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蒸發源加熱系統的制作方法

文檔序號:11279283閱讀:949來源:國知局
蒸發源加熱系統的制造方法與工藝

本發明涉及有機電致發光器件技術領域,尤其涉及一種蒸發源加熱系統。



背景技術:

有機電致發光器件(即oled)以其自發光、全固態、高對比度、柔性顯示等優點,已逐漸成為目前顯示市場最具發展前景的技術。目前業內普遍采用真空蒸鍍技術制備oled器件,在蒸鍍的過程中,有機材料置于坩堝中,通過控制加熱系統使材料氣化而沉積在玻璃基板上,此過程中有機材料蒸鍍所需要的能量通過坩堝側壁傳導獲得,其中,坩堝外的一圈加熱線圈通電后使裝有有機材料的坩堝升溫,熱量由坩堝側壁開始向內部擴散。

然而,實際蒸鍍過程中存在以下問題:

(1)坩堝內的有機材料需要長時間緩慢加熱才能實現材料均勻受熱;

(2)距離坩堝側壁較近的材料存在因局部溫度過高而發生裂解的風險。

因此,有必要提供一種更好的蒸鍍加熱系統。



技術實現要素:

鑒于現有技術存在的不足,本發明提供了一種新的蒸發源加熱系統,可以實現對坩堝內的有機材料的均勻加熱,并能避免坩堝內的有機材料因局部溫度過高而發生裂解。

為了實現上述的目的,本發明采用了如下的技術方案:

一種蒸發源加熱系統,包括真空的加熱容器、繞所述加熱容器外周面設置的第一加熱源以及設于所述加熱容器內的均熱層,所述均熱層與所述加熱容器內壁相對設置,以均勻傳導所述加熱容器內壁發出的熱量。

作為其中一種實施方式,所述的蒸發源加熱系統還包括第二加熱源,所述第二加熱源用于對所述均熱層加熱。

作為其中一種實施方式,所述均熱層為筒體。

作為其中一種實施方式,所述均熱層與所述加熱容器內壁貼合。

作為其中一種實施方式,所述均熱層包括自中心徑向延伸的多片均熱翅,多片所述均熱翅在所述均熱層的周向上間隔布置。

作為其中一種實施方式,所述第一加熱源為螺旋形的電阻式加熱線圈,在所述加熱容器的高度方向上環繞在所述加熱容器的外圍。

作為其中一種實施方式,所述的蒸發源加熱系統還包括保溫蓋和反射板,所述反射板為筒體,間隔地環繞在所述第一加熱源的外圍;所述保溫蓋蓋設于所述反射板頂部。

作為其中一種實施方式,所述第二加熱源包括環繞地設于所述第一加熱源外側的感應線圈,通過對所述第二加熱源通入交變電流使所述均熱層發熱。

作為其中一種實施方式,所述第二加熱源與所述第一加熱源之間還設有隔熱層。

作為其中一種實施方式,所述的蒸發源加熱系統還包括用于檢測所述加熱容器內的材料蒸鍍速率的采集單元,所述第一加熱源的加熱功率根據所述采集單元檢測的蒸鍍速率調整。

本發明通過在蒸發源加熱系統的加熱容器內設置有均熱層,一方面避免了局部溫度過高引起的材料裂解的風險,另一方面也提高了加熱均勻性。另外,通過對加熱容器內的均熱層進行加熱,大幅縮短了實現均勻加熱所需的時間,也更方便實時控制系統的加熱狀態。

附圖說明

圖1為根據本發明實施例1的一種蒸發源加熱系統的結構示意圖;

圖2為根據本發明實施例2的一種蒸發源加熱系統的結構示意圖;

圖3為根據本發明實施例3的均熱層的使用狀態示意圖;

圖4為根據本發明實施例3的均熱層的放置狀態示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本發明進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明,并不用于限定本發明。

實施例1

參閱圖1,本實施例的蒸發源加熱系統包括真空的加熱容器10、繞加熱容器10外周面設置的第一加熱源20以及設于加熱容器10內的均熱層30,加熱容器10內用于放置蒸鍍用的有機材料,該均熱層30與加熱容器10內壁相對設置,最好是與加熱容器10的內壁呈貼合狀態,以最大程度且均勻地傳導加熱容器10的內壁發出的熱量。

這里,加熱容器10為坩堝,坩堝大致呈圓柱形容器構造,相應地,均熱層30為筒體,第一加熱源20為螺旋形的電阻式加熱線圈,在加熱容器10的高度方向上環繞在加熱容器10的外圍,第一加熱源20產生的熱量在對其內部的有機材料進行加熱前,首先經過加熱容器10的側壁輻射至均熱層30,間接利用均熱層30對有機材料進行蒸鍍加熱,保證了加熱均勻性,也能避免位于最靠近加熱容器10的側壁的有機材料因局部溫度過高而分解。

在第一加熱源20周圍還設置有保溫蓋40和反射板50,具體是在第一加熱源20的外圍間隔地環繞設置有反射板50,該反射板50為筒體構造,采用阻熱保溫材料制成,可以防止熱量朝外輻射,以提高熱量利用率。保溫蓋40蓋設于反射板50的頂部,避免第一加熱源20的熱量溢出造成熱損失。

進一步地,為了實時掌握加熱容器10內有機材料的蒸鍍速率,本實施例在蒸發源加熱系統內還設有用于檢測加熱容器10內的材料蒸鍍速率的采集單元(圖未示),在實際蒸鍍過程中,系統可以根據采集單元采集的蒸鍍速率實時調整第一加熱源20的加熱功率,以保持恒定的蒸鍍速率。

實施例2

如圖2所示,在實施例1的基礎上,本實施例的蒸發源加熱系統還具有第二加熱源60,該第二加熱源60用于對均熱層30加熱,由于均熱層30位于加熱容器10內,相比第一加熱源20更靠近有機材料,可以更明顯地提升加熱速度。

第二加熱源60具有環繞地設于第一加熱源20外側的感應線圈,通過對第二加熱源60通入交變電流即可使均熱層30發熱。該第二加熱源60位于反射板50的外側,并且,在第二加熱源60與反射板50之間還設有隔熱層70。第二加熱源60可以使用非接觸的方式即可對加熱容器10內的均熱層30加熱,而且隔熱層70的存在避免了第一加熱源20對感應線圈的損壞和干擾,當第一加熱源20無法第一時間使加熱容器10內壁快速升溫時,第二加熱源60可以發揮其優勢,以最快的速度同時對加熱容器10和有機材料加熱,縮短系統的啟動時間,當系統啟動后,第二加熱源60的加熱溫度可以根據需要降低,仍將第一加熱源20作為主加熱源。在蒸鍍過程中,采集單元仍實時檢測加熱容器10內的材料蒸鍍速率,系統據此實時調節第一加熱源20的加熱功率,以保持恒定的蒸鍍速率。

實施例3

如圖3和圖4所示,作為其中的均熱層30的一種構造,本實施例的均熱層30為四片均熱翅300一體形成的“十”字形結構,可以理解的是,均熱層30內均熱翅300的數量并不限于4片,多片均熱翅300自均熱層30的中心徑向延伸形成葉輪結構,即多片均熱翅300在均熱層30的周向上間隔布置,相鄰的兩片均熱翅300之間形成的間隔可以用來放置待加熱的有機材料,最好是每兩片相鄰的均熱翅300之間的夾角相同,使得加熱更均勻,各均熱翅300產生的熱量可以更好地輻射到相應的有機材料上,在一定程度上提高了加熱速度。

本發明通過在蒸發源加熱系統的加熱容器內設置有均熱層,一方面避免了局部溫度過高引起的材料裂解的風險,另一方面也提高了加熱均勻性。另外,通過對加熱容器內的均熱層進行加熱,大幅縮短了實現均勻加熱所需的時間,也更方便實時控制系統的加熱狀態。

以上所述僅是本申請的具體實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本申請原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。

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