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一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術的制作方法

文檔序號:11126839閱讀:797來源:國知局
一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術的制造方法與工藝

本專利涉及太陽能電池多晶硅鑄錠領域,特別是一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術。



背景技術:

現下生產工藝生產的硅錠,多為一次形核、一次長晶,因此多存在硅錠底部位錯低、效率高,上部位錯逐漸升高,效率變低的缺點,導致硅錠和生產的硅片集中度分散,進而導致光電轉換效率低,質量偏低。



技術實現要素:

針對上述問題,本發明公開了一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術。

為解決以上技術問題,本發明提供的技術方案是:

一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其特征在于,包括以下具體步驟:

A、準備脫模層:準備氮化硅粉料,攪拌均勻,預熱鑄錠坩堝,并將攪拌均勻的氮化硅粉料噴涂于鑄錠坩堝的內壁上,隨后再次加熱鑄錠坩堝,將鑄錠坩堝內壁上的氮化硅粉料燒結,形成脫模層;

B、裝料:將硅原料裝填于鑄錠坩堝內;

C、多晶硅錠爐吸塵:在鑄錠過程中,多晶硅錠爐的爐膛內會吸附大量氧化物,使用吸塵器吸除爐膛內大部分氧化物;

D、投料:使用行車等輸送設備將步驟B中裝料好的鑄錠坩堝放入多晶硅錠爐內;

E、加熱、熔煉:啟動多晶硅錠爐,對鑄錠坩堝進行加熱,將鑄錠坩堝內硅原料融化,形成硅溶液,爐內主控溫度控制在溫度n1,所述n1為1530℃~1560℃;

F、長晶準備:等硅原料完全融化完畢,保溫10~30分鐘;

G、長晶:以預算的長晶高度為H,實際長晶為h1,長晶階段分為三階:

1、第一長晶階段:0<h1<0.4*H,啟動多晶硅錠爐內部的DS冷卻快,對鑄錠坩堝進行冷卻,進行長晶,硅溶液溫度控制在溫度n2;

2、第二長晶階段:h1=0.4*H~0.5*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行一次形核優化,隨后硅溶液溫度提升,繼續長晶,此時硅溶液溫度控制在溫度n3;

3、第三長晶階段:h1=0.65*H~0.7*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行二次形核優化,隨后繼續長晶,直至長晶完成,硅溶液溫度控制在溫度n4;

H、出爐:關閉多晶硅錠爐,等多晶硅錠爐內部溫度降低,隨后泄壓,最后用行車等輸送設備將鑄錠坩堝取出,鑄錠出爐。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述n2為1415℃~1420℃,所述n3為1410℃~1415℃,所述n4為1405℃~1412℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述真空補料系統包括抽真空設備、加料腔、石英導流管和控制閥,所述抽真空設備、石英導流管均與加料腔聯通,抽真空設備連接于加料腔上端,石英導流管連接于加料腔下端,控制閥設置于石英導流管上,控制石英導流管輸送輔助冷卻劑,石英導流管的下端插入多晶硅錠爐內,位于鑄錠坩堝的上方。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述輔助冷卻劑為REC生產的4021系列顆粒硅料或尺寸10MM以下的小塊原生純多晶硅。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,步驟A中的燒結溫度為800℃~1100℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述在第二長晶階段和第三長晶階段中,每次添加的輔助冷卻劑的量相同,每次添加輔助冷卻劑與形核原料的重量比為0.11~0.12%。

本發明的有益效果為:

本發明的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,包括準備脫模層、裝料、多晶硅錠爐吸塵、投料、長晶準備、長晶和出爐等七個步驟,改進現有多晶鑄錠爐,設置真空補料系統,通過投放輔助冷卻劑,實現快速降溫,同時由于輔助冷卻劑又能迅速融化,形核完成后又能快速回到長晶階段,以實現形核和長晶的快速切換,同時,本發明的真空補料系統與爐內熱場不發生干涉。

綜上所述,本發明利用現有的多晶鑄錠爐,實現多次形核,使生產的硅錠光電轉換效率達到19.5%以上,硅片效率分布集中度提高40%,從而實現提高整體轉換效率和提高效率集中度的目的。

附圖說明

圖1真空補料系統示意圖。

具體實施方式

實施例一

一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其特征在于,包括以下具體步驟:

A、準備脫模層:準備氮化硅粉料,攪拌均勻,預熱鑄錠坩堝,并將攪拌均勻的氮化硅粉料噴涂于鑄錠坩堝的內壁上,隨后再次加熱鑄錠坩堝,將鑄錠坩堝內壁上的氮化硅粉料燒結,形成脫模層;

B、裝料:將硅原料裝填于鑄錠坩堝內;

C、多晶硅錠爐吸塵:在鑄錠過程中,多晶硅錠爐的爐膛內會吸附大量氧化物,使用吸塵器吸除爐膛內大部分氧化物;

D、投料:使用行車等輸送設備將步驟B中裝料好的鑄錠坩堝放入多晶硅錠爐內;

E、加熱、熔煉:啟動多晶硅錠爐,對鑄錠坩堝進行加熱,將鑄錠坩堝內形核原料融化,形成硅溶液,爐內的主控溫度控制在溫度n1,所述n1為1550℃;

F、長晶準備:等硅原料完全融化完畢,保溫25分鐘;

G、長晶:以預算的長晶高度為H,實際長晶為h1,長晶階段分為三階:

1、第一長晶階段:0<h1<0.4*H,啟動多晶硅錠爐內部的DS冷卻快,對鑄錠坩堝進行冷卻,進行長晶,硅溶液溫度控制在溫度n2;

2、第二長晶階段:h1=0.45*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行一次形核優化,隨后硅溶液溫度提升,繼續長晶,此時硅溶液溫度控制在溫度n3;

3、第三長晶階段:h1=0.67*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行二次形核優化,隨后繼續長晶,直至長晶完成,硅溶液溫度控制在溫度n4;

H、出爐:關閉多晶硅錠爐,等多晶硅錠爐內部溫度降低,隨后泄壓,最后用行車等輸送設備將鑄錠坩堝取出,鑄錠出爐。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述所述n2為1415℃,所述n3為1410℃,所述n4為1405℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述輔助冷卻劑為REC生產的4021系列顆粒硅料或尺寸10MM以下的小塊原生純多晶硅。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,步驟A中的燒結溫度為1000℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述在第二長晶階段和第三長晶階段中,每次添加的輔助冷卻劑的量相同,每次添加輔助冷卻劑與形核原料的重量比為0.117%。

實施例二

一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其特征在于,包括以下具體步驟:

A、準備脫模層:準備氮化硅粉料,攪拌均勻,預熱鑄錠坩堝,并將攪拌均勻的氮化硅粉料噴涂于鑄錠坩堝的內壁上,隨后再次加熱鑄錠坩堝,將鑄錠坩堝內壁上的氮化硅粉料燒結,形成脫模層;

B、裝料:將硅原料裝填于鑄錠坩堝內;

C、多晶硅錠爐吸塵:在鑄錠過程中,多晶硅錠爐的爐膛內會吸附大量氧化物,使用吸塵器吸除爐膛內大部分氧化物;

D、投料:使用行車等輸送設備將步驟B中裝料好的鑄錠坩堝放入多晶硅錠爐內;

E、加熱、熔煉:啟動多晶硅錠爐,對鑄錠坩堝進行加熱,將鑄錠坩堝內形核原料融化,形成硅溶液,爐內主控溫度控制在溫度n1,所述n1為1545℃;

F、長晶準備:等硅原料完全融化完畢,保溫25分鐘;

G、長晶:以預算的長晶高度為H,實際長晶為h1,長晶階段分為三階:

1.第一長晶階段:0<h1<0.4*H,啟動多晶硅錠爐內部的DS冷卻快,對鑄錠坩堝進行冷卻,進行長晶,硅溶液溫度控制在溫度n2;

2.第二長晶階段:h1=0.47*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行一次形核優化,隨后硅溶液溫度提升,繼續長晶,此時硅溶液溫度控制在溫度n3;

3.第三長晶階段:h1=0.69*H,通過設置于多晶硅錠爐上的真空補料系統,向鑄錠坩堝內補送輔助冷卻劑,對硅溶液進行快速降溫,進行二次形核優化,隨后繼續長晶,直至長晶完成,硅溶液溫度控制在溫度n4;

H、出爐:關閉多晶硅錠爐,等多晶硅錠爐內部溫度降低,隨后泄壓,最后用行車等輸送設備將鑄錠坩堝取出,鑄錠出爐。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述n2為1420℃,所述n3為1415℃,所述n4為1412℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述輔助冷卻劑為REC生產的4021系列顆粒硅料或尺寸10MM以下的小塊原生純多晶硅。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,步驟A中的燒結溫度為1050℃。

上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述在第二長晶階段和第三長晶階段中,每次添加的輔助冷卻劑的量相同,每次添加輔助冷卻劑與形核原料的重量比為0.118%。

實施例三

如圖1所示,上述的一種多次形核鑄造高效多晶硅錠及硅片技術,其中,所述真空補料系統包括抽真空設備1、加料腔2、石英導流管3和控制閥4,所述抽真空設備1、石英導流管3均與加料腔2聯通,抽真空設備1連接于加料腔2上端,石英導流管3連接于加料腔2下端,控制閥4設置于石英導流管3上,控制石英導流管3輸送輔助冷卻劑,石英導流管3的下端插入多晶硅錠爐5內,位于鑄錠坩堝6的上方。

以上所述,僅為本發明較佳的具體實施方式,但本發明的保護范圍并不局限于此,任何熟悉本技術領域的技術人員在本發明揭露的技術范圍內,可輕易想到的變化或替換,都應涵蓋在本發明的保護范圍內。因此,本發明的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。

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