技術總結
一種磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統，所述磷化氫氣體的制取與使用和氮氣稀釋系統包括電源、氮氣源、氮氣純度檢測儀、壓力傳感器、磷化氫發生器、磷化氫濃度檢測儀、連接管路及控制閥、報警器和保護電路；所述氮氣源出氣口與磷化氫發生器進氣口連接，可向磷化氫發生器內注入純氮氣，用于稀釋磷化氫發生器產生的磷化氫氣體的濃度。

技術研發人員：黃建
受保護的技術使用者：黃建
文檔號碼：201610366915
技術研發日：2016.05.31
技術公布日：2017.05.31