本發明屬于藍寶石加工技術領域,具體涉及一種用于藍寶石晶棒平磨導向邊的工裝結構。
背景技術:
藍寶石(al2o3)又稱白寶石,具有獨特的晶體結構、優異的力學性能、高強度的機械性能和良好的熱學性能,被廣泛地應用于航空航天特種光電窗口、夜視透紅外裝備、藍光和白光半導體襯底、大規模集成電路襯底及超導納米結構薄膜襯底及等領域。
藍寶石晶體的另一個基本特點是具有方向性,沿不同的晶格方向,晶體性質不同,加工的難易程度不同,得到的產品性能也有所差異,為滿足后續的加工要求晶棒的側面需要平磨一條導向邊。傳統的藍寶石晶棒平磨導向邊方式:使用定向儀定位導向邊位置并用鉛筆標記,然后使用膠水將兩塊鐵板分別按照標記位置粘接在晶棒兩端,確保晶棒不會轉動,放置在臥軸距平面磨床上平磨,在平磨一段時間后需將晶棒從磨床上取下,在定向儀上檢測導向邊偏差角度,并繼續使用磨床糾正導向邊偏差角度,重復上述工序直到導向邊偏差角度在合理范圍內,通過解膠將鐵板取下完成導向邊的平磨,加工工藝繁瑣,加工效率底以及耗費大量膠水。因此,設計一種用于藍寶石晶棒平磨導向邊的工裝,解決傳統工藝的缺點是十分必要的。
技術實現要素:
本發明針對傳統藍寶石晶棒平磨導向邊時加工工序繁瑣,加工效率底,耗費大量膠水等問題進行研究,提供了一種用于藍寶石晶棒平磨導向邊的工裝。
本發明的目的是這樣實現的:該工裝包括如下部件:
(1)底座:包括下邊框和支撐邊框,其中下邊框為帶有磁性的10mm×10mm的方形硬質合金構成的平行于水平面的長方形邊框,下表面帶有凹槽;支撐邊框分為前支撐邊框和后支撐邊框,兩者均與水平面垂直;前支撐邊框為п形;后支撐邊框為倒山字形,左上側留有開口,開口上、下分別留有定位孔。
(2)調節邊框:一端設有中心柱結構與后支撐邊框的定位孔連接,使其可以繞著中心柱轉動,另一端設有內嵌式六角螺母。
(3)夾緊邊框:兩端分別固定在前、后支撐邊框上,一端設有螺紋孔。
(4)固定螺桿:為六角螺釘,配合調節邊框的內嵌式螺母和夾緊邊框的螺紋孔使用,固定和夾緊藍寶石晶棒。
本發明還有這樣一些特征:
(1)所述的一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,其特征在于所述底座的長度為50-330mm,寬度為25-80mm。前、后支撐邊框的長和寬分別為25-80mm和12-40mm。
(2)所述的一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,其特征在于所述的調節邊框長度為50-330mm,寬為30-150mm。
(3)所述的一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,其特征在于所述的夾緊邊框長度為50-330mm,寬為30-150mm。
(4)所述的一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,其特征在于藍寶石晶棒導向邊的定位和固定藍寶石于工裝內兩道工序可同時在定向儀上進行。
(5)所述的一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,其特征在于藍寶石晶棒的尺寸為2寸、4寸和6寸。
本發明的有益效果有:
(1)本發明一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,可代替傳統藍寶石晶棒在平磨導向邊時的繁瑣加工過程,大幅度減少加工工序,提高了加工的制成能力。
(2)本發明一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,工裝的整體設計,實現了藍寶石晶棒導向邊的定位工序和晶棒固定于工裝內工序可同時在定向儀上進行,可更加精準定位和固定出導向邊方向,減少平磨過程中導向邊晶向的偏差,進一步提高加工效率和質量穩定性。
本發明一種用于藍寶石平磨導向邊的工裝,工裝結構設計合理,省去了粘膠、解膠過程,避免了消耗品的使用,實現了節能減排。
附圖說明
圖1為本發明結構示意圖;
圖2為左視圖;
圖3為右視圖;
圖4為俯視圖。
具體實施方式
為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖和實施例對本發明進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅用以解釋本發明,并不用于限定本發明。
本實施例主要包括底座、調節邊框4、夾緊邊框7和固定螺桿8,其中底座包括下邊框1和支撐邊框。其特征在于下邊框為長方形與水平面平行并帶有直線凹槽;支撐邊框包括前支撐邊框2和后支撐邊框3,兩者均與水平面垂直,其中前支撐邊框п形,后支撐邊框為倒山字形,后支撐邊框左上側留有開口,開口上、下分別留有定位孔;調節邊框與水平面平行并且兩端分別設有中心柱結構5和內嵌式螺母6;夾緊邊框兩端分別固定在前、后支撐邊框上,且一端設有螺紋孔;使用固定螺桿將調節邊框和夾緊邊框固定并夾緊藍寶石晶棒。
結合圖1-4,下邊框結構使用具有磁性的10mm×10mm的方形硬質合金構成的長方形邊框,其中長方形邊框的長為50-330mm、寬為25-80mm,下邊框所在平面與水平面平行,并且帶有直線凹槽。支撐邊框結構分為前、后支撐邊框,分別與底座長方形邊框的兩個寬相連,且均與下邊框垂直;前支撐邊框為п形,長和寬分別為25-80mm和15-45mm;后支撐邊框為倒山字形,長和寬分別為25-80mm和12-40mm;后支撐邊框左上側留有開口,開口上、下分別留有定位孔。調節邊框結構一端設有中心柱結構并且與后支撐邊框的定位孔連接,可以繞著中心柱轉動,另一端設有內嵌式六角螺母,調節邊框的長和寬分別為50-330mm和30-150mm。夾緊邊框結構兩端分別固定在前、后支撐邊框上,且一端設有螺紋孔,夾緊邊框的長和寬分別為50-330mm和30-150mm。