技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供圓筒軸方向的長度為470mm以上的圓筒型燒結(jié)體、圓筒型濺射靶及它們的制造方法。本發(fā)明的一個實施方式的圓筒型濺射靶的制造方法為：在具有圓筒型燒結(jié)體的圓筒型濺射靶的制造方法中，將圓筒軸方向的長度為600mm以上的圓筒型成形體配置于設(shè)置有與用于供氧的配管相連接的供氧口的臺座上，在從比在圓筒型成形體的圓筒內(nèi)側(cè)設(shè)置的圓筒內(nèi)周長小的供氧口向圓筒軸方向供氧的同時進行燒結(jié)。另外，在另一方式中，也可以將臺座配置于腔室中，用于供氧的配管從腔室之外連接到供氧口。

技術(shù)研發(fā)人員：館野諭;長田幸三
受保護的技術(shù)使用者：JX金屬株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.28
技術(shù)公布日：2017.10.10