本實用新型涉及一種輔助裝置，具體地說，是一種石墨烯薄膜連續生長支撐結構。

背景技術：

石墨烯是由碳原子構成的只有一層原子厚度的二維晶體，是目前自然界最薄、強度最高的一種新材料。而石墨烯薄膜生產方法是將含有構成薄膜元素的氣態反應劑或液態反應劑的蒸汽及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發生化學反應生長薄膜。

目前常用的石墨烯薄膜生產設備是將襯底材料放入其中，在沉底材料上生長出石墨烯薄膜后，將其取出，然后再放入新的沉底材料，進行下一次的石墨烯薄膜生長。這種生產方式工作效率低，需要多次取放，而且由于石墨烯薄膜生長需要的溫度較高，而取放時為了避免造成燙傷，需要先進行降溫，取放完成后再升溫反應，進一步延長了生產工作時間，而且反應升溫需要較大的能源消耗，增加了生產成本。

為了解決上述問題，出現了一些能夠連續生長石墨烯的設備，但這些設備在進行石墨烯連續生長時，襯底材料都需要不停移動，移動過程中容易振動、偏斜，使反應氣體無法良好均勻的與襯底材料表面接觸，影響石墨烯生長的質量，使用引導裝置又阻礙了反應熱量的流動，受熱不均勻，依然影響石墨烯生長的質量。

技術實現要素：

本實用新型針對上述現有技術存在的不足，提出一種石墨烯薄膜連續生長支撐結構。

本實用新型的石墨烯薄膜連續生長支撐結構，包括安裝在加熱真空腔室中的導軌，所述導軌安裝在加熱真空腔室內壁相對設置的支承座之間，所述導軌與對應加熱真空腔室內壁之間設置有流通間隙，所述支承座設置有流通通道，所述流通通道一端與流通間隙相連，另一端位于導軌下方。

優選的是，所述導軌兩側相對設置有限位槽，位于導軌端部的限位槽高度由內向外逐漸減小。

優選的是，所述導軌包括串連連接的多個分段。

優選的是，所述支承座在加熱真空腔室內軸向間隔且相對設置多組。

優選的是，所述的支承座為管狀，與加熱真空腔室軸向平行。

本實用新型的有益效果是：石墨烯薄膜連續生長支撐結構通過導軌支撐生長石墨烯的襯底材料，能夠減輕襯底材料在移動過程中發生振動，保證其能夠充分與反應氣體接觸，提高石墨烯的生長質量。導軌將加熱真空腔室分割成上下兩部分，通過流通間隙和流通通道，使上下兩部分氣流流通，熱量能夠充分流動，使整個加熱真空腔室內的溫度均勻，襯底材料受熱均勻，保證石墨烯的生長質量。

導軌兩側設置限位槽，容納和限制帶狀的襯底材料兩側邊緣，能夠進一步減輕襯底材料的振動，而且位于導軌端部的限位槽槽高度較小，限位效果好，而限位槽槽高度由外向內逐漸增大，使限位槽內的襯底材料上方空間逐漸增大，保證限位槽內的襯底材料也能夠充分與反應氣體接觸，保證襯底材料上表面能夠完全進行石墨烯生長，保證生長質量，提高石墨烯的面積。導軌分成多段，通過螺栓等連接件連接，拆裝容易，可以根據設備長度進行適應性調節，增強適用性。相對設置的支承座在加熱真空腔室間隔設置多組，使支承座間隔處具有較大的空間，支承座設置成管狀，支承座內軸向也能夠進行氣流流通，進一步增強了氣流流動的效果，提高熱量均勻程度，保證石墨烯生長質量。

附圖說明

附圖1為石墨烯薄膜連續生長支撐結構的結構示意圖一；

附圖2為圖1中A部分的放大圖；

附圖3為石墨烯薄膜連續生長支撐結構的結構示意圖二。

具體實施方式

為了能進一步了解本實用新型的結構、特征及其它目的，現結合所附較佳實施例詳細說明如下，所說明的較佳實施例僅用于說明本實用新型的技術方案，并非限定本實用新型。

本實用新型的具體實施方式如下：

如圖1至3所示，該石墨烯薄膜連續生長支撐結構包括安裝在加熱真空腔室1中的導軌2，導軌2安裝在加熱真空腔室1內壁相對設置的支承座3之間，導軌2直接搭接在支承座3上。

導軌2與對應加熱真空腔室1內壁之間設置有流通間隙4，支承座3設置有流通通道5，流通通道5一端與流通間隙相連，另一端位于導軌2下方。

進行石墨烯生長的箔帶等帶狀的襯底材料，從加熱真空腔室一端進入，另一端移出，位于加熱真空腔室內的襯底材料落在導軌2上，襯底材料軸向移動的過程中導軌2對其進行支撐。使用過程中，將加熱真空腔室抽真空、加熱，并向其中充入反應氣體，反應氣體在其中接觸到襯底材料表面，在襯底材料表面進行石墨烯薄膜生長。

由于導軌2安裝到加熱真空腔室1中，將加熱真空腔室1分成上下兩部分，導軌2上方和下方的加熱真空腔室1通過流通間隙4、流通通道5相連通，使加熱真空腔室1內氣流流通，熱量傳遞均勻。

為了提高導軌2的限位作用，導軌2兩側相對設置有限位槽6，帶狀襯底材料兩側邊緣位于限位槽6中。為了在保證限位效果的同時不影響石墨烯薄膜的生長，位于導軌2端部的限位槽6高度由內向外逐漸減小，限位槽6高度最小的末端在導軌2兩端進一步支撐襯底材料，導軌2中部的限位槽6高度較大，使襯底材料兩側邊緣上方具有較大的空間，反應氣體能夠順利流入到限位槽6中，與襯底材料接觸，使襯底材料整個高度方向都能夠充分與反應氣體接觸，提高生長的石墨烯薄膜的面積，增加生產效率。

為了便于拆裝和靈活使用，導軌2包括串連連接的多個分段，相鄰分段之間通過螺栓等連接件相連，限位槽6高度由內向外逐漸減小的部分可單獨制造在一個分段上，組裝在導軌兩端的位置。

為了增加加熱真空腔室上下兩部分的氣流流通，支承座3在加熱真空腔室1內軸向間隔且相對設置多組，不僅能夠在導軌2長度方向各個位置對齊進行支撐，保證其固定穩定性，而且一組相對設置的支承座3與相鄰的另一組相對設置的支承座3之間留有間隔，能夠直接流通氣流，提高流通性。

為了進一步增強流通性，支承座3為管狀，與加熱真空腔室1軸向平行，支承座3內也能夠進行氣流流通，使加熱真空腔室軸向氣流也能夠充分流動，保持熱量傳遞均勻。