專利名稱：一種三氯氫硅的精餾器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為三氯氫硅精餾提純技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種三氯氫硅的精餾器。
背景技術(shù)：
三氯氫硅是生產(chǎn)太陽能級與微電子級多晶硅的重要原料，同時也是合成有機(jī)硅的重要中間體。多晶硅是半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽能光伏電池產(chǎn)業(yè)的最重要、最基礎(chǔ)的功能性材料，有機(jī)硅是新型化工材料，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。為促進(jìn)我國光伏產(chǎn)業(yè)和電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)快速發(fā)展，國家發(fā)改委將“光伏硅材料的技術(shù)開發(fā)”列入了《可再生資源產(chǎn)業(yè)發(fā)展指導(dǎo)目錄》。由于多晶硅及下游產(chǎn)品要求的不斷提高，對三氯氫硅中雜質(zhì)和微量元素的要求越來越嚴(yán)格，該發(fā)明采用七塔連續(xù)精餾，各級分工明確不斷對生產(chǎn)的產(chǎn)品進(jìn)行提純，可以達(dá)到較高要求。

發(fā)明內(nèi)容
該發(fā)明的目的是提供一種用于三氯氫硅精餾提純的裝置，采用7級連續(xù)精餾，既可以保證精餾質(zhì)量又可以將各種沸點(diǎn)的組分區(qū)別開來實(shí)現(xiàn)資源的有效利用。包括預(yù)塔、三級三氯氫硅精餾塔和四氯氫硅精餾塔、原料回收塔等七級結(jié)構(gòu)。一級精餾除去混合液中的二氯二氫硅等低沸點(diǎn)組分，從塔釜得到已脫去低沸物的氯硅烷，塔頂?shù)玫降头悬c(diǎn)餾分。后續(xù)三級精餾塔分離出大量的四氯化硅和三氯氫硅中的高沸點(diǎn)成分，得到合格的三氯氫硅，質(zhì)量可以滿足生產(chǎn)太陽能及多晶硅的要求。從其他精餾塔塔釜得到的含高沸點(diǎn)雜質(zhì)的三氯氫硅則回收到粗原料槽中進(jìn)行回收，避免物料浪費(fèi)。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1
生產(chǎn)出來的三氯氫硅逐級經(jīng)過各級精餾塔，得到的精餾后的高純度三氯氫硅存儲于儲藏罐中，四氯氫硅等組分經(jīng)過處理后，分別用于再次生產(chǎn)和排出。整個過程無污染氣體排出，且可以利用反應(yīng)過程中出現(xiàn)的熱量，實(shí)現(xiàn)了節(jié)能減排。
權(quán)利要求
1.一種提純?nèi)葰涔璧木s設(shè)備，其特征在于包括預(yù)塔、三級三氯氫硅精餾塔和四氯氫硅精餾塔、原料回收塔等七級結(jié)構(gòu)。
2.一級精餾除去混合液中的二氯二氫硅等低沸點(diǎn)組分，從塔釜得到已脫去低沸物的氯硅烷，塔頂?shù)玫降头悬c(diǎn)餾分。
3.后續(xù)三級精餾塔分離出大量的四氯化硅和三氯氫硅中的高沸點(diǎn)成分，得到合格的三氯氫硅，質(zhì)量可以滿足生產(chǎn)太陽能及多晶硅的要求。
4.從其他精餾塔塔釜得到的含高沸點(diǎn)雜質(zhì)的三氯氫硅則回收到粗原料槽中進(jìn)行回收， 避免物料浪費(fèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提純?nèi)葰涔璧木s設(shè)備，其特征在于所述的預(yù)塔為導(dǎo)向篩板塔，操作壓力為0-0. 15MPaG，塔板數(shù)為2246塊，預(yù)塔底部設(shè)有預(yù)塔再沸器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的提純?nèi)葰涔璧木s設(shè)備，其特征在于所述的三氯氫硅精餾塔為導(dǎo)向篩板塔，操作壓力為0-0. 15MPaG，塔板數(shù)為38-42塊，三氯氫硅精餾塔底部設(shè)有三氯氫硅精餾器再沸器。
全文摘要
一種用于提純?nèi)葰涔璧木s設(shè)備，屬于三氯氫硅精餾提純技術(shù)領(lǐng)域。該精餾設(shè)備包括七級精餾塔。該精餾設(shè)備包括預(yù)塔和3級三氯氫硅精餾塔、四氯化硅精餾塔、原料回收塔等。各級塔均為導(dǎo)向篩板塔，且在塔板上分別設(shè)有兩級冷凝器。具有產(chǎn)能大。效率高、壓降低、結(jié)構(gòu)簡單、造價(jià)低廉、抗堵能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，并且解決了用改良西門子法生產(chǎn)電子級多晶硅提純技術(shù)存在的諸多缺點(diǎn)。
文檔編號C01B33/107GK102502657SQ20111035494
公開日2012年6月20日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者張曉斐, 潘志粉, 石汝軍 申請人:淄博高新區(qū)聯(lián)創(chuàng)科技服務(wù)中心