技術總結
本發明涉及用于對樣品去層以對樣品進行逆向工程的系統和方法。其中，所述樣品的暴露表面包括多種材料，所述系統包括：離子束打磨機；去層反饋機制；和控制系統，所述控制系統與所述離子束打磨機和所述去層反饋機制可操縱地通信，以基于所述反饋機制自動控制所述離子束打磨機的一個或更多個操作參數，從而使用所述離子束打磨機的離子束以相等的離子束移除速率移除所述多種材料中的每種材料，以從所述樣品的所述暴露表面移除具有恒定厚度的平坦的層，其中，從所述樣品的每個新暴露的表面獲取表面數據，以用于對至少一部分的所述樣品進行逆向工程。

技術研發人員：羅伯特·K·福斯特;克里斯托弗·帕沃夫伊茲;賈森·阿布特;伊恩·瓊斯;海因茨·約瑟夫·內特威切
受保護的技術使用者：泰科英賽科技有限公司
文檔號碼：201610565566
技術研發日：2012.11.12
技術公布日：2017.02.22