專利名稱：三氯氫硅粗單體的凈化裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種化工原料的凈化裝置，特別涉及一種脫除三氯氫硅粗單體中 的氯化物和硅粉的凈化裝置。
背景技術：
三氯氫硅是一種用途廣泛的有機硅單體，主要用于生產半導體硅、單晶硅和多晶 硅，同時還是制造硅烷偶聯劑和其它有機硅產品的重要中間體。三氯氫硅通過硅粉和氯化 氫發生反應制備，由于硅粉中夾帶硼、磷及金屬雜質，這些雜質在制備三氯氫硅的同時，也 將與氯化氫反應形成三氯化硼、三氯化磷及金屬氯化物等物質。在三氯氫硅后續精制過程 中，生成的氯化物和硅粉容易造成精制設備冷凝器的堵塞。
發明內容本實用新型為解決公知技術中存在的技術問題而提供一種三氯氫硅粗單體的凈 化裝置，該裝置能夠脫除三氯氫硅粗單體中的氯化物和硅粉。本實用新型為解決公知技術中存在的技術問題所采取的技術方案是一種三氯氫 硅粗單體的凈化裝置，包括精餾塔和位于其下面的塔釜，所述精餾塔的塔頂設置有冷凝器， 所述塔釜設有進料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。所述塔釜的底部置放有富集網板。所述精餾塔為板式塔或填料塔。本實用新型具有的優點和積極效果是采用精餾原理，根據三氯氫硅與氯化物和 硅粉揮發性的差異，同時多次利用部分汽化、部分冷凝的方法，使氯化物和硅粉富集在釜 底，塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體，解決了三氯氫硅后續精制中存在 堵塞精制設備冷凝器的問題，有很強的實用性；并且本實用新型結構簡單，方便操作。

圖1是本實用新型的結構示意圖；圖2是本實用新型塔釜的結構示意圖。圖中1、冷凝器，2、精餾塔，3、塔釜，4、進料口，5、熱物流入口，6、排液口，7、熱物流
排出口，8、富集網板。
具體實施方式
為能進一步了解本實用新型的發明內容、特點及功效，茲例舉以下實施例，并配合 附圖詳細說明如下請參閱圖1 圖2，本實用新型一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置，包括精餾塔2和 位于其下面的塔釜3，精餾塔2的塔頂設置有冷凝器1，塔釜3設有進料口 4、熱物流入口 5、 熱物流排出口 7和排液口 6。[0013]精餾塔2可采用板式塔或填料塔。塔釜3的底部可以置放富集網板8，以便富集大部分氯化物和硅粉，由于富集網板 便于安裝拆卸，從而可定期及時進行清理，縮短維護時間，提高設備運行效率。本實用新型的工作原理三氯氫硅粗單體原料從塔釜進入，在塔釜內與進入塔釜的熱物流換熱，三氯氫硅 粗單體汽化上升富集到塔頂并進入冷凝器，冷凝后的液相三氯氫硅粗單體部分回流到精餾 塔內，部分流向后續三氯氫硅精制設備；而高沸點的硅粉和氯化物在塔釜底富集，從而實現 三氯氫硅粗單體原料中的氯化物和硅粉的脫除。盡管上面結合附圖對本實用新型的優選實施例進行了描述，但是本實用新型并不 局限于上述的具體實施方式
，上述的具體實施方式
僅僅是示意性的，并不是限制性的，本領 域的普通技術人員在本實用新型的啟示下，在不脫離本實用新型宗旨和權利要求所保護的 范圍情況下，還可以做出很多形式，這些均屬于本實用新型的保護范圍之內。
權利要求一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置，其特征在于，包括精餾塔和位于其下面的塔釜，所述精餾塔的塔頂設置有冷凝器，所述塔釜設有進料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。
2.根據權利要求1所述的三氯氫硅粗單體的凈化裝置，其特征在于，所述塔釜的底部 置放有富集網板。
3.根據權利要求1所述的三氯氫硅粗單體的凈化裝置，其特征在于，所述精餾塔為板 式塔或填料塔。
專利摘要本實用新型公開了一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置，包括精餾塔和位于其下面的塔釜，所述精餾塔的塔頂設置有冷凝器，所述塔釜設有進料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。本實用新型采用精餾原理，根據三氯氫硅與氯化物和硅粉揮發性的差異，同時多次利用部分汽化、部分冷凝的方法，使氯化物和硅粉富集在釜底，塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體，解決了三氯氫硅后續精制中存在堵塞精制設備冷凝器的問題，有很強的實用性；并且本實用新型結構簡單，方便操作。
文檔編號C01B33/107GK201704078SQ201020234468
公開日2011年1月12日 申請日期2010年6月23日 優先權日2010年6月23日
發明者趙華 申請人:天津市華瑞奕博化工科技有限公司