本實用新型涉及一種真空堆垛機，尤其涉及一種硅片真空堆垛機。

背景技術：

現有技術中硅片堆垛一般使用人工堆垛機，吸盤損耗過大(吸盤與硅片接觸時間大約在80～100s)，生產效率低(人工控制一件硅片需要120s)，容易出錯(人工控制堆垛誤差在30mm左右)，堆放不齊造成入庫困難。

技術實現要素：

有鑒于此，本實用新型的目的是提供一種硅片真空堆垛機，以解決現有技術中的不足。

為了達到上述目的，本實用新型的目的是通過下述技術方案實現的：

提供一種硅片真空堆垛機，包括支架、伺服電機、移動定位車、懸臂、懸架、提取夾鉤、提取吸盤、控制器、液壓缸和真空泵，所述移動定位車通過所述伺服電機可移動地設于所述支架上，所述懸架通過所述懸臂設于所述移動定位車上，所述液壓缸和所述真空泵設于所述移動定位車上，所述提取夾鉤和所述提取吸盤設于所述懸架上，所述提取夾鉤連接所述液壓缸，所述真空泵連接所述提取吸盤，所述支架上設有若干接近開關。

上述技術方案中，所述提取夾鉤分布于所述提取吸盤的周邊位置。

與已有技術相比，本實用新型的有益效果在于：

吸盤損耗小，效率高，支持自動運行，堆放整齊，出錯率低。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1示出了本實用新型硅片真空堆垛機的結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。

參考圖1所示，本實用新型硅片真空堆垛機包括支架1、伺服電機、移動定位車2、懸臂3、懸架4、提取夾鉤5、提取吸盤6、控制器、液壓缸和真空泵，移動定位車2通過伺服電機可移動地設于支架1上，懸架4通過懸臂3設于移動定位車2上，液壓缸和真空泵設于移動定位車2上，提取夾鉤5和提取吸盤6設于懸架4上，提取夾鉤5連接液壓缸，真空泵連接提取吸盤6，支架1上設有若干接近開關。

本技術方案中，提取夾鉤5分布于提取吸盤6的周邊位置。

提取夾鉤5的主要作用是在熱軋側取硅片，移送過程中抱緊硅片，驅動方式：a.上升下降，液壓缸驅動；b.夾緊釋放，液壓缸驅動，位置檢測：a.取硅片下降，固定位置，接近開關檢測；b.取硅片夾緊，接近開關四點檢測；c.上升，固定位置，接近開關檢測；d.夾鉤釋放，固定位置，接近開關檢測；e.堆垛硅片下降，計算機運算目標位置，編碼器檢測(部分升級為激光檢測)。提取吸盤6的主要作用為硅片堆垛，驅動方式：a.上升下降，液壓缸驅動；b.吸硅片，真空吸盤；c.放硅片，壓縮空氣反吹吸盤，位置檢測：接近開關兩點檢測。

本硅片真空堆垛機采用伺服精確定位，堆垛排列整齊誤差在0.5mm，自動模式下一個循環65～70s，在取料移動過程中使用夾鉤方式，只在堆垛時吸盤與硅片接觸，時間小于10s。

從上述實施例可以看出，本實用新型的優勢在于：

吸盤損耗小，效率高，支持自動運行，堆放整齊，出錯率低。

以上對本實用新型的具體實施例進行了詳細描述，但本實用新型并不限制于以上描述的具體實施例，其只是作為范例。對于本領域技術人員而言，任何等同修改和替代也都在本實用新型的范疇之中。因此，在不脫離本實用新型的精神和范圍下所作出的均等變換和修改，都應涵蓋在本實用新型的范圍內。