本發(fā)明涉及顯示器制程監(jiān)測(cè)技術(shù)，尤其是指一種監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法。

背景技術(shù)：

目前，有機(jī)電致發(fā)光(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示屏因具有自發(fā)光、廣視角、短反應(yīng)時(shí)間、高發(fā)光效率、廣色域、低工作電壓等優(yōu)點(diǎn)成為顯示領(lǐng)域的熱點(diǎn)。其中，OLED顯示屏的制程必不可少工序?yàn)椴牧险翦儯@示屏的顯示均一性又與材料的蒸鍍均一性直接相關(guān)，蒸鍍均一性又與蒸發(fā)源所蒸發(fā)材料的溫度和蒸發(fā)速度密切相關(guān)，因此，實(shí)時(shí)監(jiān)控蒸發(fā)源的工作狀態(tài)十分重要。

現(xiàn)有技術(shù)通過(guò)監(jiān)控蒸發(fā)源的外部熱源的溫度，可以控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速率，實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)源所蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速度控制；但通過(guò)外部熱源所獲得的該溫度并不能反應(yīng)蒸發(fā)材料的溫度，與蒸發(fā)材料實(shí)際的溫度有一定的差異，又由于蒸發(fā)源是一個(gè)半封閉的裝置，其內(nèi)部溫度監(jiān)控非常困難，不能監(jiān)測(cè)獲得蒸發(fā)材料的實(shí)際溫度，因此現(xiàn)有技術(shù)對(duì)于蒸發(fā)源的內(nèi)部溫度監(jiān)測(cè)以獲得蒸發(fā)材料的實(shí)際溫度一直為技術(shù)難點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明技術(shù)方案的目的是提供一種監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，解決現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法獲得蒸發(fā)源的內(nèi)部溫度的問(wèn)題。

本發(fā)明提供一種監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，所述方法包括：

根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)；

根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第一位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第二位置的溫度；其中所述第二位置為所述第一位置在所述蒸發(fā)源的內(nèi)壁上的投影位置。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，所述根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟包括：

測(cè)量在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述噴嘴口處內(nèi)壁上第三位置的溫度和所述噴嘴口處外壁上第四位置的溫度；其中，所述第四位置為所述第三位置在所述噴嘴口處外壁上的投影位置；

根據(jù)以下公式計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)：

其中，C₀為所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，T_A為所述第三位置的溫度，T_A’為所述第四位置的溫度。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，所述根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第一位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第二位置的溫度的步驟包括：

當(dāng)所述噴嘴口處的每一傳導(dǎo)參數(shù)和所述第一位置處的對(duì)應(yīng)傳導(dǎo)參數(shù)分別對(duì)應(yīng)相同時(shí)，將所述第一位置的溫度與所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行相乘計(jì)算，獲得所述第二位置的溫度；

當(dāng)所述噴嘴口處至少一傳導(dǎo)參數(shù)與所述第一位置處的對(duì)應(yīng)傳導(dǎo)參數(shù)不相同時(shí)，根據(jù)不相同的傳導(dǎo)參數(shù)，對(duì)所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)，將所述第一位置的溫度與所述修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行相乘計(jì)算，獲得所述第二位置的溫度；

其中所述傳導(dǎo)參數(shù)包括壁厚和制成材料。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，所述根據(jù)不相同的傳導(dǎo)參數(shù)，對(duì)所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟包括：

根據(jù)預(yù)設(shè)的熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表對(duì)所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后的熱傳導(dǎo)系數(shù)，其中所述熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表中記錄了所述第一位置處的傳導(dǎo)參數(shù)、所述噴嘴口處的傳導(dǎo)參數(shù)、熱傳導(dǎo)系數(shù)和修正后的熱傳導(dǎo)系數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，在所述計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟之后，所述方法還包括：

根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第五位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第六位置的溫度；其中所述第六位置為所述第五位置在所述蒸發(fā)源的內(nèi)壁上的投影位置，且所述第五位置與所述第一位置位于不同水平面內(nèi)。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，在所述根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟之前，所述方法還包括：

在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下，測(cè)量獲得噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，所述測(cè)量獲得噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度的步驟中，采用紅外溫度檢測(cè)裝置檢測(cè)獲得噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度。

優(yōu)選地，所述的監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，其中，在所述測(cè)量獲得噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度的步驟之前，所述方法還包括：

監(jiān)控所述蒸發(fā)源開(kāi)始進(jìn)行材料蒸發(fā)的持續(xù)時(shí)間；

當(dāng)所述持續(xù)時(shí)間達(dá)到預(yù)定時(shí)長(zhǎng)時(shí)，確定所述蒸發(fā)源進(jìn)入能夠進(jìn)行內(nèi)部溫度監(jiān)測(cè)的所述當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)，執(zhí)行所述測(cè)量獲得噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度的步驟。

本發(fā)明具體實(shí)施例上述技術(shù)方案中的至少一個(gè)具有以下有益效果：

本發(fā)明實(shí)施例所述監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，通過(guò)監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，能夠獲得蒸發(fā)源在當(dāng)前狀態(tài)的熱傳導(dǎo)系數(shù)，在此基礎(chǔ)上根據(jù)蒸發(fā)源外壁上一位置點(diǎn)處的檢測(cè)溫度，能夠獲得對(duì)應(yīng)位置的內(nèi)部溫度，該內(nèi)部溫度能夠反應(yīng)蒸發(fā)源內(nèi)部在對(duì)應(yīng)位置點(diǎn)處蒸發(fā)材料的溫度，因此本發(fā)明所述方法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法獲得蒸發(fā)源的內(nèi)部溫度的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源內(nèi)部蒸鍍材料的溫度監(jiān)測(cè)和控制，以提高材料的蒸鍍效率及蒸鍍均勻性。

附圖說(shuō)明

圖1表示本發(fā)明實(shí)施例所述方法的流程示意圖；

圖2表示蒸發(fā)源的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3表示噴嘴口處的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4表示蒸發(fā)源的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，如圖1所示，所述方法包括步驟：

S110，根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)；

S120，根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第一位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第二位置的溫度；其中所述第二位置為所述第一位置在所述蒸發(fā)源的內(nèi)壁上的投影位置。

本發(fā)明實(shí)施例所述監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，通過(guò)監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，能夠獲得蒸發(fā)源在當(dāng)前狀態(tài)的熱傳導(dǎo)系數(shù)，在此基礎(chǔ)上根據(jù)蒸發(fā)源外壁上一位置點(diǎn)處的檢測(cè)溫度，能夠獲得對(duì)應(yīng)位置的內(nèi)部溫度，該內(nèi)部溫度能夠反應(yīng)蒸發(fā)源內(nèi)部在對(duì)應(yīng)位置點(diǎn)處蒸發(fā)材料的溫度，因此本發(fā)明所述方法法，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)無(wú)法獲得蒸發(fā)源的內(nèi)部溫度的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源內(nèi)部蒸鍍材料的溫度監(jiān)測(cè)和控制，以提高材料的蒸鍍效率及蒸鍍均勻性。

如圖2為現(xiàn)有技術(shù)通常蒸發(fā)源的立體結(jié)構(gòu)示意圖。本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠了解，蒸發(fā)源包括容器體20和噴嘴10，其中噴嘴10設(shè)置于容器體20的上方，容器體20用于盛放蒸發(fā)材料，且盛放于容器體內(nèi)的蒸發(fā)材料通過(guò)噴嘴10蒸發(fā)而出。

本發(fā)明實(shí)施例所述監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法中，在步驟S110，根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟之前，還包括步驟：

在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下，測(cè)量獲得噴嘴10的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，以及測(cè)量獲得蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度。

較佳地，噴嘴10的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度是在同一監(jiān)測(cè)時(shí)間獲得，該監(jiān)測(cè)時(shí)間可以為一時(shí)間點(diǎn)，也可以為具有較小時(shí)間長(zhǎng)度的時(shí)間段。

另外，第一位置可以為蒸發(fā)源外壁上的任一位置點(diǎn)，如為容器體20的外壁上的一位置點(diǎn)，也可以為噴嘴10的外壁上的一位置點(diǎn)。當(dāng)然，若僅需要監(jiān)測(cè)容器體20內(nèi)部的蒸發(fā)材料的溫度，則僅需要測(cè)量容器體20的外壁上其中一位置點(diǎn)的溫度即可。

另外，為了實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)源進(jìn)行材料蒸鍍過(guò)程中，內(nèi)部溫度的準(zhǔn)確監(jiān)測(cè)，較佳地，在蒸發(fā)源的材料蒸鍍處于穩(wěn)定工作狀態(tài)，也即蒸發(fā)源的內(nèi)、外壁進(jìn)行充分熱交換之后，才執(zhí)行本發(fā)明實(shí)施例所述方法，也即所述方法還包括：

監(jiān)控蒸發(fā)源開(kāi)始進(jìn)行材料蒸發(fā)的持續(xù)時(shí)間；

當(dāng)持續(xù)時(shí)間達(dá)到預(yù)定時(shí)長(zhǎng)時(shí)，確定所述蒸發(fā)源進(jìn)入能夠進(jìn)行內(nèi)部溫度監(jiān)測(cè)的所述當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)，執(zhí)行測(cè)量獲得噴嘴的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，以及測(cè)量獲得蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度的步驟。

具體地，預(yù)定時(shí)長(zhǎng)可以為根據(jù)經(jīng)驗(yàn)獲得蒸發(fā)源從蒸發(fā)開(kāi)始到進(jìn)入穩(wěn)定工作狀態(tài)的時(shí)間值。

另一方面，本發(fā)明實(shí)施例所述方法中，在測(cè)量獲得噴嘴10的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，以及測(cè)量獲得蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度時(shí)，采用非接觸地方式進(jìn)行檢測(cè)，如可以采用紅外溫度檢測(cè)裝置分別測(cè)量噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度以及蒸發(fā)源的外壁上第一位置處的溫度，這樣由于測(cè)量溫度時(shí)未直接與測(cè)量位置進(jìn)行接觸，以避免產(chǎn)生熱交換，影響測(cè)量的準(zhǔn)確度。

基于以上，本發(fā)明實(shí)施例所述監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，利用蒸發(fā)源達(dá)到穩(wěn)定工作狀態(tài)之后，同一位置點(diǎn)的內(nèi)、外壁溫度差主要是由蒸發(fā)源金屬壁的熱傳導(dǎo)產(chǎn)生，因此不同位置點(diǎn)的內(nèi)、外壁溫度差都與蒸發(fā)源金屬壁的熱傳導(dǎo)系數(shù)相關(guān)，利用該一原理當(dāng)測(cè)量獲得其中一位置點(diǎn)處蒸發(fā)源金屬壁的熱傳導(dǎo)系數(shù)時(shí)以及另一位置點(diǎn)的外壁溫度時(shí)，即能夠?qū)?yīng)獲得該另一位置點(diǎn)的內(nèi)壁溫度。

因此，本發(fā)明實(shí)施例所述方法，結(jié)合圖1和圖3，由于噴嘴10的噴嘴口處的內(nèi)壁A處和相對(duì)應(yīng)外壁A’點(diǎn)處的溫度均可以利用紅外溫度檢測(cè)裝置測(cè)量獲得，在此基礎(chǔ)上，利用該位置處的內(nèi)外壁溫度，可以計(jì)算獲得當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)計(jì)算，也即執(zhí)行步驟S110。進(jìn)一步，較佳地，結(jié)合圖4，為了保證熱傳導(dǎo)系數(shù)計(jì)算的準(zhǔn)確性，內(nèi)壁A處位置為外壁A’點(diǎn)處位置在噴嘴10的內(nèi)壁上的投影位置，也即當(dāng)噴嘴口處為曲面時(shí)，A到A’處的連線(xiàn)垂直于外壁A’處位置的切平面，當(dāng)噴嘴口處為平面時(shí)，A到A’處的連線(xiàn)垂直于外壁A’處位置的壁面，以下B和B’、C和C’、D和D’的位置關(guān)系分別與A和A’的位置相同，不再重復(fù)描述。

具體地，步驟S110，根據(jù)當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的噴嘴口處的內(nèi)、外壁溫度，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟包括：

測(cè)量在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述噴嘴口處內(nèi)壁上第三位置(如圖3和圖4中的標(biāo)示“A”處位置)的溫度和所述噴嘴口處外壁上第四位置(如圖3和圖4中的標(biāo)示“A’”處位置)的溫度；其中，所述第四位置為所述第三位置在所述噴嘴口處外壁上的投影位置；

根據(jù)以下公式計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)：

其中，C₀為所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，T_A為所述第三位置的溫度，T_A’為所述第四位置的溫度。

采用上述方式獲得的熱傳導(dǎo)系數(shù)C₀為與蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)和蒸發(fā)源本體材料相關(guān)的參數(shù)，結(jié)合圖2與圖4，在計(jì)算獲得熱傳導(dǎo)系數(shù)C₀后，在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下，當(dāng)能夠獲得蒸發(fā)源的外壁C’點(diǎn)(第一位置)處的溫度時(shí)，能夠計(jì)算獲得外壁C’點(diǎn)相對(duì)于內(nèi)壁的對(duì)側(cè)位置C點(diǎn)(第二位置)處的溫度，其中C點(diǎn)處的溫度能夠反映該位置處蒸發(fā)材料的溫度。

本發(fā)明實(shí)施例中，步驟S120，根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第一位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第二位置的溫度的步驟包括：

當(dāng)所述噴嘴口處的每一傳導(dǎo)參數(shù)和所述第一位置處的對(duì)應(yīng)傳導(dǎo)參數(shù)分別對(duì)應(yīng)相同時(shí)，將所述第一位置的溫度與所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行相乘計(jì)算，獲得所述第二位置的溫度；

當(dāng)所述噴嘴口處至少一傳導(dǎo)參數(shù)與所述第一位置處的對(duì)應(yīng)傳導(dǎo)參數(shù)不相同時(shí)，根據(jù)不相同的傳導(dǎo)參數(shù)，對(duì)所述熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)，將所述第一位置的溫度與所述修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行相乘計(jì)算，獲得所述第二位置的溫度；

其中所述傳導(dǎo)參數(shù)包括壁厚和制成材料。

具體地，結(jié)合圖4，在蒸發(fā)源上當(dāng)噴嘴10的噴嘴口和容器體20上位置C’處的壁厚和制成材料相同時(shí)，容易理解的是噴嘴口和C’處在相同蒸鍍狀態(tài)下，熱傳導(dǎo)系數(shù)相同，則將C’處(第一位置)的溫度與熱傳導(dǎo)系數(shù)C₀進(jìn)行相乘計(jì)算，即能夠獲得C處(第二位置)的溫度，也即為：T_C＝C₀×T_C’，其中T_C為C處溫度，T_C’為C’處的溫度。

當(dāng)噴嘴10的噴嘴口和容器體20上位置C’處的壁厚和/或制成材料不相同時(shí)，噴嘴口和C’處在相同蒸鍍狀態(tài)下熱傳導(dǎo)系數(shù)不相同，但兩位置處的熱傳導(dǎo)系數(shù)存在一定對(duì)應(yīng)關(guān)系。例如當(dāng)該兩位置處影響熱傳導(dǎo)系數(shù)的傳導(dǎo)參數(shù)僅為厚度不同時(shí)，則C處的溫度計(jì)算方式可以表示為T(mén)_C＝C₀×T_C’×t1，其中t1為C處壁厚相對(duì)于噴嘴口處壁厚的厚度比較值。

可以理解的是，通常蒸發(fā)源整體由相同材料制成，不同位置僅存在壁厚的不同，因此采用本發(fā)明實(shí)施例上述的方法，能夠容易獲得容器體20上位置C’處對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁溫度。

此外，為了能夠根據(jù)噴嘴口處內(nèi)外壁溫度計(jì)算獲得的熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算容器體20上位置C’的內(nèi)壁溫度，較佳地，當(dāng)兩位置存在不相同的傳導(dǎo)參數(shù)時(shí)，根據(jù)不相同的傳導(dǎo)參數(shù)，對(duì)所計(jì)算獲得的熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后熱傳導(dǎo)系數(shù)。較佳地，可以根據(jù)預(yù)設(shè)的熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表對(duì)熱傳導(dǎo)系數(shù)進(jìn)行修正，獲得修正后的熱傳導(dǎo)系數(shù)，其中熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表中記錄了C’處(第一位置)處的傳導(dǎo)參數(shù)、噴嘴口處的傳導(dǎo)參數(shù)、熱傳導(dǎo)系數(shù)和修正后的熱傳導(dǎo)系數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。

具體地，預(yù)設(shè)的熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)檢測(cè)獲得，利用具備蒸發(fā)源在不同位置的傳導(dǎo)參數(shù)的樣本，在相同工作狀態(tài)下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，檢測(cè)每一樣本的溫度以及計(jì)算所檢測(cè)溫度對(duì)應(yīng)的熱傳導(dǎo)系數(shù)，寫(xiě)入熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表，改變工作狀態(tài)反復(fù)實(shí)驗(yàn)獲得多組數(shù)據(jù)，這樣當(dāng)計(jì)算獲得其中一位置點(diǎn)的熱傳導(dǎo)系數(shù)時(shí)，根據(jù)參考熱傳導(dǎo)系數(shù)校正表即能夠獲得在相同工作狀態(tài)下另一位置點(diǎn)的熱傳導(dǎo)系數(shù)，獲得修正后的熱傳導(dǎo)系數(shù)，以用于計(jì)算該位置點(diǎn)的內(nèi)壁溫度。

根據(jù)以上，本發(fā)明實(shí)施例所述方法，結(jié)合圖2和圖4，根據(jù)噴嘴10的噴嘴口的內(nèi)外壁溫度，可以計(jì)算容器體20上外壁位置C’處相對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁位置C的溫度。可以理解的是，為充分了解蒸發(fā)源各位置處蒸發(fā)材料的溫度，最佳地，采用本發(fā)明實(shí)施例所述方法還同時(shí)計(jì)算容器體20上多個(gè)不同位置處的內(nèi)壁溫度。

具體地，在步驟S110，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源進(jìn)行熱傳導(dǎo)的熱傳導(dǎo)系數(shù)的步驟之后，所述方法還包括：

根據(jù)在當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源的外壁上第五位置的溫度和所述熱傳導(dǎo)系數(shù)，計(jì)算當(dāng)前蒸鍍狀態(tài)下所述蒸發(fā)源內(nèi)部一第六位置的溫度；其中所述第六位置為所述第五位置在所述蒸發(fā)源的內(nèi)壁上的投影位置，且所述第五位置與所述第一位置位于不同水平面內(nèi)。

結(jié)合圖2和圖4，較佳地，利用步驟S110計(jì)算獲得的熱傳導(dǎo)系數(shù)，還分別計(jì)算外壁位置B’處相對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁位置B的溫度和外壁位置D’處相對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁位置D的溫度，其中B、C和D位于不同高度，以分別檢測(cè)獲得容器體20上不同位置高度處的溫度。當(dāng)然，可以理解的是，外壁位置B’和外壁位置D’的溫度是與噴嘴10的噴嘴口處A’的內(nèi)、外壁溫度在同一監(jiān)測(cè)時(shí)間內(nèi)獲得。

具體，內(nèi)壁位置B和D處的溫度計(jì)算方式與以上所描述的C處溫度的計(jì)算方式相同，在此不再贅述。

根據(jù)以上，本發(fā)明實(shí)施例所述監(jiān)測(cè)蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的方法，能夠達(dá)到監(jiān)控蒸發(fā)源內(nèi)部溫度的目的，以有效控制蒸發(fā)材料的溫度和提高材料的蒸鍍效率及蒸鍍均勻性。

以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。