技術總結
本發明提供了一種靶材的制備方法，包括以下步驟：A)將鍛造后的坯料酸洗后熱處理，所述熱處理的升溫速率為10～50℃/min；B)將熱處理后的坯料放置于軋機的工裝上進行軋制；C)將軋制后的坯料進行酸洗，再進行熱處理，得到靶材；所述熱處理的升溫速率為10～50℃/min。本發明通過采用特殊的軋制工裝和快速升溫熱處理工藝，可制備直徑在400～1000mm，厚度在6～30mm的大規格靶材，且使該種靶材獲得的{111}、{100}織構組分比例控制在20～40％，織構組分分布波動控制在10％以內，能滿足28nm及以下制程的半導體應用。

技術研發人員：汪凱;李兆博;鐘景明;焦紅忠;宿康寧;王莉;馬小文
受保護的技術使用者：寧夏東方鉭業股份有限公司
文檔號碼：201611229097
技術研發日：2016.12.27
技術公布日：2017.05.31