技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的技術(shù)問題在于提供一種能夠提高處理對象物的研磨處理面上的處理精度的研磨裝置和研磨方法。提供一種對處理對象物進(jìn)行研磨處理的方法。該方法具有：一邊使尺寸比處理對象物的尺寸小的第一研磨墊與處理對象物接觸、一邊使處理對象物和第一研磨墊相對運(yùn)動來進(jìn)行第一研磨處理的步驟；在第一研磨處理之后、一邊使尺寸比處理對象物的尺寸大的第二研磨墊與處理對象物接觸、一邊使處理對象物和第二研磨墊相對運(yùn)動來進(jìn)行第二研磨處理的步驟；以及在進(jìn)行第一研磨處理之前對處理對象物的研磨處理面的狀態(tài)進(jìn)行檢測的步驟。

技術(shù)研發(fā)人員：小畠嚴(yán)貴;渡邊和英;安田穗積;八木裕治;高橋信行;武田晃一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社荏原制作所
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.10
技術(shù)公布日：2017.09.22