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光學(xué)玻璃微米級空間碎片防護膜的制作方法

文檔序號:11647635閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種光學(xué)玻璃微米級空間碎片防護膜,包括依次設(shè)置在光學(xué)玻璃表面上的彈簧結(jié)構(gòu)、底層薄膜和納米多層連續(xù)薄膜,彈簧結(jié)構(gòu)緊密結(jié)合在基底光學(xué)玻璃上,采用掠射角沉積技術(shù)獲得,用于緩沖微小碎片的撞擊能量;底層薄膜為整體的連續(xù)膜層,在氬氣氛圍下通過磁控濺射技術(shù)制備;納米多層膜由DLC膜和Al膜多層交替制備而成,納米多層膜旨在獲得硬度和韌性具佳的薄膜,減小碎片撞擊導(dǎo)致薄膜裂紋的發(fā)生。

技術(shù)研發(fā)人員:姜海富;曹燕;牟永強;周晶晶;楊繼運
受保護的技術(shù)使用者:北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.29
技術(shù)公布日:2017.07.28
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