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鑄造多晶硅用豎爐的制作方法

文檔序號(hào):11900896閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。一種鑄造多晶硅用豎爐,包括爐體,所述爐體的頂部和側(cè)壁都設(shè)有加熱機(jī)構(gòu),所述爐體內(nèi)設(shè)有坩堝,所述爐體依次設(shè)有加熱區(qū)、梯度區(qū)和冷卻區(qū),其特征在于,還包括驅(qū)動(dòng)坩堝升降的坩堝升降機(jī)構(gòu),所述坩堝的底壁內(nèi)表面設(shè)有黑色氮化硅粉層和鋪設(shè)在黑色氮化硅粉層上的多晶硅層,所述多晶硅層的厚度為3?5毫米,所述加熱區(qū)、梯度區(qū)和冷卻區(qū)從上向下依次分布。本發(fā)明提供了一種鑄造多晶硅用豎爐,以提高整錠硅片的效率。

技術(shù)研發(fā)人員:馬標(biāo);張立新
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江綠谷光伏科技有限公司
文檔號(hào)碼:201611131905
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.09
技術(shù)公布日:2017.05.17

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