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一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置制造方法

文檔序號:3473010閱讀:665來源:國知局
一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及中頻感應熔煉爐領域,特別涉及一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置,其裝置包括爐體(1),傾爐系統(tǒng)(2),水冷電纜(3),電容器柜(4),電纜(5),電源柜(6),變壓器(7),其中,爐體(1),傾爐系統(tǒng)(2),水冷電纜(3),電容器柜(4),電纜(5),電源柜(6),變壓器(7)依次連接成一條線,關鍵是爐體(1)內的爐襯是石墨結構。這樣的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置結構緊湊,節(jié)能環(huán)保,投資少,成本低,流程短,維修方便,滿足了客戶的要求。
【專利說明】一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及中頻感應熔煉爐領域,特別涉及一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置。

【背景技術】
[0002]長期以來物理法多晶硅冶煉多采用電弧爐冶煉,其整個裝置結構龐大,設備成本高,耗電量大,污染大,維修不便。


【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的就在于克服上述現(xiàn)有技術中的不足,而提供了一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置。
[0004]為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用的技術方案為:
一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置,其特征在于,包括爐體,傾爐系統(tǒng),水冷電纜,電容器柜,電纜,電源柜和變壓器,其安裝方式為:所述爐體、傾爐系統(tǒng)、水冷電纜、電容器柜、電纜、電源柜和變壓器依次連接成一條線。
[0005]進一步的,所述爐體內爐襯為石墨。
[0006]這樣的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置結構緊湊,節(jié)能環(huán)保,投資少,成本低,流程短,維修方便,滿足了客戶的要求。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明結構示意圖。
[0008]其中,1-爐體,2-傾爐系統(tǒng),3-水冷電纜,4-電容器柜,5-電纜,6_電源柜,7_變壓器。

【具體實施方式】
[0009]以下結合附圖和具體實施例對本發(fā)明做進一步說明。
[0010]如圖1,本實施例是針對的多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置,由爐體1,傾爐系統(tǒng)2,水冷電纜3,電容器柜4,電纜5,電源柜6和變壓器7組成,它們之間依次連接成一條線,爐體I內爐襯采用石墨。
[0011]多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置工作過程如下:
向爐體I中放入要熔煉的多晶硅原料,開啟電源6,中頻電流通過加熱電纜5,電容器柜4,水冷電纜3,輸入到爐體I感應線圈中,產生的磁場將石墨柑堝加熱,石墨坩堝的熱能又將多晶硅原料加熱,當溫度合格,熔煉好后,傾爐系統(tǒng)2將爐內冶煉好的溶液倒出,整個冶煉過程完成。
[0012]關鍵點是多晶硅不導磁,通過加熱石墨,石墨受熱將熱量導入多晶硅原料,使多晶娃融化,石墨也不污染多晶娃。
[0013]以上是對本發(fā)明的具體說明,本方案不僅僅局限在以上實施例中,針對在本方案發(fā)明構思下所做的任何改變都將落入本發(fā)明保護范圍內。
【權利要求】
1.一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置,其特征在于,包括爐體(1),傾爐系統(tǒng)(2),水冷電纜(3),電容器柜(4),電纜(5),電源柜(6)和變壓器(7),其安裝方式為:所述爐體(I)、傾爐系統(tǒng)(2)、水冷電纜(3)、電容器柜(4)、電纜(5)、電源柜(6)和變壓器(7)依次連接成一條線。
2.根據(jù)權利要求1所述一種多晶硅用中頻熔煉爐冶煉裝置,其特征在于,所述爐體(I)內爐襯為石墨。
【文檔編號】C01B33/037GK104418327SQ201310406084
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2013年9月9日 優(yōu)先權日:2013年9月9日
【發(fā)明者】魏雷, 魏云鵬 申請人:西安邦合電氣設備有限公司
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