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鑄造多晶硅用豎爐的制作方法

文檔序號:11900896閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種鑄造多晶硅用豎爐,包括爐體,所述爐體的頂部和側壁都設有加熱機構,所述爐體內設有坩堝,所述爐體依次設有加熱區、梯度區和冷卻區,其特征在于,還包括驅動坩堝升降的坩堝升降機構,所述坩堝的底壁內表面設有黑色氮化硅粉層和鋪設在黑色氮化硅粉層上的多晶硅層,所述多晶硅層的厚度為3-5毫米,所述加熱區、梯度區和冷卻區從上向下依次分布。

2.根據權利要求1所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述豎爐還設有電梯井,所述電梯井還設有從上向下分布的用于觀察爐體內部的觀察孔,所述電梯井中安裝有升降式電梯。

3.根據權利要求2所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述電梯包括轎廂和豎置狀態的摩擦桿;所述轎廂連接有摩擦片和摩擦片外移機構,摩擦片同轎廂可伸縮連接在一起,摩擦片外移機構用于驅動摩擦片伸出以同所述摩擦桿抵接在一起產生摩擦制動作用;所述轎廂的下部設有緩沖墊;所述載人空間的表面設有柔性層,所述柔性層通過緩震彈簧同所述轎廂連接在一起。

4.根據權利要求3所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述摩擦桿有兩根且分布在所述轎廂的兩側,所述摩擦片有兩片,所述摩擦片設有穿設在所述轎廂內的滑桿,所述摩擦片外移機構包括驅動桿、剎車彈簧、套設在驅動桿上的掛環、穿設在掛環內的插銷和驅動插銷脫出掛環的脫銷機構,所述驅動桿包括鉸接且交叉連接在一起的兩根分桿,所述兩個分桿一一對應地同所述兩個摩擦片的滑桿鉸接在一起,所述剎車彈簧的一端同所述轎廂連接在一起、另一端同所述掛環連接在一起且處于儲能狀態。

5.根據權利要求4所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述脫銷機構包括設置在插銷上的永磁鐵、排斥所述永磁鐵的電磁鐵、速度傳感器和電磁鐵控制單元,所述電磁鐵控制單元由于當速度傳感器檢測到轎廂的下降速度大于設定值時使電磁鐵得電而產生磁力。

6.根據權利要求4或5所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述驅動桿設有驅動所述兩個分桿進行折彎的氣脹桿,所述緩沖墊為氣墊,所述氣脹桿同所述緩沖墊連通。

7.根據權利要求6所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述緩沖墊的下表面設有防刺破層。

8.根據權利要求3或4或5所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述載人空間的頂壁設有電機,所述電機的轉軸沿上下方向延伸,所述電機的轉軸上設有傾斜向下照射的光源,所述光源為激光二極管。

9.根據權利要求8所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,還包括散熱器和加熱結構,所述光源為綠光激光二極管,所述加熱結構包括導熱基板和設置在導熱基板上的貼片電阻,所述散熱器設有連通在一起的光源安裝孔和加熱結構安裝孔,所述導熱基板安裝在所述加熱結構安裝孔內,所述導熱基板一體成型有穿設在所述光源安裝孔內的導熱套,所述光源連接在所述導熱套內,溫度為25℃以上時、所述導熱套同所述光源安裝孔抵接在一起,所述散熱器的線性膨脹系數小于所述導熱套的線性膨脹系數。

10.根據權利要求9所述的鑄造多晶硅用豎爐,其特征在于,所述導熱套的一端和散熱器的一端都密封抵接在密封板上,所述導熱套的另一端和散熱器的另一端通過環形儲液囊密封連接在一起,所述導熱套、密封板、散熱器和環形儲液囊之間形成密封腔,所述密封腔同環形儲液囊連通且在重力或環形儲液囊的彈性收縮作用下環形儲液囊內的絕熱液體可以流到密封腔內。

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