1.可控氣氛薄層滲碳工藝，其特征在于：所述滲碳工藝是在鈦合金上進行滲碳的工藝，所述工藝在等離子滲碳真空爐中進行，具體為：
以鈦合金作為工件極，工件極的電壓為350～400V，工件極的滲碳溫度為900～1000℃；
以石墨為源極，源極的電壓為750～900V；
以氬氣為載氣，控制氬氣的工作壓力在0.1Pa～30Pa，且隨著滲碳工藝的進行使氬氣的工作壓力逐漸減小，
滲碳時間為至少0.5h。
2.根據權利要求1所述的工藝，其特征在于：所述以氬氣為載氣，控制氬氣初始工作壓力為20～30Pa，滲碳工藝結束時氬氣工作壓力為0.1～5Pa，在滲碳過程中勻速降低氬氣的工作壓力；
滲碳時間為至少3h。
3.根據權利要求2所述的工藝，其特征在于：所述以氬氣為載氣，控制氬氣初始工作壓力為25Pa，滲碳工藝結束時氬氣工作壓力為1Pa，在滲碳過程中勻速降低氬氣的工作壓力；
滲碳時間為4h。
4.根據權利要求1所述的工藝，其特征在于：所述鈦合金為TiAl合金。
5.利用權利要求1所述工藝制得的鈦合金，其特征在于：所述鈦合金表面滲碳層為200～500微米，滲碳層的硬度為9000～12000MPa。