專利名稱：一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及納米氧化鋅制備領(lǐng)域，具體地講，涉及一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)。
技術(shù)背景目前，通過磁控濺射、激光脈沖等一系列物理方法 進行晶種層的制備成本高，對襯底的質(zhì)量要求高，不易實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)；通過溶膠凝膠法制備晶種層耗時高，需要多步進行才能生長出晶種層，該晶種層的生長取向性不如磁控濺射 、激光脈沖方法長出來的效果好。此為現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，減少晶種層制備的時間，能耗少，對襯底質(zhì)量要求低，且能生長出結(jié)晶質(zhì)量好的納米氧化鋅結(jié)構(gòu)，易于實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。本實用新型采用如下技術(shù)方案實現(xiàn)發(fā)明目的一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，包括超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐，其特征是所述超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐都連接控制器，所述控制器連接機械手。作為對本技術(shù)方案的進一步限定，所述控制器上設(shè)置計時單元、機械手控制單元和測溫單元。作為對本技術(shù)方案的進一步限定，所述襯底上設(shè)置有測溫裝置一，所述測溫裝置一連接控制器。作為對本技術(shù)方案的進一步限定，所述高壓釜上設(shè)置有測溫裝置二，所述測溫裝置二連接控制器。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點和積極效果是本實用新型的控制器控制超聲噴霧裝置將醋酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上，在襯底上生長出晶種層，機械手將生長好晶種層的襯底放入高壓釜中，倒入硝酸鋅和六次甲基四胺配比組成的生長溶液，在一定溫度下生長計時單元設(shè)定的時間，當高壓釜內(nèi)的測溫裝置測試到高壓釜降低到室溫后，機械手將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐，在馬弗爐中進行快速退火，即得到氧化鋅納米結(jié)構(gòu)樣品。本實用新型減少晶種層制備的時間，能耗少，對襯底質(zhì)量要求低，且能生長出結(jié)晶質(zhì)量好的納米氧化鋅結(jié)構(gòu)，易于實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。

圖I為本實用新型優(yōu)選實施例的原理方框圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和優(yōu)選實施例對本實用新型作更進一步的詳細描述。[0012]參見圖1，本實用新型包括超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐、控制器、機械手、測溫裝置一、測溫裝置二，所述超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐都連接控制器，所述控制器連接機械手。所述控制器上設(shè)置計時單元、機械手控制單元和測溫單元。所述襯底上設(shè)置有測溫裝置一，所述測溫裝置一連接控制器。測溫裝置一將襯底溫度發(fā)送到控制器，便于控制器控制超聲噴霧裝置工作。所述高壓釜上設(shè)置有測溫裝置二，所述測溫裝置二連接控制器。測溫裝置二將高壓釜內(nèi)的溫度發(fā)送到控制器，當襯底在高壓釜內(nèi)達到設(shè)定的時間和溫度時，控制機械手將襯底從高壓釜內(nèi)取出。本實用新型的工作流程為本實用新型的控制器控制超聲噴霧裝置將醋 酸鋅溶液沉積到溫度為300攝氏度的襯底上，在襯底上生長出晶種層，機械手將生長好晶種層的襯底放入高壓釜中，倒入硝酸鋅和六次甲基四胺配比組成的生長溶液，在一定溫度下生長計時單元設(shè)定的時間，當高壓釜內(nèi)的測溫裝置測試到高壓釜降低到室溫后，機械手將襯底從高壓釜中取出，放入馬弗爐，在馬弗爐中進行快速退火，即得到氧化鋅納米結(jié)構(gòu)樣品。當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的實質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，包括超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐，其特征是所述超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐都連接控制器，所述控制器連接機械手。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，其特征是所述控制器上設(shè)置計時單元、機械手控制單元和測溫單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，其特征是所述襯底上設(shè)置有測溫裝置一，所述測溫裝置一連接控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，其特征是所述高壓釜上設(shè)置有測溫裝置二，所述測溫裝置二連接控制器。
專利摘要本實用新型公開了一種納米氧化鋅自動制備系統(tǒng)，包括超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐，其特征是所述超聲噴霧裝置、襯底、高壓釜和馬弗爐都連接控制器，所述控制器連接機械手。本實用新型減少晶種層制備的時間，能耗少，對襯底質(zhì)量要求低，且能生長出結(jié)晶質(zhì)量好的納米氧化鋅結(jié)構(gòu)，易于實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。
文檔編號C01G9/02GK202688004SQ20122034647
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月18日
發(fā)明者張仲, 劉如喜, 黃金昭, 李世帥, 李泓霖 申請人:濟南大學