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直拉單晶用加熱器的制作方法

文檔序號:11040363閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種直拉單晶用加熱器,其特征在于:包括圓筒狀的加熱器本體(110),所述加熱器本體(110)包括上部產(chǎn)熱部(112)和下部產(chǎn)熱部(114),所述上部產(chǎn)熱部(112)的產(chǎn)熱量大于下部產(chǎn)熱部(114)的產(chǎn)熱量;所述直拉單晶用加熱器(100)安裝到單晶爐中后,上部產(chǎn)熱部(112)與單晶棒結(jié)晶面以及單晶棒結(jié)晶面以上的區(qū)域?qū)?yīng),下部產(chǎn)熱部(114)與坩堝對應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:所述直拉單晶用加熱器為電阻加熱器,所述上部產(chǎn)熱部(112)的電阻值大于下部產(chǎn)熱部(114)的電阻值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:所述上部產(chǎn)熱部(112)上分布有多個上部槽孔(1121),下部產(chǎn)熱部(114)上分布有多個下部槽孔(1141)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:所述上部槽孔(1121)的數(shù)量多于下部槽孔(1141)的數(shù)量。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:下部槽孔(1141)的頂端向上延伸至上部產(chǎn)熱部(112)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:所述加熱器本體(110)的底端連接有多個在圓周方向均勻分布的安裝座(120),該多個安裝座(120)的數(shù)量為兩個以上。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:該多個安裝座(130)的數(shù)量為4個。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:多個安裝座(120)中的其中兩個安裝座(120)兼具安裝座和電極腳功能。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:上部槽孔(1121)和下部槽孔(1141)分別為豎直的細條狀結(jié)構(gòu)。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直拉單晶用加熱器,其特征在于:多個上部槽孔(1121)沿著圓周方向均勻排列在上部產(chǎn)熱部(112)上,多個下部槽孔(1141)沿著圓周方向均勻排列在下部產(chǎn)熱部(114)上。

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