本發(fā)明涉及濺渡工業(yè)領域，具體而言，涉及一種堆疊治具。

背景技術：

濺鍍技術在半導體產(chǎn)業(yè)中的應用非常廣泛，主要是使用在薄膜的制鍍，或是用來修正或產(chǎn)生晶圓集成電路上的電氣特性。濺渡技術是薄膜工藝中應用層面相當廣泛的一項重要技術，因此近年來已經(jīng)逐漸取代噴導電漆或電解電鍍等方式，大量地應用在光電、通信、半導體等產(chǎn)業(yè)，成為相當重要的表面處理技術。

濺鍍，通常指的是磁控濺鍍，屬于高速低溫濺鍍法.該工藝要求真空度在1×10^-3torr左右，即1.3×10^-3pa的真空狀態(tài)充入惰性氣體氬氣(ar)，并在基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電，由于輝光放電(glowdischarge)產(chǎn)生的電子激發(fā)惰性氣體，產(chǎn)生等離子體，等離子體將金屬靶材的原子轟出，沉積在基材上。

由于氬氣將金屬原子轟出靶材的角度不同，以及磁控有限，被轟出的金屬原子做無規(guī)則運動，不能完全按照需求濺鍍到產(chǎn)品面，對不需要濺鍍的部分也濺鍍上了。

技術實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明提供的一種堆疊治具，更好的克服了上述現(xiàn)有技術存在的問題和缺陷，通過使用該堆疊治具，將需要濺鍍的產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條交互堆疊在一起，然后壓緊，達到防止濺鍍滲入。

一種堆疊治具，包括框體，所述框體內(nèi)具有一容置空間，所述框體的兩側設置有相對的凹槽，所述框體頂部設置有頂部壓條，所述頂部壓條下端設置有若干彈性部件，各個所述彈簧長度相同。

進一步地，所述彈性部件為彈簧。

進一步地，所述彈性部件的一端通過螺釘固定在所述頂部壓條上。

進一步地，所述頂部壓條的一端與所述框體頂部的一端活動連接。

進一步地，所述框體頂部的另一端設置有連接部件，所述頂部壓條的另一端設置有與所述連接部件可拆卸連接的固定部。

進一步地，所述連接部件為卡扣，所述固定部為與所述卡扣相配合的卡鉤。

進一步地，所述框體內(nèi)設置有可沿兩側所述凹槽上下滑動的支撐板。

進一步地，所述框體底部設置有用于防止所述支撐板滑落的隔擋部件。

進一步地，所述隔擋部件為對應設置在兩側所述凹槽內(nèi)的凸柱。

進一步地，每個所述凹槽內(nèi)的所述凸柱的數(shù)量至少為1個。

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的堆疊治具的有益效果是：

(1)、本發(fā)明的堆疊治具，包括框體，所述框體內(nèi)具有一容置空間，通過將需要濺鍍的產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條(簡稱白條)交互堆疊在一起，放置在該容納空間內(nèi)，然后通過頂部壓條壓緊，能夠有效達到防止濺鍍滲入的目的；另外，本發(fā)明的堆疊治具整體結構簡單、結構設計合理，穩(wěn)定性好，成本較低，制作工藝簡單，適于批量生產(chǎn)。

(2)、進一步地，本發(fā)明的堆疊治具通過將頂部壓條的一端與框體頂部的一端活動連接，通過將頂部壓條的另一端與框體頂部的另一端設置為可拆卸地連接，使用時將頂部壓條另一端的固定部與框體頂部的另一端的連接部件打開即可交互放置放置待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條，然后將頂部壓條另一端的固定部與框體頂部的另一端的連接部件扣合即可實現(xiàn)壓緊，使堆疊治具使用時操作更方便快捷。

(3)、進一步地，本發(fā)明的堆疊治具中通過在框體內(nèi)設置有可沿兩側所述凹槽上下滑動的支撐板，該支撐板的數(shù)量可為兩個，使用時，兩個支撐板將交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條固定在中間，確保交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條被壓緊時，上下受力均勻，使待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條堆疊放置更緊湊平整；并且便于后續(xù)取出，只需對支撐板底部施加一個向上的作用力，即可將待濺渡的產(chǎn)品推出框體頂部取出；另外，在框體底部設置隔擋部件，用于防止支撐板從框體底部開口滑落。

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1為本發(fā)明的堆疊治具的第一種結構示意圖；

圖2為本發(fā)明的堆疊治具的第二種結構示意圖；

圖3為本發(fā)明的堆疊治具的仰視圖；

圖4為本發(fā)明的堆疊治具的頂部壓條的主視圖；

圖5為本發(fā)明的堆疊治具的俯視圖。

主要元件符號說明：

1-堆疊治具；

100-框體；

110-容置空間；

120-凹槽；

130-連接部件；

200-頂部壓條；

210-彈性部件；

220-固定部；

230-螺釘；

300-支撐板；

400-隔擋部件。

具體實施方式

為了便于理解本發(fā)明，下面將參照相關附圖對堆疊治具進行更全面的描述。附圖中給出了堆疊治具的首選實施例。但是，堆疊治具可以以許多不同的形式來實現(xiàn)，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對堆疊治具的公開內(nèi)容更加透徹全面。

在下文中，可在本發(fā)明的各種實施例中使用的術語“包括”或“可包括”指示所公開的功能、操作或元件的存在，并且不限制一個或更多個功能、操作或元件的增加。此外，如在本發(fā)明的各種實施例中所使用，術語“包括”、“具有”及其同源詞僅意在表示特定特征、數(shù)字、步驟、操作、元件、組件或前述項的組合，并且不應被理解為首先排除一個或更多個其它特征、數(shù)字、步驟、操作、元件、組件或前述項的組合的存在或增加一個或更多個特征、數(shù)字、步驟、操作、元件、組件或前述項的組合的可能性。

在本發(fā)明的各種實施例中，表述“或”或“a或/和b中的至少一個”包括同時列出的文字的任何組合或所有組合。例如，表述“a或b”或“a或/和b中的至少一個”可包括a、可包括b或可包括a和b二者。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術語“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本說明書的描述中，參考術語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。

在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說明的是，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是機械連接或電連接，也可以是兩個元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，對于本領域的普通技術人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術語的具體含義。除非另有限定，否則在這里使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)具有與本發(fā)明的各種實施例所屬領域普通技術人員通常理解的含義相同的含義。所述術語(諸如在一般使用的詞典中限定的術語)將被解釋為具有與在相關技術領域中的語境含義相同的含義并且將不被解釋為具有理想化的含義或過于正式的含義，除非在本發(fā)明的各種實施例中被清楚地限定。

實施例

參閱圖1、圖2和圖3，本發(fā)明提供了一種堆疊治具1，包括

框體100，所述框體100內(nèi)具有一容置空間110，該容置空間110用于放置若干交互堆疊放置的待濺渡的產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條(簡稱白條)，該容置空間110的大小根據(jù)需要交互堆疊放置的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條數(shù)量而定。

所述框體100的兩側設置相對的凹槽120，所述凹槽120的寬度略大于待濺渡產(chǎn)品的寬度。兩側的凹槽120剛好可以用于卡放待濺渡的產(chǎn)品的兩端。

所述框體100頂部設置有頂部壓條200，所述頂部壓條200下端設置有若干彈性部件210，各個所述彈簧長度相同。

需要說明的是，所述框體100為長方體結構。所述框體100的頂端、底端、正面和背面均為開口。術語“若干”可列舉為3個、4個、5個或6個等。可以理解的是，所述頂部壓條200用于將交互堆疊放置的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條壓緊。

如圖4和圖5所示，本發(fā)明實施例中，通過在頂部壓條200下端設置有若干彈性部件210，具體地，該若干彈性部件210的一端均通過螺釘230均勻地設置在頂部壓條200的下端，使頂部壓條200壓在交互堆疊放置的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條上時，受力均勻，且由于彈性部件210在外力作用下會發(fā)生一定形變，下壓時具有一定緩沖作用，避免頂部壓條200直接壓在交互堆疊放置的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條上，破壞待濺渡產(chǎn)品的表面。

優(yōu)選地，本發(fā)明實施例中，所述彈性部件210為彈簧。當然，所述彈性部件210還可以列舉為彈片或者彈性定位套等。

由上述描述可知，本發(fā)明的堆疊治具1使用時，通過將需要濺鍍的產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條交互堆疊在一起，放置在該容納空間內(nèi)，然后通過頂部壓條200壓緊，能夠有效達到防止濺鍍滲入的目的；另外，本發(fā)明的堆疊治具1整體結構簡單、結構設計合理，穩(wěn)定性好，成本較低，制作工藝簡單，適于批量生產(chǎn)。

優(yōu)選地，本發(fā)明實施例中，所述頂部壓條200的一端與所述框體100頂部的一端活動連接，使所述頂部壓條200可以繞與所述框體100頂部的一端活動連接的部位轉動。

優(yōu)選地，所述框體100頂部的另一端設置有連接部件130，所述頂部壓條200的另一端設置有與所述連接部件130可拆卸連接的固定部220。

本發(fā)明的堆疊治具1通過將頂部壓條200的一端與框體100頂部的一端活動連接，通過將頂部壓條200的另一端與框體100頂部的另一端設置為可拆卸地連接，使用時將頂部壓條200另一端的固定部220與框體100頂部的另一端的連接部件130打開即可交互放置放置待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條，然后將頂部壓條200另一端的固定部220與框體100頂部的另一端的連接部件130扣合即可實現(xiàn)壓緊，使堆疊治具1使用時操作更方便快捷。

具體地，本發(fā)明實施例中，所述連接部件130為卡扣，所述固定部220為與所述卡扣相配合的卡鉤。

但是，本發(fā)明實施例中并不限制所述頂部壓條200的另一端與所述框體100頂部的另一端的可拆卸地連接方式，例如所述頂部壓條200的另一端與所述框體100頂部的另一端可通過搭扣或者鎖扣連接等。

優(yōu)選地，本發(fā)明實施例中，所述框體100內(nèi)設置有可沿兩側所述凹槽120上下滑動的支撐板300。

需要說明的是，所述支撐板300的數(shù)量可為1個，用于從底部支撐待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條。所述支撐板300的長度和寬度均與待濺渡產(chǎn)品的長度和寬度相當，使待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條堆疊放置在該支撐板300上，確保被壓緊時底部受力均勻穩(wěn)定，使待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條交互堆疊緊湊平整；另外，還便于后續(xù)取出，只需對支撐板300底部施加一個向上的作用力，即可將待濺渡的產(chǎn)品推出框體100頂部直接取出，十分便捷。

優(yōu)選地，所述支撐板300的數(shù)量為兩個，使用時，兩個支撐板300將交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條固定在中間，確保交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條被壓緊時，上下受力均勻。

優(yōu)選地，本發(fā)明實施例中，所述框體100底部設置有用于防止所述支撐板300滑落的隔擋部件400。

優(yōu)選地，所述隔擋部件400為對應設置在兩側所述凹槽120內(nèi)的凸柱，結構簡單，節(jié)省材料成本。

優(yōu)選地，每個所述凹槽120內(nèi)的所述凸柱的數(shù)量至少為1個，例如可為1個、2個或3個等。

當然，本發(fā)明的隔擋部件400還可列舉為安裝在所述框體100底部的兩根隔擋條，兩根隔擋條的兩端均與所述框體100的兩側連接，兩根隔擋條之間間隔一定距離，便于從框體100底部對所述支撐板300施加向上的外力。

本發(fā)明還提供了一種堆疊治具1的使用工藝，包括以下步驟：

步驟一，打開堆疊治具1的頂部壓條200，將一個支撐板300平行放置在隔擋部件400上，將待濺渡產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條從框體100的頂部開口逐個交互放入框體100內(nèi)的容置空間110，將另外一個支撐板300壓在交互堆疊放置的待濺渡產(chǎn)品和陶瓷條上。

步驟二，將頂部壓條200合在框體100頂部，對交互堆疊的待濺渡產(chǎn)品和陶瓷條進行壓緊。

步驟三，通過在待濺渡產(chǎn)品的需要濺渡的地方滾鍍銅鎳錫等金屬而形成端面電極，白條可重復利用。

綜上所述，本發(fā)明的堆疊治具1的有益效果是：

(1)、本發(fā)明的堆疊治具1，包括框體100，所述框體100內(nèi)具有一容置空間110，通過將需要濺鍍的產(chǎn)品和長度或寬度相差±30um的陶瓷條(簡稱白條)交互堆疊在一起，放置在該容納空間內(nèi)，然后通過頂部壓條200壓緊，能夠有效達到防止濺鍍滲入的目的；另外，本發(fā)明的堆疊治具1整體結構簡單、結構設計合理，穩(wěn)定性好，成本較低，制作工藝簡單，適于批量生產(chǎn)。

(2)、進一步地，本發(fā)明的堆疊治具1通過將頂部壓條200的一端與框體100頂部的一端活動連接，通過將頂部壓條200的另一端與框體100頂部的另一端設置為可拆卸地連接，使用時將頂部壓條200另一端的固定部220與框體100頂部的另一端的連接部件130打開即可交互放置放置待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條，然后將頂部壓條200另一端的固定部220與框體100頂部的另一端的連接部件130扣合即可實現(xiàn)壓緊，使堆疊治具1使用時操作更方便快捷。

(3)、進一步地，本發(fā)明的堆疊治具1中通過在框體100內(nèi)設置有可沿兩側所述凹槽120上下滑動的支撐板300，該支撐板300的數(shù)量可為兩個，使用時，兩個支撐板300將交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條固定在中間，確保交互堆疊在一起的待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條被壓緊時，上下受力均勻，使待濺渡的產(chǎn)品和陶瓷條堆疊放置更緊湊平整；并且便于后續(xù)取出，只需對支撐板300底部施加一個向上的作用力，即可將待濺渡的產(chǎn)品推出框體100頂部取出；另外，在框體100底部設置隔擋部件400，用于防止支撐板300從框體100底部開口滑落。

盡管以上較多使用了表示結構的術語，例如“框體”、“頂部壓條”、“彈性部件”等，但并不排除使用其它術語的可能性。使用這些術語僅僅是為了更方便地描述和解釋本發(fā)明的本質；把它們解釋成任何一種附加的限制都是與本發(fā)明精神相違背的。

以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。