真空腔室間強隔離裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及于LOW-E玻璃鍍膜生產線中的鍍膜腔室，具體涉及真空腔室間強隔離裝置。
【背景技術】
[0002]在LOW-E玻璃鍍膜生產線中，傳統的強隔離裝置是在隔離腔內設置一塊用于將傳輸玻璃的腔室和隔離腔內的氣體分隔開的隔離板。這樣，前陰極腔室和后陰極腔室(前陰極腔室和后陰極腔室統稱鍍膜腔室)所需的不同氣體穿過起各種的腔壁排氣口被隔離腔上方的分子栗(真空栗)抽走，防止前陰極腔室內的其他串入后陰極腔室內。
[0003]由于前陰極腔室和后陰極腔室的腔壁上均設置有玻璃進入和送出的通道，部分氣體會通過該通道串入到另一鍍膜腔室中去影響了另一腔室的鍍膜質量，嚴重者還可能對另一腔室的靶材起破壞作用(如氧化)。
【實用新型內容】
[0004]針對現有技術中的上述不足，本實用新型提供了一種能夠快速地將通過前陰極腔室和后陰極腔室的通道內溢出的氣體進行排除的真空腔室間強隔離裝置。
[0005]為了達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案為:
[0006]提供一種真空腔室間強隔離裝置，其包括位于前陰極腔室和后陰極腔室之間的隔離腔，設置在隔離腔頂部的真空栗和設置在隔離腔內、用于將傳輸玻璃的腔室與隔離腔內的氣體分隔開的上隔離板；腔室內相鄰傳輸輥之間、傳輸輥與前陰極腔室的腔壁之間和傳輸輥與后陰極腔室的腔壁之間設置有間隔隔板，傳輸的玻璃經過間隔隔板、傳輸輥與上隔離板之間形成的通道；上隔離板位于每個傳輸輥正上方的那部分均勻地設置有若干用于調節通道內的氣體流入隔離腔內的流量大小的氣體調節裝置。
[0007]本實用新型的有益效果為:玻璃從鍍膜腔室內送出或送入時，部分進入通道內的氣體可以通過設置的氣體調節裝置與真空栗的配合快速地通過隔離板和隔離腔排出，解決了部分氣體通過通道串入到另一鍍膜腔室中去影響了另一腔室的鍍膜質量，起到了隔離效果的萬無一失；同時還可以對另一個腔室內的靶材起到保護作用。
【附圖說明】
[0008]圖1為強隔離裝置安裝在真空腔室間的剖視圖。
[0009]圖2為上隔離板的局部剖視圖。
[0010]圖3為圖1中A部的放大圖。
[0011]其中，1、前陰極腔室；2、隔離腔；3、真空栗；4、后陰極腔室；5、傳輸輥；6、間隔隔板；7、上隔離板；71、閥門；72、滑槽；73、壓緊螺母；74、觸焊螺釘；8、玻璃。
【具體實施方式】
[0012]下面對本實用新型的【具體實施方式】進行描述，以便于本技術領域的技術人員理解本實用新型，但應該清楚，本實用新型不限于【具體實施方式】的范圍，對本技術領域的普通技術人員來講，只要各種變化在所附的權利要求限定和確定的本實用新型的精神和范圍內，這些變化是顯而易見的，一切利用本實用新型構思的實用新型創造均在保護之列。
[0013]如圖1，該真空腔室間強隔離裝置包括位于前陰極腔室I和后陰極腔室4(前陰極腔室I和后陰極腔室4統稱鍍膜腔室)之間的隔離腔2，設置在隔離腔2頂部的真空栗3和設置在隔離腔2內、用于將傳輸玻璃8的腔室與隔離腔2內的氣體分隔開的上隔離板7。
[0014]為了避免從鍍膜腔室內溢出的氣體到處擴散以影響氣體抽取效率，在腔室內相鄰傳輸輥5之間、傳輸輥5與前陰極腔室I的腔壁之間和傳輸輥5與后陰極腔室4的腔壁之間設置有間隔隔板6，傳輸的玻璃8經過間隔隔板6、傳輸輥5與上隔離板7之間形成的通道。
[0015]間隔隔板6設置之后，溢出的氣體只能在通道內擴散，不能進入傳輸輥5之間的空隙位置中去，這樣可以方便后續真空栗3對氣體的抽取排出。
[0016]上隔離板7位于每個傳輸輥5正上方的那部分均勻地設置有若干用于調節通道內的氣體流入隔離腔2內的流量大小的氣體調節裝置。玻璃8從鍍膜腔室內送出或送入時，部分進入通道內的氣體可以通過設置的氣體調節裝置與真空栗3的配合快速地通過隔離板和隔離腔2排出，從而保證了另一個鍍膜腔室內的鍍膜質量。
[0017]參考圖2，圖2示出了上隔離板7的局部剖視圖。如圖2所示，設計時優選氣體調節裝置包括在上隔離板7位于每個傳輸輥5正上方的那部分上開設的若干排氣孔(排氣孔優選為方形孔)、蓋合在排氣孔上的兩塊閥門71和用于調節兩塊閥門71打開排氣孔開度的調節結構(調節閥門71在排氣方孔上左、右滑動，實現排氣孔的開口大小的調節)。
[0018]如圖3所示，在本實用新型的一個實施例中，該調節結構為開設在閥門71上的滑槽72和與上隔離板7焊接在一起的觸焊螺釘74 ;觸焊螺釘74的自由端穿過閥門71上的滑槽72 ;滑槽72為一條腰形槽孔。
[0019]對排氣孔開度進行調節時，移動同一排氣孔上的兩塊閥門71，使位于滑槽72內的觸焊螺釘74相對閥門71移動，當排氣孔的開度達到用戶需要時的開度(當排氣孔的開口大小確定后)，用手旋壓觸焊螺釘74上的壓緊螺母7473就可以將閥門71鎖緊，這樣，玻璃8通過的通道里的氣體就可經排氣孔被真空栗3抽走，不至于進入另一鍍膜腔室中去。
[0020]雖然結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行了詳細地描述，但不應理解為對本專利的保護范圍的限定。在權利要求書所描述的范圍內，本領域技術人員不經創造性勞動即可做出的各種修改和變形仍屬本專利的保護范圍。
【主權項】
1.真空腔室間的強隔離裝置，包括位于前陰極腔室和后陰極腔室之間的隔離腔，設置在隔離腔頂部的真空栗和設置在隔離腔內、用于將傳輸玻璃的腔室與隔離腔內的氣體分隔開的上隔離板；其特征在于:所述腔室內相鄰傳輸輥之間、傳輸輥與前陰極腔室的腔壁之間和傳輸輥與后陰極腔室的腔壁之間設置有間隔隔板，傳輸的玻璃經過所述間隔隔板、傳輸輥與上隔離板之間形成的通道；所述上隔離板位于每個傳輸輥正上方的那部分均勻地設置有若干用于調節通道內的氣體流入隔離腔內的流量大小的氣體調節裝置。2.根據權利要求1所述的真空腔室間的強隔離裝置，其特征在于:所述氣體調節裝置包括在上隔離板位于每個傳輸輥正上方的那部分上開設的若干排氣孔、蓋合在所述排氣孔上兩塊閥門和用于調節兩塊閥門打開排氣孔開度的調節結構。3.根據權利要求2所述的真空腔室間的強隔離裝置，其特征在于:所述調節結構為開設在所述閥門上的滑槽和與上隔離板焊接在一起的觸焊螺釘；所述觸焊螺釘的自由端穿過所述閥門上的滑槽。4.根據權利要求3所述的真空腔室間的強隔離裝置，其特征在于:所述滑槽為一條腰形槽孔。
【專利摘要】本實用新型公開了真空腔室間的強隔離裝置，其包括位于前陰極腔室和后陰極腔室之間的隔離腔，設置在隔離腔頂部的真空泵和設置在隔離腔內、用于將傳輸玻璃的腔室與隔離腔內的氣體分隔開的上隔離板；腔室內相鄰傳輸輥之間、傳輸輥與前陰極腔室的腔壁之間和傳輸輥與后陰極腔室的腔壁之間設置有間隔隔板，傳輸的玻璃經過間隔隔板、傳輸輥與上隔離板之間形成的通道；上隔離板位于每個傳輸輥正上方的那部分均勻地設置有若干用于調節通道內的氣體流入隔離腔內的流量大小的氣體調節裝置。
【IPC分類】C03C17/00
【公開號】CN204848659
【申請號】CN201520432093
【發明人】賀強
【申請人】中建材（內江）玻璃高新技術有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年6月23日