一種可部分重復利用的還原爐石墨電極的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，它包括：石墨底座，石墨蓋，石墨夾瓣，石墨底座為柱型結構，底面有與金屬電極相互配合的凹槽臺面，上部有與石墨蓋配合的螺紋，石墨蓋為臺錐形，中心通孔，底部內孔設有與石墨底座匹配的螺紋，頂部內孔有與石墨夾瓣配合的斜面，石墨夾瓣為三瓣結構，其在中心通孔的圓錐體上每隔120°處做開口，成為三瓣。所述的石墨底座的螺紋圈數為M，石墨蓋的螺紋圈數分別為M或M-2或M-2*2。本實用新型在于多晶硅生長過程中，氣相沉積的多晶硅只能夠滲入到上緊的螺紋的第二圈，通過螺紋的密封并設置不同螺紋圈數的石墨蓋，就能夠使石墨底座多次利用。
【專利說明】—種可部分重復利用的還原爐石墨電極
一、【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種可部分重復利用的還原爐石墨電極。
二、【背景技術】
[0002]由于石墨的導電性能好，多晶硅還原爐通常使用石墨作為電極，用于夾緊氣相沉積的載體-硅芯。但是通常使用的還原爐石墨件在生長大棒徑硅棒后，會在表面及與硅芯連接處沉積一層很厚的晶體硅，導致無法再次使用，而石墨件在多晶硅成本中占有不小的比重，非常浪費。以24對棒還原爐計算，每爐需要石墨件48個，即使忽略后期煅燒、包裝等加工成本，單采購成本也需四萬元左右，因此如何做到石墨件的重復使用就成為降低多晶硅生產成本的關鍵。
三、實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，其是對還原爐石墨件進行改進，使得石墨件中最主要的、所占成本最聞的部件-石墨底座(占石墨總成本70%以上)可以多次利用，能夠大幅降低每爐多晶硅的成本。
[0004]本實用新型的目的是這樣來實現的:一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，它包括:石墨底座，石墨蓋，石墨夾瓣，石墨底座為柱型結構，底面有與金屬電極相互配合的凹槽臺面，上部有與石墨蓋配合的螺紋，石墨蓋為臺錐形，中心通孔，底部內孔設有與石墨底座匹配的螺紋，頂部內孔有與石墨夾瓣配合的斜面，石墨夾瓣為三瓣結構，其在中心通孔的圓錐體上每隔120°處做開口，成為三瓣。所述的石墨底座的螺紋圈數為M，石墨蓋的螺紋圈數分別為M或M-2或M-2*2。
[0005]本實用新型在于多晶硅生長過程中，氣相沉積的多晶硅只能夠滲入到上緊的螺紋的第二圈，通過螺紋的密封并設置不同螺紋圈數的石墨蓋，就能夠使石墨底座多次利用。
四、【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]附圖1為本實用新型的石墨底座結構圖。
[0007]附圖2為本實用新型石墨蓋螺紋圈數為M的結構圖。
[0008]附圖3為本實用新型石墨蓋螺紋圈數為M-2的結構圖。
[0009]附圖4為本實用新型石墨蓋螺紋圈數為M_2*2的結構圖。
[0010]附圖5為本實用新型的石墨夾瓣的結構主視圖。
[0011]附圖6為附圖5的俯視圖。
[0012]附圖7為本實用新型石墨在第一次使用時的組裝圖。
[0013]附圖8為本實用新型石墨在第二次使用時的組裝圖。
[0014]附圖9為本實用新型石墨在第三次使用時的組裝圖。
五、【具體實施方式】[0015]下面結合附圖及實施例來對本實用新型做詳細說明。
[0016]參照附圖，本實用新型一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，它包括:石墨底座
1、石墨蓋2、石墨夾瓣3，石墨底座I為柱型結構，底面有與金屬電極相互配合的凹槽臺面，上部有與石墨蓋2配合的螺紋，石墨蓋2為臺錐形，中心通孔，底部內孔設有與石墨底座I匹配的螺紋，頂部內孔有與石墨夾瓣3配合的斜面，石墨夾瓣3為三瓣結構，其在中心通孔的圓維體上每隔120°處做開口，成為二辦，所述的石墨底座I的螺紋圈數為M,石墨蓋2的螺紋圈數分別為M或M-2或M-2*2。
[0017]第一次使用圈數為M的石墨蓋，經過一次氣相沉積后，由于螺紋密封使得氣相沉積的硅質只能滲入到第二圈，需重復利用石墨底座時，敲掉石墨蓋，更換石墨夾瓣，再安裝螺紋圈數M-2的石墨蓋，以此類推，實現石墨底座的多次利用。
【權利要求】
1.一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，它包括:石墨底座(I)、石墨蓋(2)、石墨夾瓣(3)，其特征在于:石墨底座(I)為柱型結構，底面有與金屬電極相互配合的凹槽臺面，上部有與石墨蓋(2)配合的螺紋，石墨蓋(2)為臺錐形，中心通孔，底部內孔設有與石墨底座(I)匹配的螺紋，頂部內孔有與石墨夾瓣⑶配合的斜面，石墨夾瓣⑶為三瓣結構，其在中心通孔的圓錐體上每隔120°處做開口，成為三瓣。
2.如權利要求1所述的一種可部分重復利用的還原爐石墨電極，其特征在于:石墨底座(I)的螺紋圈數為M，石墨蓋⑵的螺紋圈數分別為M或M-2或M-2*2。
【文檔編號】C01B33/027GK203568854SQ201320404629
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年6月28日 優先權日:2013年6月28日
【發明者】李棟, 郭飛, 魚林 申請人:陜西天宏硅材料有限責任公司