技術特征：

技術總結
本發明涉及一種基于壓電陶瓷驅動器的變形拋光盤，屬于非球面鏡拋光設備技術領域，包括底座、位于底座上的多個壓電陶瓷驅動器和位于壓電陶瓷驅動器上方的基盤，還包括多個彈性片，所述彈性片沿其徑向安裝于底座上表面，且其與壓電陶瓷驅動器一對一設置，所述壓電陶瓷驅動器沿其軸向安裝于底座上表面，且其一端指向底座中心，所述彈性片與壓電陶瓷驅動器指向底座中心的一端相抵，壓電陶瓷驅動器對彈性片施加擠壓力后，彈性片會產生沿其軸向的伸縮量，以改變基盤的面形，本發明增加了拋光盤的徑厚比，結構緊湊，顯著提高拋光盤在自轉時的穩定性以及與工件的吻合性，成本低，有助于延長壓電陶瓷驅動器的使用壽命。

技術研發人員：代萬俊;楊英;薛嶠;陳良明;胡東霞;袁強;張鑫;王德恩;趙軍普;張曉璐;曾發;王深圳;張崑;周維;朱啟華;鄭奎興;粟敬欽
受保護的技術使用者：中國工程物理研究院激光聚變研究中心
技術研發日：2017.03.14
技術公布日：2017.08.18