專利名稱：一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種吸附柱并網(wǎng)裝置，特別是一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，屬于多晶硅化工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
[0002]國內(nèi)外的多晶硅生產(chǎn)主要采用“改良西門子法”，該方法中的⑶I工藝是比較成熟的多晶硅生產(chǎn)尾氣回收工藝，其工藝步驟大概為尾氣先經(jīng)過冷凝將氯硅烷、氯化氫和氫氣分離開后，液態(tài)的氯硅烷送精餾工序，氣態(tài)的氯化氫、氫氣經(jīng)過吸收塔、解析塔被分離開，其中的氯化氫送至合成工序，氫氣再經(jīng)吸附柱除去殘余的氯硅烷和氯化氫后繼續(xù)作為生產(chǎn)原料使用。[0003]由于多晶硅還原系統(tǒng)中的尾氣回收和氫化系統(tǒng)中的尾氣回收是兩套獨立的系統(tǒng)， 但是由于還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)輸送至尾氣回收工序的物料具有相近性，所以在其中一套尾氣回收系統(tǒng)出現(xiàn)動力設(shè)備(如壓縮機和螺桿機等)工況意外下，則可以用另外一套正常運行的回收系統(tǒng)處理來同時處理還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)的尾氣以維持生產(chǎn)。但是由于單套系統(tǒng)處理能力有限，此時還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng)必須減量運行，但即使在降低生產(chǎn)負荷情況下，單套吸附柱凈化氫氣也不能保證回收氫氣質(zhì)量，而回收氫氣質(zhì)量作為影響多晶硅質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一，這將直接導致產(chǎn)品質(zhì)量及產(chǎn)量明顯下滑。在尾氣回收系統(tǒng)中，吸附柱對回收的氫氣質(zhì)量有較大的影響。發(fā)明內(nèi)容[0004]本實用新型的發(fā)明目的在于針對上述存在的問題，提供一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，能夠利用因故障停車的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運行的吸附柱來進行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì) 量，同時，在正常工況下也可以對不同系統(tǒng)(如還原系統(tǒng)和氫化系統(tǒng))之間的吸附負荷做一個再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質(zhì)量，從而達到提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。[0005]本實用新型采用的技術(shù)方案如下[0006]—種多晶娃尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置,包括回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I、吸附柱I和之間連接的管道I，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II、吸附柱II和之間連接的管道II ;所述管道I和管道II通過設(shè)置帶有閥門I的管道III 連通；所述管道I上設(shè)置閥門II，所述閥門II位于換熱器I和管道III之間；所述管道II上設(shè)置閥門V，所述閥門V位于換熱器II和管道III之間。[0007]作為優(yōu)選方式，所述管道III為不銹鋼鋼管。[0008]作為優(yōu)選方式，所述管道I上設(shè)置閥門III，所述閥門III位于管道III和吸附柱I之間。[0009]作為優(yōu)選方式，所述管道II上設(shè)置閥門VI，所述閥門VI位于管道III和吸附柱II之間。[0010]作為優(yōu)選方式，所述閥門I、閥門II、閥門III、閥門V和閥門VI均為球閥。[0011]作為優(yōu)選方式，所述閥門I、閥門II、閥門III、閥門V和閥門VI均為不銹鋼球閥。[0012]作為優(yōu)選方式，所述閥門I與管道III采用法蘭連接；所述閥門II和閥門III均與管道I采用法蘭連接；所述閥門V和閥門VI均與管道II采用法蘭連接。[0013]回收系統(tǒng)中的回收氫氣從換熱器輸送至吸附柱。帶有閥門I的管道III為氫氣進入不同回收系統(tǒng)的吸附柱提供了可控制的通道；通過閥門II、閥門V和可以控制氫氣進入吸附柱而不進入其他的設(shè)備(如換熱器)；設(shè)置閥門III和閥門VI則可以實現(xiàn)選擇性的單獨或同時使用吸附柱I或吸附柱II，使得操作方案更加靈活；管道III、閥門I、閥門II、閥門III、閥門V和閥門VI，選用不銹鋼管道和不銹鋼閥門，能有效避免因氫氣中的氯化氫的強腐蝕性而導致管道腐蝕和因腐蝕帶來金屬雜質(zhì)導致氫氣質(zhì)量的降低；閥門I、閥門II、閥門III、閥門V和閥門VI全部采用球閥提高了操作的可靠性；閥門和管道間采用法蘭連接提高了靈活性，便于維護和更換。由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是[0015]本實用新型的一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計巧妙，成本低廉，實現(xiàn)了能夠利用因故障停車的尾氣回收系統(tǒng)中可以正常運行的吸附柱來進行回收氫氣的吸附，有效的降低正常運行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì)量，同時，在正常工況下也可以對回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II的吸附負荷做一個再分配和優(yōu)化，提升回收氫吸附質(zhì)量，從而達到提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。


[0016]圖I是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0017]圖中標記1_換熱器I、2_吸附柱I、3_管道I、4_換熱器II、5-吸附柱II、6-管道II、7-管道III、8-閥門I、9-閥門IKlO-閥門111、11_閥門V、12-閥門VI。
具體實施方式
[0018]
以下結(jié)合附圖，對本實用新型作詳細的說明。[0019]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，
以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。[0020]實施例1，一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，如圖I所示，包括回收系統(tǒng) I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I I、吸附柱I 2和之間連接的管道I 3，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II 4、吸附柱II 5和之間連接的管道II 6 ;將管道I 3和管道II 6 通過設(shè)置帶有閥門I 8的管道III 7連通，所述管道I 3上的換熱器I I和管道III 7之間設(shè)置閥門II 9，所述管道II 6上的換熱器II 4和管道III7之間設(shè)置閥門V 11 ;管道III的選用不銹鋼鋼管，閥門I 8、閥門II 9、和閥門V 11選用不銹鋼球閥，與管道I 3、管道II 6和管道 III 7采用法蘭連接而成。[0021]實施例2，一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，如圖I所示，包括回收系統(tǒng) I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I I、吸附柱I 2和之間連接的管道I 3，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II 4、吸附柱II 5和之間連接的管道II 6 ;將管道I 3和管道II 6通過設(shè)置帶有閥門I 8的管道III 7連通，所述管道I 3上的換熱器I I和管道III 7之間設(shè)置閥門II 9，所述管道II 6上的換熱器II 4和管道III7之間設(shè)置閥門V 11 ;再將管道I 3上的管道III 7和換熱器I 2之間設(shè)置閥門III10，將管道II 6上的管道III 7和吸附柱II 5之間設(shè)置閥門VI 12，管道III 7的選用不銹鋼鋼管，閥門I 8、閥門II 9、閥門III10、閥門V 11和閥門VI 12選用不銹鋼球閥，與管道I 3、管道II 6和管道III 7采用法蘭連接而成。[0022]以 上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，包括回收系統(tǒng)I和回收系統(tǒng)II，所述回收系統(tǒng)I包含有換熱器I (I)、吸附柱I (2)和之間連接的管道I (3)，所述回收系統(tǒng)II包含有換熱器II (4)、吸附柱II (5)和之間連接的管道II (6)，其特征在于所述管道I (3)和管道II (6)通過設(shè)置帶有閥門I (8)的管道III(7)連通；所述管道I (3)上設(shè)置閥門II (9)， 所述閥門II (9)位于換熱器I(I)和管道III (7)之間；所述管道II (6)上設(shè)置閥門V (11)， 所述閥門V (11)位于換熱器II (4)和管道III (7)之間。
2.如權(quán)利要求I所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道 111(7)為不銹鋼鋼管。
3.如權(quán)利要求I所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道 I (3)上設(shè)置閥門111(10)，所述閥門III(IO)位于管道111(7)和吸附柱I (2)之間。
4.如權(quán)利要求I或3所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述管道II (6 )上設(shè)置閥門VI (12 )，所述閥門VI (12 )位于管道III (7 )和吸附柱II (5 )之間。
5.如權(quán)利要求4所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門 I (8)、閥門II (9)、閥門III(10)、閥門V (11)和閥門VI (12)均為球閥。
6.如權(quán)利要求5所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門 I (8)、閥門II (9)、閥門III(10)、閥門V (11)和閥門VI(12)均為不銹鋼球閥。
7.如權(quán)利要求5或6所述的多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，其特征在于所述閥門I (8)與管道111(7)采用法蘭連接；所述閥門II (9)和閥門III(IO)均與管道I (3)采用法蘭連接；所述閥門V (11)和閥門VK12)均與管道II (6)采用法蘭連接。
專利摘要本實用新型公開了一種多晶硅尾氣回收系統(tǒng)吸附柱并網(wǎng)裝置，包括回收系統(tǒng)Ⅰ和回收系統(tǒng)Ⅱ，所述回收系統(tǒng)Ⅰ包含有換熱器Ⅰ(1)、吸附柱Ⅰ(2)和之間連接的管道Ⅰ(3)，所述回收系統(tǒng)Ⅱ包含有換熱器Ⅱ(4)、吸附柱Ⅱ(5)和之間連接的管道Ⅱ(6)，所述管道Ⅰ(3)和管道Ⅱ(6)通過設(shè)置帶有閥門Ⅰ(8)的管道Ⅲ(7)連通；所述管道Ⅰ(3)上設(shè)置閥門Ⅱ(9)，所述閥門Ⅱ(9)位于換熱器Ⅰ(1)和管道Ⅲ(7)之間；所述管道Ⅱ(6)上設(shè)置閥門Ⅴ(11)，所述閥門Ⅴ(11)位于換熱器Ⅱ(4)和管道Ⅲ(7)之間。該吸附柱并網(wǎng)裝置成本低廉，有效的降低正常運行的尾氣回收系統(tǒng)中吸附柱的負荷，提升尾氣處理量和回收氫氣質(zhì)量。
文檔編號C01B3/56GK202654903SQ20122018831
公開日2013年1月9日 申請日期2012年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月28日
發(fā)明者羅邦彥 申請人:四川瑞能硅材料有限公司