2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述基板的所述多個(gè)不同區(qū)域中的兩個(gè)彼此平行。

3.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述多個(gè)圖案片位于單個(gè)空間內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述沉積源位于來自所述多個(gè)圖案片之中的相鄰圖案片之間。

5.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中:

所述至少一個(gè)沉積組件包括多個(gè)所述沉積源,以及

所述多個(gè)沉積源中的每個(gè)與所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)對應(yīng)。

6.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述多個(gè)沉積源分別位于不同的空間內(nèi)。

7.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述至少一個(gè)沉 積組件還包括框架,所述多個(gè)圖案片安裝于所述框架中。

8.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述至少一個(gè)沉積組件還包括多個(gè)框架,所述圖案片中的每個(gè)分別安裝在所述多個(gè)框架中的一個(gè)中。

9.如權(quán)利要求8所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,來自所述多個(gè)框架之中的相鄰框架彼此至少部分重疊。

10.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述多個(gè)圖案片布置在相同的平面上。

11.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,來自所述多個(gè)圖案片之中的相鄰圖案片關(guān)于穿過所述相鄰圖案片之間并且平行于沉積行進(jìn)方向的直線成之字形。

12.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)關(guān)于穿過相鄰圖案片之間平行于沉積行進(jìn)方向的直線是偏心的。

13.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,還包括與所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)相鄰的第一遮蔽構(gòu)件。

14.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述多個(gè)圖案片布置在關(guān)于所述基板轉(zhuǎn)移方向的斜線方向上。

15.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述至少一個(gè)沉積組件還包括第二遮蔽構(gòu)件,所述第二遮蔽構(gòu)件將所述多個(gè)圖案片彼此分離。

16.如權(quán)利要求15所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述第二遮蔽構(gòu)件位于來自所述多個(gè)圖案片之中的相鄰圖案片之間。

17.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述至少一個(gè)沉積組件在所述基板上形成圖案層。

18.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中:

所述沉積單元包括多個(gè)所述沉積組件,以及

所述多個(gè)沉積組件中的至少一些位于不同的空間內(nèi)。

19.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中:

所述沉積單元包括多個(gè)所述沉積組件,以及

所述多個(gè)沉積組件形成不同的有機(jī)層。

20.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,還包括傳送器單元,所述傳送器單元包括循環(huán)移動(dòng)移動(dòng)單元的第一傳送器單元和第二傳送器單元,其中,所述第一傳送器單元在第一方向上傳送所述移動(dòng)單元,其中所述基板已可拆卸地固定至所述移動(dòng)單元,并且第二傳送器單元在與所述第一方向相反的第二方向上傳送與所述基板分離的所述移動(dòng)單元。

21.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述沉積單元還包括室,其中所述室包括位于其中的至少一個(gè)沉積組件并且所述移動(dòng)單元穿過所述室。

22.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)層沉積裝置,還包括將所述基板與所述移動(dòng)單元分離的卸載單元,

其中:

所述移動(dòng)單元在所述第一傳送器單元與所述第二傳送器單元之間循環(huán),以及

當(dāng)所述基板通過所述第一傳送器單元移動(dòng)時(shí),固定至所述移動(dòng)單元的所述基板與所述至少一個(gè)沉積組件是間隔開的。

23.如權(quán)利要求22所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述第一傳送器單元將所述移動(dòng)單元順序傳送至加載單元、所述沉積單元、以及所述卸載單元。

24.如權(quán)利要求23所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述第二傳送器單元將所述移動(dòng)單元順序傳送至所述卸載單元、所述沉積單元、以及所述加載單元。

25.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述第一傳送器單元和所述第二傳送器單元穿過所述沉積單元。

26.如權(quán)利要求20所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,在豎直方向上,所述第一傳送器單元和所述第二傳送器單元中的一個(gè)位于另一個(gè)上。

27.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述基板和所述至少一個(gè)沉積組件彼此分離并且相對于彼此移動(dòng)。

28.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置,其中:

所述沉積源噴嘴單元包括布置在第一方向上的多個(gè)沉積源噴嘴,以及

所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)包括在垂直于所述第一方向的第二方向上的多個(gè)圖案化縫隙。

29.如權(quán)利要求28所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述沉積源、所述沉積源噴嘴單元、以及所述多個(gè)圖案片中的至少一個(gè)通過連接構(gòu)件彼此連接,并且彼此整體形成。

30.如權(quán)利要求29所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述連接構(gòu)件引導(dǎo)所述沉積材料的移動(dòng)路徑。

31.如權(quán)利要求30所述的有機(jī)層沉積裝置,其中,所述連接構(gòu)件將所述沉積源、所述沉積源噴嘴單元、以及所述多個(gè)圖案片中的至少一個(gè)之間的空間與外面屏蔽。

32.一種有機(jī)發(fā)光顯示裝置,包括:

基板;

至少一個(gè)薄膜晶體管,形成在所述基板上,所述至少一個(gè)薄膜晶體管包括半導(dǎo)體有源層、與所述半導(dǎo)體有源層隔離的柵電極、以及接觸所述半導(dǎo)體有源層的源電極和漏電極;

多個(gè)像素電極,形成在所述至少一個(gè)薄膜晶體管上;

多個(gè)有機(jī)層,分別形成在所述多個(gè)像素電極上;以及

相對電極,形成在所述多個(gè)有機(jī)層上,

所述基板上的所述多個(gè)有機(jī)層中的至少一個(gè)使用如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積裝置形成。

33.一種通過使用用于在基板上形成有機(jī)層的有機(jī)層沉積裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法,所述方法包括:

將所述基板固定至移動(dòng)單元,所述固定通過加載單元執(zhí)行;

通過使用安裝為穿過室的第一傳送器單元將已固定于所述基板的所述移動(dòng)單元傳送到所述室中;

在所述基板與所述沉積組件分離的情況下,當(dāng)所述基板相對于所述沉積組件移動(dòng)時(shí),通過將從所述室內(nèi)的沉積組件排放出的沉積材料經(jīng)由多個(gè)彼此隔開的圖案片沉積在所述基板的不同區(qū)域上,形成所述有機(jī)層;

使沉積完成的基板與所述移動(dòng)單元分離,所述分離通過卸載單元執(zhí)行;以及

通過使用安裝為穿過所述室的第二傳送器單元使與所述基板分離 的所述移動(dòng)單元轉(zhuǎn)移到所述加載單元。

34.如權(quán)利要求33所述的方法,其中,所述基板的不同區(qū)域中的兩個(gè)彼此平行。

35.如權(quán)利要求34所述的方法,其中,所述有機(jī)層是圖案層。

36.如權(quán)利要求34所述的方法,其中,多個(gè)所述圖案片關(guān)于與所述沉積材料沉積的行進(jìn)方向平行的直線成之字形。

37.如權(quán)利要求34所述的方法,其中:

所述沉積組件包括將所述沉積材料發(fā)射至外面的沉積源,以及

所述沉積源位于來自所述多個(gè)圖案片之中的相鄰圖案片之間。

38.如權(quán)利要求34所述的方法,其中:

所述沉積組件包括將所述沉積材料發(fā)射至外面的多個(gè)沉積源,以及

所述多個(gè)沉積源中的每個(gè)與所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)對應(yīng)。

39.如權(quán)利要求34所述的方法,其中,所述多個(gè)圖案片布置在相同的平面上。

40.如權(quán)利要求34所述的方法,其中,通過與所述多個(gè)圖案片中的每個(gè)相鄰的第一遮蔽構(gòu)件阻擋所述沉積材料中的一部分。

41.如權(quán)利要求34所述的方法,其中:

所述室包括多個(gè)所述沉積組件,以及

所述多個(gè)沉積組件中的至少一些位于不同的空間內(nèi)。

42.如權(quán)利要求34所述的方法,其中:

所述室包括多個(gè)所述沉積組件,以及

所述多個(gè)沉積組件形成不同的有機(jī)層。

43.如權(quán)利要求34所述的方法,其中,所述有機(jī)層由通過第二遮蔽構(gòu)件彼此隔開的多個(gè)所述圖案片中的每個(gè)來形成。

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