技術特征：

技術總結
本發明公開了一種蒸發源加熱系統，其特征在于，包括真空的加熱容器、繞所述加熱容器外周面設置的第一加熱源以及設于所述加熱容器內的均熱層，所述均熱層與所述加熱容器內壁相對設置，以均勻傳導所述加熱容器內壁發出的熱量。本發明通過在蒸發源加熱系統的加熱容器內設置有均熱層，一方面避免了局部溫度過高引起的材料裂解的風險，另一方面也提高了加熱均勻性。另外，通過對加熱容器內的均熱層進行加熱，大幅縮短了實現均勻加熱所需的時間，也更方便實時控制系統的加熱狀態。

技術研發人員：姜亮
受保護的技術使用者：深圳市華星光電技術有限公司
技術研發日：2017.06.26
技術公布日：2017.09.22