液體氣化裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種液體氣化裝置，液體氣化裝置包括：連接有第一接入管和第二接入管的第一管體、與該第一管體連接的第二管體、位于該第一管體與該第二管體連接處的霧化器、與該第二管體連接的氣化器內殼、部分容置該氣化器內殼且對該氣化器內殼進行加熱的電加熱器、與該電加熱器的底部連接且與氣化器內殼聯通的第三管體、以及位于外部的氣化器外殼；其中，所述氣化器內殼內設有多根同心圓分布的毛細管、位于該多根毛細管之間的熱電偶、以及位于相鄰毛細管之間的導熱油脂。本實用新型油脂是熱源來自外部，所以控溫點放在油脂的中部，以保證所有位置的油脂溫度不低于設定值，加熱器不與液氣直接接觸，不會發生局部過熱現象和結垢，蒸發穩定。
【專利說明】
液體氣化裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型屬于光纖預制棒的技術領域，尤其涉及一種液體氣化裝置。【背景技術】
[0002]在現有的光纖預制棒制造方法中，如MCVD(Metal Chemical Vapor Deposit1n， 金屬化學汽相淀積)、PCVD(Plasma Asisted Chmical Vapor Deposit1n，等離子體增強化學氣相沉積法)、VAD(Vapour Phase Axial Deposit1n Technique，氣相軸向沉積法)、0VD (Outside Vapour Deposit1n，外汽相沉積法)均采用液體原料如SiC14、GeC14、BBr3、 P0C13、0MCTS等作為氣化反應的原料供應。眾所周知光纖預制棒制造過程中，液體原料的氣化的穩性對產品的沉積參數和產品質量影響很大。
[0003]目前用于光纖預制棒生產的液體原料氣化主要有鼓泡法、閃蒸法。鼓泡法適合低沸點的液體，一般氣化量較低適合用于MCVD、PCVD等需求氣化速度慢的工藝；閃蒸法一般加熱管伸入到一個小的盛放液體容器內加熱從而使液體氣化。
[0004]圖1和圖2所示為現有閃蒸氣化法的結構示意圖，蒸發罐10內設有液體20,蒸發罐 10連接有液體入口 30、加熱器40和蒸氣出口 50、載氣入口 60。這種方法氣化量較鼓泡法大， 但是加熱管易結垢，影響加熱效率，這種方法也僅適用于低沸點的液體，對于沸點大于100 °C沸點的液體，由于加熱管接觸液體面積較小，如果更容易結垢。【實用新型內容】
[0005]本實用新型的目的在于提供一種解決氣化液體的佛點不穩定、存在局部過熱問題、加熱件易結垢的液體氣化裝置。
[0006]本實用新型提供一種液體氣化裝置，其包括:連接有第一接入管和第二接入管的第一管體、與該第一管體連接的第二管體、位于該第一管體與該第二管體連接處的霧化器、 與該第二管體連接的氣化器內殼、部分容置該氣化器內殼且對該氣化器內殼進行加熱的電加熱器、與該電加熱器的底部連接且與氣化器內殼聯通的第三管體、以及位于外部的氣化器外殼;其中，所述氣化器內殼內設有多根同心圓分布的毛細管、位于該多根毛細管之間的熱電偶、以及位于相鄰毛細管之間的導熱油脂。
[0007]優選地，所述熱電偶位于所述氣化器內殼體的中心靠下的位置。
[0008]優選地，所述氣化器內殼在露出電加熱器的部位還設有第一入口和第二入口，第一入口為熱電偶插入口，第二入口為導熱油脂入口。[〇〇〇9]優選地，所述第一接入管連接在所述第一管體的一端部，所述第二接入管連接在所述第一管體的側邊。
[0010]優選地，所述第一接入管為液體原料入口，所述第二接入管為氣體入口。
[0011]優選地，所述第一接入管穿入該第一管體的內部并貫穿至該第一管體另一端部。
[0012]優選地，所述霧化器與該第一接入管的出口端連接。
[0013]優選地，所述氣化器外殼為保溫板。
[0014]優選地，所述電加熱器位于氣化器內殼體的外側和底部。
[0015]本實用新型通過先將液體霧化，再將霧化液體分散多根不銹鋼毛細管中，經油脂加熱毛細管使霧化的液體氣化，然后再匯集到一根管中供應氣化蒸氣；由于油脂的熱源來自外部，所以控溫點放在油脂的中部，以保證所有位置的油脂溫度不低于設定值，同是設定溫度要高于氣化液體沸點20 °C;本液體氣化裝置可以氣化沸點小于等于300°C的液體，電加熱器不與液氣直接接觸，不會發生局部過熱現象和結垢，蒸發穩定。【附圖說明】

[0016]圖1為現有閃蒸氣化法的結構示意圖；
[0017]圖2為圖1所示閃蒸氣化法的另一角度結構示意圖；
[0018]圖3所示為本實用新型液體氣化裝置的結構示意圖；
[0019]圖4所示圖3所示液體氣化裝置的主視圖；
[0020]圖5所示圖4所示液體氣化裝置的剖視圖。【具體實施方式】
[0021]本實用新型揭示一種液體氣化裝置100,本液體氣化裝置100將光纖預制棒制造所用液態化學品(31(:14、6冗14、88“、？0(:13、01?^5等)進行氣化裝置和方法，本實用新型屬于光纖預制棒制造技術領域。
[0022]請參閱圖3至圖5所示，本液體氣化裝置100包括:第一管體1、與該第一管體1連接的第二管體2、位于該第一管體1與該第二管體2連接處的霧化器3、與該第二管體2連接的氣化器內殼4、部分容置該氣化器內殼4且對該氣化器內殼4進行加熱的電加熱器5、與該電加熱器5的底部連接且與氣化器內殼4聯通的第三管體6、以及位于外部的氣化器外殼7。其中， 該第三管體6穿過該氣化器外殼7。
[0023]本液體氣化裝置100還包括與該第一管體1的一端連接的第一接入管11和第二接入管12。其中，該第一接入管11為液體原料入口，第一接入管11和第二接入管12呈垂直狀態，第一接入管11穿入該第一管體1的內部并貫穿至該第一管體1的另一端部，霧化器3與該第一接入管11的出口端連接;該第二接入管12為氣體入口，第二接入管12連接在該第一管體1側邊。[〇〇24]氣化器內殼4內設有多根同心圓分布的毛細管41、位于該多根毛細管41之間的熱電偶42、以及位于相鄰毛細管41之間的導熱油脂43;該氣化器內殼41在露出電加熱器5的部位還設有第一入口41和第二入口42,第一入口41為熱電偶插入口，第二入口42為導熱油脂入口。
[0025]本液體氣化裝置100氣化方法，包括如下步驟:[〇〇26]第一步:氣體通入第一接入管11，同時液體通入第二接入管12,氣體和液體在第一管體1經霧化器3進行霧化；[〇〇27]第二步:霧化后的液體進入氣化器內殼4內的多根同心圓分布的毛細管41內，同時外部的電加熱器5對氣化器內殼4進行加熱，電加熱器5將溫度經氣化器內殼體4傳遞給多根毛細管41間填充的導熱油脂43;[〇〇28]第三步:導熱油脂43再將溫度經金屬毛細管41內的霧化后的原料進行氣化；
[0029]第四步:氣化后的液體匯集到第三管體6。[〇〇3〇]本實用新型電加熱器5根據氣化器內殼體4的熱電偶42進行控制，控制溫度比液體的沸點高20°C，熱電偶42位于氣化器內殼體4內中心靠下的位置，以保證了氣化器內殼體4 內各個點的導熱油脂42的溫度均高于設定溫度；電加熱器5位于氣化器內殼體4的外側和底部，電加熱器5的功率為氣化量Q(g/min)X(10?20)。[〇〇31] 氣化器外殼7為保溫板，氣化器外殼7的外表面溫度<50°C。由于氣化內毛細管41 為316L不銹鋼，本液體氣化裝置100最佳氣化液體溫度為氣化沸點< 300 °C的液體。[〇〇32]設定氣體為氮氣N2,液體為八甲基環四硅氧烷(0MCTS)，電加熱器5的功率為 3000W，電加熱器5的加熱溫度為195°C。
[0033] 八甲基環四硅氧烷(D4)，無色透明或乳白色液體，可燃，無異味，是一種以二甲基二氯硅烷為主要原料，在經過水解合成工序制得的水解物基礎上經過分離、精餾，或者是在水解物經過裂解后或在DMC基礎上再分離、精餾后制得的有單獨定義的化合物。[〇〇34]氣體和0MCTS分別給第一接入管11和第二接入管12進入，經霧化器3進行霧化;霧化后的液體進入到氣化器內殼體4內的多根同心圓分布的毛細管41內；經過毛細管41外部不小于195°C的油脂將霧化液體氣化最終匯到第三管體6;氣化器內殼體4內的油脂42溫度由氣化器內殼體4外部的電加熱器5提供熱源，并根據氣化器內殼體43內中心的測溫點進行 PID調節；電加熱器5的外部溫度經測量為42°C，氣化后口的氣體經噴燈沉積實驗，噴燈火焰穩定，說明氣化完全且穩定。
[0035]本實用新型通過先將液體霧化，再將霧化液體分散多根不銹鋼毛細管中，經油脂加熱毛細管使霧化的液體氣化，然后再匯集到一根管中供應氣化蒸氣；由于油脂的熱源來自外部，所以控溫點放在油脂的中部，以保證所有位置的油脂溫度不低于設定值，同是設定溫度要高于氣化液體沸點20 °C;本液體氣化裝置可以氣化沸點小于等于300°C的液體，電加熱器不與液氣直接接觸，不會發生局部過熱現象和結垢，蒸發穩定。
[0036]以上參照【附圖說明】了本實用新型的優選實施例，本領域技術人員不脫離本實用新型的范圍和實質，可以有多種變型方案實現本實用新型。舉例而言，作為一個實施例的部分示出或描述的特征可用于另一實施例以得到又一實施例。以上僅為本實用新型較佳可行的實施例而已，并非因此局限本實用新型的權利范圍，凡運用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效變化，均包含于本實用新型的權利范圍之內。
[0037]以上詳細描述了本實用新型的優選實施方式，但是本實用新型并不限于上述實施方式中的具體細節，在本實用新型的技術構思范圍內，可以對本實用新型的技術方案進行多種等同變換，這些等同變換均屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種液體氣化裝置，其特征在于，其包括:連接有第一接入管和第二接入管的第一管 體、與該第一管體連接的第二管體、位于該第一管體與該第二管體連接處的霧化器、與該第 二管體連接的氣化器內殼、部分容置該氣化器內殼且對該氣化器內殼進行加熱的電加熱 器、與該電加熱器的底部連接且與氣化器內殼聯通的第三管體、以及位于外部的氣化器外 殼;其中，所述氣化器內殼內設有多根同心圓分布的毛細管、位于該多根毛細管之間的熱電 偶、以及位于相鄰毛細管之間的導熱油脂。2.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述熱電偶位于所述氣化器內殼 體的中心靠下的位置。3.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述氣化器內殼在露出電加熱器 的部位還設有第一入口和第二入口，第一入口為熱電偶插入口，第二入口為導熱油脂入口。4.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述第一接入管連接在所述第一 管體的一端部，所述第二接入管連接在所述第一管體的側邊。5.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述第一接入管為液體原料入 口，所述第二接入管為氣體入口。6.根據權利要求1或5所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述第一接入管穿入該第一 管體的內部并貫穿至該第一管體另一端部。7.根據權利要求6所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述霧化器與該第一接入管的出 口端連接。8.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述氣化器外殼為保溫板。9.根據權利要求1所述的液體氣化裝置，其特征在于:所述電加熱器位于氣化器內殼體 的外側和底部。
【文檔編號】F28D15/04GK205690948SQ201620483898
【公開日】2016年11月16日
【申請日】2016年5月25日 公開號201620483898.7, CN 201620483898, CN 205690948 U, CN 205690948U, CN-U-205690948, CN201620483898, CN201620483898.7, CN205690948 U, CN205690948U
【發明人】田國才, 肖華, 鈕小平, 劉同連, 胡付儉
【申請人】江蘇亨通光導新材料有限公司