1.一種鋅-銀-磷化硼體系的釬焊料的制備系統(tǒng)，其特征在于，包括依次連接的混料機、冷等靜壓機、脫蠟燒結(jié)一體爐、等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化設(shè)備和粉碎設(shè)備。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備系統(tǒng)，其特征在于，所述制備系統(tǒng)還包括三個燒氫爐，它們分別連接至混料機的進料口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備系統(tǒng)，其特征在于，所述脫蠟燒結(jié)一體爐與真空電子束熔煉機連接，真空電子束熔煉機與等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化處理設(shè)備連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備系統(tǒng)，其特征在于，所述粉碎設(shè)備為氣流磨。
5.權(quán)利要求1～4中任一項所述制備系統(tǒng)對應(yīng)的一種鋅-銀-磷化硼體系的釬焊料的制備方法，其特征在于，包括步驟：
(1)將鋅粉、銀粉和磷化硼混合均勻，得混合粉末；
(2)通過冷等靜壓機對步驟(1)所得的混合粉末壓制成型，并在氫氣氣氛保護下脫蠟、燒結(jié)，得到預(yù)制棒；
(3)用等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化工藝制粉，得到粗粉；
(4)對粗粉進行氣流磨破碎，得到高純細粉；
其中，鋅粉、銀粉和磷化硼的質(zhì)量比為1：0.2～0.3：0.1～0.2。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)中的鋅粉、銀粉和磷化硼的粒徑均不大于10μm；鋅粉、銀粉和磷化硼混合之前分別進行燒氫除雜處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的制備方法，其特征在于，燒氫除雜處理的溫度為1000～1100℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，冷等靜壓機的工作壓力是300～320MPa，脫蠟溫度是700～800℃，燒結(jié)溫度是1300～1400℃，氫氣流速為70～90mL/min；所得的預(yù)制棒經(jīng)真空電子束熔煉后再進行等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟(3)中等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化工藝條件為：惰性氣體保護下，電流1300～1700A，電極轉(zhuǎn)速13000～17000r/min。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟(4)中氣流磨的工作條件是：在惰性氣體保護下，氣流速度為50～80m/s。