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一種BN?SiC復合顆粒及其制備方法與流程

文檔序號:11100846閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種BN-SiC復合顆粒,包括SiC顆粒和包覆在所述SiC顆粒外的BN鍍層,所述BN鍍層的厚度為0.5~20μm。

2.根據權利要求1所述的BN-SiC復合顆粒,其特征在于,所述SiC顆粒的粒徑為0.05~700μm。

3.根據權利要求1所述的BN-SiC復合顆粒,其特征在于,所述BN-SiC復合顆粒的粒徑為0.6~720μm。

4.權利要求1或2所述復合顆粒的制備方法,其特征在于,采用磁控濺射法在SiC顆粒表面沉積BN鍍層,得到BN-SiC復合顆粒。

5.根據權利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述磁控濺射法具體包括以下步驟:

(1)將SiC顆粒裝入工裝,對真空腔進行抽真空;

(2)向所述抽真空后的真空腔內充入惰性氣體;

(3)將SiC顆粒加熱至300~500℃;

(4)控制超聲波振動頻率為(0W,350W],樣品臺擺動頻率為1~150次/分鐘,在SiC顆粒表面磁控濺射沉積BN鍍層,得到BN-SiC復合顆粒。

6.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(1)中真空腔抽真空后的真空度為4×10-4~4×10-3Pa。

7.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中充入惰性氣體至真空腔內氣壓為0.1~15Pa。

8.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中磁控濺射的功率為100~250W。

9.根據權利要求5所述的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)中磁控濺射的時間為2~6h。

10.根據權利要求4所述的制備方法,其特征在于,所述磁控濺射沉積BN鍍層后還包括:將BN-SiC復合顆粒保溫20~60min。

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