本發(fā)明涉及一種真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置及其控制方法，特別是涉及一種基于can總線的真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置及其控制方法。

背景技術：

蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質以及得到不易熱分解的化合物膜的特點。蒸發(fā)鍍膜設備是一種通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面上的設備。蒸發(fā)鍍膜設備也稱為真空鍍膜機或者真空鍍膜系統(tǒng)。蒸發(fā)鍍膜設備包括真空罩（也稱為真空鍍膜室）和抽真空系統(tǒng)，還包括設置在真空罩中的基片和蒸發(fā)源。基片位于蒸發(fā)源上方。基片就是待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等。蒸發(fā)源是用來加熱膜材使之氣化蒸發(fā)的裝置。所述的膜材就是蒸發(fā)物質，蒸發(fā)物質通常為固體金屬（例如鋁）和化合物。

蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源：用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀,通以電流,加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質。電阻加熱源主要用于蒸發(fā)cd、pb、ag、al、cu、cr、au、ni等材料；②高頻感應加熱源：用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質；③電子束加熱源：適用于蒸發(fā)溫度較高（不低于2000℃）的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。蒸發(fā)源是真空鍍膜設備的核心組件。真空鍍膜設備根據(jù)設備規(guī)格大小配置數(shù)量不等的蒸發(fā)源。蒸發(fā)源控制的自動化程度、精度和穩(wěn)定性是關系鍍膜效率、薄膜質量的關鍵因素之一。

現(xiàn)有的蒸發(fā)源控制系統(tǒng)采用手動調節(jié)或計算機集中控制兩種方式。其中的手動調節(jié)方式是直接開環(huán)控制負載電壓或電流，且由操作人員直接判斷控制量的給定值。這種方式使得鍍膜工藝嚴重依賴于操作人員的經(jīng)驗與技術水平，從而導致工藝穩(wěn)定性較差、生產(chǎn)效率較低，產(chǎn)品品質也得不到根本保證。計算機集中控制方式，使用在蒸發(fā)源數(shù)量較少的設備上時有優(yōu)勢，若在蒸發(fā)源數(shù)量較多的大型真空設備上采用集中控制，將會出現(xiàn)接線復雜、信號易受干擾等問題。目前也有采用總線結構的調節(jié)器來控制蒸發(fā)源，但通常只停留在對單個控制量進行反饋控制的水平，不能實現(xiàn)多變量的閉環(huán)控制，關鍵是沒有配置必要開關量的控制接口，從而不能從根本上解決大規(guī)模蒸發(fā)源的分布式控制問題。例如，中國專利文獻cn1327082a（中國專利申請?zhí)?0110495.0）就公開了一種真空鍍膜計算機控制裝置，其中所提到的基片加熱監(jiān)控及退出模塊就屬于上述情況。另外，到目前為止尚未見到將can總線分布式控制網(wǎng)絡用于真空鍍膜設備蒸發(fā)源控制的報道。

can總線即為控制器局域網(wǎng)（controllerareanetwork，can），是一種多線路網(wǎng)絡通信系統(tǒng)。該系統(tǒng)的核心是iso國際標準化的串行通信協(xié)議。can總線的應用中由cpu系統(tǒng)、can控制器和can收發(fā)器三個部分構成。cpu通過外部總線向can控制器的發(fā)送寄存器寫入發(fā)送數(shù)據(jù)，或者讀取can控制器的接收寄存器，來控制can控制器完成數(shù)據(jù)的收發(fā)功能；can控制器能夠按照can總線的時序接收發(fā)送數(shù)據(jù)；can收發(fā)器能夠把來自can控制器的邏輯電平（cantx、canrx）轉換為can總線所要求的差分信號（canh、canl）進行傳輸。

技術實現(xiàn)要素：

為避免上述技術的不足，本發(fā)明要解決的技術問題也即本發(fā)明的目的是，提供了一種可通過現(xiàn)場總線網(wǎng)絡對真空鍍膜設備蒸發(fā)源進行控制，以提高設備的自動化程度，保證蒸發(fā)源的控制精度和穩(wěn)定性，提高鍍膜質量的基于can總線的真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置及其控制方法。

實現(xiàn)本發(fā)明目的中的提供一種真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置的技術方案是：本發(fā)明的真空鍍膜蒸發(fā)源控制裝置，包括主控制器；主控制器包括微控制器和電源模塊；電源模塊是使用時能夠為微控制器和各輸入和輸出模塊和供隔離電源的電路；其結構特點是：還包括can總線；主控制器還包括開關量調理模塊、開關量輸出驅動模塊、模擬量輸入調理模塊、模擬量變換輸出模塊和can總線接口模塊。

主控制器使用時能夠由其微控制器通過can總線接口模塊與can總線雙向信號連接；所述的can總線是使用時能夠實時獲得管理計算機的控制命令、并將蒸發(fā)源當前狀態(tài)信息和電量信息上傳給管理計算機的電路。

所述的微控制器為主控制器的控制中心，是使用時能夠對數(shù)據(jù)進行運算處理的電路。

所述的開關量調理模塊是使用時能夠對開關輸入量的電平進行轉換和整型的電路，其輸入端是使用時與開關量控制儀表相連的端口，其輸出端通過光電隔離與微控制器相連。

所述的開關量輸出驅動模塊是使用時能夠對開關輸出信號進行放大的電路，其輸入端通過光電隔離器與微控制器相連，其輸出端是使用時與開關量儀表相連的端口。

所述的模擬量輸入調理模塊是使用時能夠對多路模擬量進行濾波和調理的電路，其輸入端是使用時與多個傳感器相連的端口，其輸出端與微控制器相連。

所述的模擬量變換輸出模塊是使用時能夠把數(shù)字控制信號轉換為多種標準的模擬控制信號的電路，其輸出端與微控制器相連，其輸出端是使用時能夠與控制儀表相連的端口。

所述的can總線接口模塊包括can總線接口，其一端通過光電隔離器與微控制器相連，另一端與can總線相連。

進一步地，所述的微控制器對數(shù)據(jù)的運算處理，其中包括能夠對所采集的蒸發(fā)源主回路二次側負載的電流、電壓信息和報警信息，根據(jù)預置的控制程序和算法進行分析計算，輸出相應的控制信號，而通過調節(jié)蒸發(fā)源主回路一次側的電流電壓，而實現(xiàn)對蒸發(fā)源負載功率的閉環(huán)調節(jié)。

進一步地，主控制器還包括狀態(tài)指示接口；所述狀態(tài)指示接口使用時能夠輸出主控制器所處的工作狀態(tài)的信號，其輸入端與微控制器相連，其輸出端是使用時能夠與外圍指示二極管相連的端口。

進一步地，所述的模擬量變換輸出模塊包括高速光耦、數(shù)模轉換電路、基準電源電路、四種標準電壓輸出模式電路、兩種標準電流輸出模式電路和輸出模式選擇組合電路；高速光耦設有輸入端和輸出端；數(shù)模轉換電路設有輸入端、輸出端和電源端；基準電源電路設有輸入端和輸出端；四種標準電壓輸出模式電路設有第一輸入端、第二輸入端、第一輸出端和第二輸出端；兩種標準電流輸出模式電路設有第一輸入端、第二輸入端和輸出端；輸出模式選擇組合電路設有第一輸出端和第二輸出端。

高速光耦的輸入端即為模擬量變換輸出模塊的輸入端；高速光耦的輸出端與數(shù)模轉換電路的輸入端相連；數(shù)模轉換電路的電源端與基準電源電路的輸出端相連；數(shù)模轉換電路的輸出端與四種標準電壓輸出模式電路的第一輸入端相連；四種標準電壓輸出模式電路的第二輸入端與輸出模式選擇組合電路的第一輸出端相連；四種標準電壓輸出模式電路的第二輸出端與兩種標準電流輸出模式電路的第二輸入端相連；兩種標準電流輸出模式電路的第一輸入端與輸出模式選擇組合電路的第二輸出端相連。

上述技術方案的真空鍍膜蒸發(fā)源控制裝置的控制方法，具有如下步驟：

s10階段：主控制器上電后的初始化，其中包含系統(tǒng)自檢。

s11階段：對各端口的開關信號和模擬量輸入信號進行采集。

s12階段：對can信息進行接收和處理。

s13階段：對獲得的信息進行故障診斷，如存在故障，則進入故障處理階段s17階段，若不存在故障，則進入下一階段。

s14階段：對工作模式進行判斷（圖中稱為工況判斷），然后選擇進入蒸發(fā)源啟動預處理、蒸發(fā)源關閉預處理、蒸發(fā)源算法控制、自診斷故障運行或程序結束子程序。

s15階段：根據(jù)工作模式運行相應的算法控制子程序，其中包括得到等待輸出的控制量。

s16階段：向can總線發(fā)送信息，此階段可將系統(tǒng)檢測、部分計算和處理結果等信息根據(jù)can應用層協(xié)議進行編碼打包，然后啟動相應的can消息發(fā)送函數(shù)而發(fā)送到can總線；然后進入s17階段。

s17階段：通過開關量輸出驅動模塊輸出包括故障處理在內的開關量信息。

s18階段：在沒有檢測到故障的情況下，進入模擬量緩放輸出階段，向模擬量變換輸出模塊輸出s15階段得到的等待輸出的控制量，從而開環(huán)或閉環(huán)調節(jié)蒸發(fā)源的變壓器一次側的電流、電壓或功率。

回到s11階段：程序又回到采集輸入信號的s11階段，如此反復執(zhí)行，直至停機。

進一步地，上述控制方法的技術方案中，還包括處于s18階段之后的s19階段和處于s19階段之后的s20階段；s19階段是對主控制器的狀態(tài)進行顯示的階段，處于s18階段之后；s20階段是軟件看門狗（圖中簡稱為軟件狗）設置階段，使軟件處于有效監(jiān)控狀態(tài)。

進一步地，對于上述控制方法的技術方案，在s15階段中，所述的工作模式包括蒸發(fā)源啟動預處理、蒸發(fā)源關閉預處理、蒸發(fā)源控制算法、自診斷故障運行和程序結束子程序。

進一步地，對于上述控制方法的技術方案，蒸發(fā)源控制算法子程序包括如下步驟：

s31分階段：判斷從can總線接收控制模式碼字和控制目標值，在開環(huán)控制、閉環(huán)恒流控制、閉環(huán)恒壓控制或閉環(huán)恒功率控制中選擇相應一個控制模式。

s32分階段：若控制模式為開環(huán)控制模式，調用相應的控制目標值作為控制量，然后進入對輸出進行限幅的s40階段。

s33分階段：若控制模式為三種閉環(huán)控制模式中的一種，則判斷是否首次采用閉環(huán)控制模式，若是則進入s34分階段，若否則進入s35分階段。

s34分階段：加載控制量初始值。

s35分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒流控制模式，則調用電流反饋值和電流控制參數(shù)。

s36分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒壓控制模式，則調用電壓反饋值和電壓控制參數(shù)。

s37分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒功率控制模式，則調用功率計算值和控制參數(shù)。

s38分階段：調用閉環(huán)控制算法子程序并運行，根據(jù)不同類型的控制參數(shù)，計算出向一次側輸出的電流電壓調節(jié)信號的具體數(shù)值作為控制結果。

s39分階段：根據(jù)反饋信息對s38分階段得到的控制結果進行修正，得到修正后的控制結果。

s40分階段：對控制結果中的各控制量上下限進行修正后得到等待輸出的控制量。

本發(fā)明具有積極的效果：（1）本發(fā)明的基于can總線的真空鍍膜蒸發(fā)源控制裝置是利用主控制器來實現(xiàn)對真空鍍膜設備蒸發(fā)源的全自動監(jiān)督控制，不僅提高了設備的自動化程度，而且可以保證蒸發(fā)功率的控制精度和穩(wěn)定性，從而提高了鍍膜的質量。（2）本發(fā)明的控制裝置在使用時，還可以由主控制器通過can總線實時獲得管理計算機的控制命令和目標值，采集蒸發(fā)源主回路二次側負載電流、電壓和報警信息，根據(jù)預置的控制程序和算法進行分析計算，通過調節(jié)蒸發(fā)源主回路一次側的電流電壓，達到閉環(huán)調節(jié)蒸發(fā)源負載功率的目的，并將蒸發(fā)源當前狀態(tài)信息和電量信息上傳給管理計算機，從而可以在更高的層面上對真空鍍膜蒸發(fā)源的運行進行控制。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的蒸發(fā)源控制裝置的電路框圖。所述的蒸發(fā)源控制裝置用于控制真空鍍膜設備的蒸發(fā)源，且設有can接口。

圖2為圖1中的模擬量變換輸出模塊的電路框圖。

圖3為圖1中的微控制器的控制主程序框圖。

圖4為圖3中的工作模式子程序框圖。

具體實施方式

（實施例1）

見圖1，本實施例的真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置是一種基于can總線的真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置，包括主控制器。主控制器包括電源模塊10、微控制器1、開關量調理模塊2、開關量輸出驅動模塊5、模擬量輸入調理模塊6、模擬量變換輸出模塊7、can總線接口模塊8和狀態(tài)指示接口11。

微控制器1為主控制器的控制中心，負責數(shù)據(jù)的運算及處理。所述的微控制器1為高性能的8/16位單片機，其型號為at90128can。該單片機具有較強的事件處理能力和豐富的嵌入式模塊，主要模塊包括高性能cpu、128k字節(jié)的系統(tǒng)內可編程flash、4k字節(jié)的eeprom、可靈活編程的定時器模塊、智能ad轉換口等。

開關量調理模塊2用于開關輸入量的電平轉換和整型，其一端與開關量控制儀表相連，另一端通過光電隔離3與微控制器1相連。開關量調理模塊2可將真空鍍膜蒸發(fā)源控制接口通過開關量控制儀表給出的硬件故障信號、短路報警信號、過流報警信號等進行電平轉換和整型后輸出給微控制1上的i/o口。

開關量輸出驅動模塊5用于開關輸出信號的隔離和放大，其一端通過光電隔離器4與微控制器1相連，另一端與開關量儀表接口相連。開關量輸出驅動模塊5能夠根據(jù)控制程序命令啟動或關閉蒸發(fā)源一次側控制回路，或在故障后對控制回路執(zhí)行復位操作，開關輸出信號經(jīng)隔離和放大后輸至一次側控制回路接口而去驅動一次側控制回路。

模擬量輸入調理模塊6用于多路模擬量的濾波和調理，其一端與多個傳感器相連，另一端與微控制器1相連。模擬量輸入調理模塊6可將真空鍍膜蒸發(fā)源變壓器二次側的電流、電壓等模擬量信號濾波和調理后輸至微控制器1的ad轉換口。

模擬量變換輸出模塊7用于把輸出的數(shù)字控制信號轉換為多種標準的模擬控制信號，一端與微控制器1相連，另一端與控制儀表相連。模擬量變換輸出模塊7對所接收的來自微控制器1的數(shù)字信號調理成標準的模擬控制信號，輸至真空鍍膜蒸發(fā)源變壓器一次側，用來調節(jié)蒸發(fā)源的電流、電壓或功率，其中的信號調理模塊的功能是將數(shù)模轉換電路7b產(chǎn)生的模擬信號通過放大、濾波等操作調理成設備需要的標準信號。針對各種不同的控制對象，信號調理模塊將數(shù)模轉換電路7b產(chǎn)生的電流信號變換為4種單/雙極電壓信號和0至20ma/4至20ma共2種電流信號，以滿足設計需求。

can總線接口模塊9用于提供can總線接口，其一端通過光電隔離器8與微控制器1相連，另一端與can總線相連。本實施例的蒸發(fā)源控制裝置在使用中，其與外部的全部信息交換都是通過can總線進行的，這樣各控制器之間就能夠信息共享，從而實現(xiàn)整套真空鍍膜設備的有效管理和控制。

電源模塊10可為各輸入、輸出模塊和微控制器1提供隔離電源。電源模塊10選用dc-dc開關電源，其可將5v轉換為與之隔離的±15v電源，以供模擬量輸出模塊使用。

狀態(tài)指示接口11可指示主控制器所處的工作狀態(tài)，一端與微控制器1相連，另一端與外圍指示二極管相連。狀態(tài)指示接口11根據(jù)控制程序的輸出信號顯示當前主控制器模塊的狀態(tài)信息，包括工作狀態(tài)、通信狀態(tài)、報警狀態(tài)等。

見圖2，所述的模擬量變換輸出模塊7包括高速光耦7a、數(shù)模轉換電路7b、基準電源電路7c、四種標準電壓輸出模式電路7d、兩種標準電流輸出模式電路7e和輸出模式選擇組合電路7f。其中的四種標準電壓輸出模式電路7d、兩種標準電流輸出模式電路7e和輸出模式選擇組合電路7f組成信號調理模塊，且四種標準電壓輸出模式電路7d和兩種標準電流輸出模式電路7e具有放大和濾波功能。

高速光耦7a設有輸入端和輸出端；數(shù)模轉換電路7b設有輸入端、輸出端和電源端；基準電源電路7c設有輸入端和輸出端；四種標準電壓輸出模式電路7d設有第一輸入端、第二輸入端、第一輸出端和第二輸出端；兩種標準電流輸出模式電路7e設有第一輸入端、第二輸入端和輸出端；輸出模式選擇組合電路7f設有第一輸出端和第二輸出端；

高速光耦7a的輸入端即為模擬量變換輸出模塊7的輸入端；高速光耦7a的輸出端與數(shù)模轉換電路7b的輸入端相連；數(shù)模轉換電路7b的電源端與基準電源電路7c的輸出端相連；數(shù)模轉換電路7b的輸出端與四種標準電壓輸出模式電路7d的第一輸入端相連；四種標準電壓輸出模式電路7d的第二輸入端與輸出模式選擇組合電路7f的第一輸出端相連；四種標準電壓輸出模式電路7d的第二輸出端與兩種標準電流輸出模式電路7e的第二輸入端相連；兩種標準電流輸出模式電路7e的第一輸入端與輸出模式選擇組合電路7f的第二輸出端相連。

見圖3，圖中給出了本實施例的由微控制器控制運行真空鍍膜設備的蒸發(fā)源控制裝置的控制主程序，該主程序的運行也構成了蒸發(fā)源控制裝置的工作方法的主要內容，包括如下步驟：

⑴s10階段：主控制器上電后的初始化，其中包含系統(tǒng)自檢，微控制器1將自檢得到的信息進行存儲，并且根據(jù)預先的設置，在以下步驟中對于重要的信息也進行存儲。

⑵s11階段：微控制器1對各端口的開關信號和模擬量輸入信號進行采集，并對輸入信號進行數(shù)字濾波和去除畸點等預處理，然后進行存儲。

⑶s12階段：微控制器1對can信息進行接收和處理，也即將從總線上接受來自管理計算機以及其他控制節(jié)點的信息，按照應用層協(xié)議進行解碼，并將其中的用于對工作模式和控制模式進行選擇的碼字和控制目標值存入相應的存儲器中。

⑷s13階段：微控制器1對s11階段獲得的信息進行故障診斷，如存在故障，則進入向can總線發(fā)送信息的s16階段，若不存在故障，則進入下一階段。

⑸s14階段：微控制器1調用存儲器中的對工作模式進行選擇的碼字和控制目標值，在蒸發(fā)源啟動預處理、蒸發(fā)源停止預處理、蒸發(fā)源算法控制和自診斷故障運行的子程序中選擇相應一個運行；所述的對工作模式進行選擇的碼字和控制目標值中，還包括在循環(huán)運行本主程序的上一周期中，管理計算機接收到進行分閘操作的信息后所發(fā)出的運行“程序結束”子程序的碼字（該碼字的優(yōu)先級大于其他碼字），并且該碼字是管理計算機向顯示裝置發(fā)出是否停機的詢問信息后5分鐘內無回應、或者是5分鐘內人工輸入確認指令后而發(fā)出的，若5分鐘內人工輸入否認指令則不發(fā)出該碼字。

⑹s15階段：若運行“程序結束”子程序，則微控制器1控制關閉主控制器的電源而停機。

若運行“蒸發(fā)源啟動預處理”子程序，則微控制器1通過開關量輸出驅動模塊5啟動變壓器一次側電流電壓調節(jié)硬件裝置，使之處于就緒狀態(tài)，可隨時接收“蒸發(fā)源算法控制”子程序的控制信息并進行調節(jié)控制；如果是系統(tǒng)第一次工作，則通過開關量輸出驅動模塊5首先進行動力電合閘操作，然后通過開關量輸出驅動模塊5啟動變壓器一次側電流電壓調節(jié)硬件裝置，使之處于就緒狀態(tài)；然后進入下一個階段s16階段。

若運行“蒸發(fā)源關閉預處理”子程序，則微控制器1通過開關量輸出驅動模塊5關閉變壓器一次側電流電壓調節(jié)硬件裝置，使之處于待機狀態(tài)，暫時不響應“蒸發(fā)源算法控制”子程序的控制信息；如果系統(tǒng)工作結束，則通過開關量輸出驅動模塊5進行動力電分閘操作；然后進入下一個階段s16階段。

若運行“自診斷故障運行”子程序，則微控制器1根據(jù)開關量調理模塊2和模擬量輸入調理模塊6的信息綜合判斷是否發(fā)生故障以及故障類型，如果發(fā)生故障類型為過流、硬件故障，通過開關量輸出驅動模塊5對變壓器一次側電流電壓調節(jié)硬件裝置進行復位操作，復位后如果正常，則退出“自診斷故障運行”子程序；復位后如果仍然不正常，繼續(xù)執(zhí)行復位；連續(xù)執(zhí)行3次復位，則認為系統(tǒng)不可恢復，直接調用“蒸發(fā)源關閉預處理”子程序，并通過開關量輸出驅動模塊5進行動力電分閘操作；如果故障類型為短路，直接通過開關量輸出驅動模塊5進行動力電分閘操作；然后進入下一個階段s16階段。

若運行蒸發(fā)源算法控制子程序，則微控制器1按照圖4的流程框圖運行該子程序，然后進入下一個階段s16階段；所述子程序包括以下分階段：

①s31分階段：微控制器1調用存儲器中的對控制模式進行選擇的碼字和控制目標值，在開環(huán)控制、閉環(huán)恒流控制、閉環(huán)恒壓控制或閉環(huán)恒功率控制中選擇相應一個控制模式。

②s32分階段：若控制模式為開環(huán)控制模式，則微控制器1直接調用存儲器中的相應的控制目標值作為控制量，然后進入對輸出進行限幅的s40分階段。

③s33分階段：若控制模式為三種閉環(huán)控制模式中的一種，則判斷是否為首次采用閉環(huán)控制模式，若是則進入s34分階段，若否則進入s35分階段。

④s34分階段：微控制器1加載（也即調用）存儲器中的與首次調用相對應的控制目標值（也即初始控制量）后，進入s35分階段。

⑤s35分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒流控制模式，則微控制器1根據(jù)在s11階段通過模擬量輸入調理模塊6得到的二次側的電流反饋值，調用對應的電流控制參數(shù)，然后進入s38分階段；所述的電流控制參數(shù)存在于二次側電流恒流值與電流控制參數(shù)關系專用表中。

⑥s36分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒壓控制模式，則微控制器1根據(jù)在s11階段通過模擬量輸入調理模塊6得到的二次側的電壓反饋值，調用對應的電壓控制參數(shù)，然后進入s38分階段；所述的電壓控制參數(shù)存在于二次側電壓恒壓值與電流控制參數(shù)關系專用表中。

⑦s37分階段：若閉環(huán)控制為閉環(huán)恒功率控制模式，則微控制器1調用功率計算值和對應的功率控制參數(shù)，然后進入s38分階段；所述的功率計算值是指微控制器1根據(jù)在s11階段通過模擬量輸入調理模塊6得到的二次側的電流和電壓反饋值，而對二次側的功率進行計算所得到的功率計算值，并且微控制器1在s11階段還將該功率計算值存入相應的存儲器中；所述的功率控制參數(shù)存在于二次側功率值與功率控制參數(shù)關系專用表中。

⑧s38分階段：微控制器1執(zhí)行完上述閉環(huán)預處理程序（s33分階段至s37分階段）后，調用閉環(huán)控制算法子程序并運行，根據(jù)不同類型的控制參數(shù)，計算出向一次側輸出的電流電壓調節(jié)信號的具體數(shù)值作為控制結果，然后進入s39分階段。

⑨s39分階段：微控制器1根據(jù)反饋信息對s38分階段得到的控制結果進行修正，得到修正后的控制結果；然后進入s40分階段。

⑩s40分階段：微控制器1對控制結果中的各控制量的上下限進行修正后得到等待輸出的控制量，并進行存儲，然后進入s16階段。

⑺s16階段：微控制器1向can總線發(fā)送信息，此階段可將系統(tǒng)檢測、部分計算和處理結果等信息根據(jù)can應用層協(xié)議進行編碼打包，然后啟動相應的can消息發(fā)送函數(shù)而發(fā)送到can總線；然后進入s17階段。

⑻s17階段：微控制器1對于通過s13階段直接進入s16階段的情形，以及s15階段中判斷蒸發(fā)源處于故障運行狀態(tài)運的情形，直接進行故障類型的判斷；對于正常進入本階段的情形，則微控制器1根據(jù)開關量調理模塊2和模擬量輸入調理模塊6的信息綜合判斷是否發(fā)生故障以及故障類型，如果發(fā)生故障類型為過流、硬件故障，通過開關量輸出驅動模塊5對變壓器一次側電流電壓調節(jié)硬件裝置進行復位操作，復位后如果正常，則退出“自診斷故障運行”子程序；復位后如果仍然不正常，繼續(xù)執(zhí)行復位；連續(xù)執(zhí)行3次復位，則認為系統(tǒng)不可恢復，直接調用“蒸發(fā)源關閉預處理”子程序，并通過開關量輸出驅動模塊5進行動力電分閘操作；如果故障類型為短路，直接通過開關量輸出驅動模塊5進行動力電分閘操作。

⑼s18階段：微控制器1在沒有檢測到故障的情況下，進入模擬量緩放輸出階段，向模擬量變換輸出模塊7輸出s40分階段得到的等待輸出的控制量，從而開環(huán)或閉環(huán)調節(jié)蒸發(fā)源的變壓器一次側的電流、電壓或功率。

⑽s19階段：微控制器1調用根據(jù)主控制器的狀態(tài)信息進行顯示的子程序，在顯示設備上顯示主控制裝置所處的工作狀態(tài)、通信狀態(tài)、報警狀態(tài)等。

⑾s20階段：微控制器1對軟件看門狗（圖中簡稱為軟件狗）進行設置，使軟件處于有效監(jiān)控狀態(tài)，具體方法是按時復位軟件看門狗定時器，而使軟件看門狗處于有效監(jiān)控狀態(tài)。

⑿回到s11階段：軟件看門狗設置結束后，程序又回到采集輸入信號的s11階段，如此反復執(zhí)行，直至停機。停機包括人工干預下進行分閘后的停機和程序控制進行分閘后的停機。

由上述描述可知，本發(fā)明的蒸發(fā)源控制裝置能夠對真空鍍膜設備蒸發(fā)源進行全自動監(jiān)督控制，不僅可以提高設備的自動化程度，而且可以保證蒸發(fā)功率的控制精度和穩(wěn)定性，從而提高鍍膜質量。本發(fā)明在使用中所采取的措施還有：在提供的基于can總線的真空鍍膜設備中，所有的蒸發(fā)源智能控制裝置和其他功能的can節(jié)點均通過屏蔽雙絞線和管理計算機的can轉化接口相連。

從通用角度考慮，本發(fā)明的基于can總線的真空鍍膜蒸發(fā)源控制裝置還可以作為獨立的開關量輸入模塊、開關量輸出模塊、模擬量采集模塊或模擬量輸出模塊來使用，主要用來分布式控制真空設備上各種泵、閥、電器等開關量的啟閉操作和狀態(tài)檢測，以及壓力、溫度、流量等連續(xù)量的采集與控制。在此情況下，為節(jié)約成本，控制模塊上的不相關的一部分電路元件可以不用焊接。

主控制器通過can總線接受管理計算機的各種指令，包括地址信息，控制目標值信息、檢測量信息等。主控制器還根據(jù)控制結果和實時檢測的數(shù)據(jù)及時將相關信息發(fā)送給管理計算機。

為了確保信息交換的實時、準確和可靠，本發(fā)明充分利用can總線的特點，從真空鍍膜設備控制網(wǎng)絡體系的要求出發(fā)，采用一套簡單的通信協(xié)議，該方法將全部通信內容分為控制信息、狀態(tài)信息、故障信息等三大類，并按照信息和發(fā)送頻率將通信內容分成若干個can信息標準幀，管理計算機的can轉化接口與各節(jié)點只需通過對報文的標識符濾波即可實現(xiàn)點對點、一點對多點及全局廣播等幾種方式傳送接收數(shù)據(jù)。在各模塊程序中對can節(jié)點進行合理的初始化設置后，各節(jié)點即可實現(xiàn)不分主從的實時數(shù)據(jù)通信，從而確保通信的可靠性和完整性以及準確性。