本實用新型涉及晶圓清洗烘干技術領域。

背景技術：

晶圓烘干機在使用過程中溫度較高（烘干室內溫度在75-80度之間），烘干室出料后的硅片及花籃籃筐溫度較高，能夠導致操作人員燙傷。卸料時操作人員只穿戴聚乙烯手套不能直接操作，必須在聚乙烯手套內再穿戴一較厚的隔熱手套，因而影響操作人員手感，不易掌握力度，時有破片現象發生。同時聚乙烯手套因熱度較高損壞較快，造成浪費和成本增大。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是提供一種晶圓烘干機，能夠使烘干出料后的硅片及花籃溫度降低，不會燙傷操作人員，方便操作人員取片，提高效率。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種晶圓烘干機，包括機架和設于機架上的烘干室，所述烘干室的上方設有熱風送風裝置，用于向烘干室內輸送熱風，所述機架上還設有動力傳送帶，所述動力傳送帶貫穿烘干室，用于傳送承載晶圓的花籃穿過烘干室，還包括冷風送風裝置，固定在所述烘干室的出口上部外側，其送風口沖向所述烘干室出口外側的動力傳送帶，所述冷風送風裝置的送風口外側設有導流罩，固定于所述冷風送風裝置上，所述導流罩上設有氣體導流孔。

所述導流罩包括弧形面板，所述氣體導流孔沿弧形面板的弧度自上而下成排布置在弧形面板上。

所述氣體導流孔為矩形。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：本實用新型冷風送風裝置通過導流罩導流對動力傳送帶上的晶圓及花籃噴吹冷氣降溫，能夠即時快速的降低晶圓和花籃的溫度，避免溫度較高燙傷操作人員，同時方便操作人員取片，能夠提高取片效率，不會導致傳送帶上物料積壓，使烘干機的工作能力提高。經實踐，應用本實用新型后操作人員用聚乙烯手套的損耗率大幅降低，節約成本。

附圖說明

圖1是本實用新型晶圓烘干機的主視圖；

圖2是圖1所示晶圓烘干機的右視圖。

其中，1、機架；2、烘干室；3、動力傳送帶；4、花籃；5、冷風送風裝置；6、熱風送風裝置；7、導流罩；8、氣體導流孔。

具體實施方式

為了解決晶圓烘干機出料溫度較高導致卸料取片不便的技術問題，本實用新型公開了一種晶圓烘干機，通過采用在出料口用冷風吹掃晶圓及花籃的技術手段，能夠即時使晶圓和花籃降溫，方便操作人員卸料，提高效率。

為了能夠更加清楚地描述本實用新型，下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

一種晶圓烘干機，包括機架1和設于機架1上的烘干室2，烘干室2的上方設有熱風送風裝置6，用于向烘干室2內輸送熱風，機架1上還設有動力傳送帶3，動力傳送帶3貫穿烘干室2，用于傳送承載晶圓的花籃4穿過烘干室2，還包括冷風送風裝置5，固定在烘干室2的出口上部外側，其送風口沖向烘干室2出口外側的動力傳送帶3，冷風送風裝置5的送風口外側設有導流罩7，固定于冷風送風裝置5上，導流罩7上設有氣體導流孔8。

冷風送風裝置5的送風口斜向布置，并由與之固定的導流罩7封閉，冷風經導流罩7上的氣體導流孔8吹出，吹向動力傳送帶3，承載晶圓的花籃4經烘干室2出料后，在動力傳送帶3上傳送同時被冷風吹掃，溫度降低。

導流罩7包括弧形面板，氣體導流孔8沿弧形面板的弧度自上而下成排布置在弧形面板上。弧形面板增大冷風氣流的吹掃面積，弧形面板上部的氣體導流孔8吹導流冷風氣流掃動力傳送帶3的遠端，弧形面板下部的氣體導流孔8導流冷風氣流吹掃動力傳送帶3的近端，使冷風氣流沿出料方向能夠覆蓋較長的動力傳送帶3，延長冷風對晶圓的冷卻時間，避免冷風短時、大流量的對晶圓吹掃，防止晶圓溫降過快，同時起到良好的降溫效果。

氣體導流孔8為矩形，沿導流罩7的弧度自上而下成排布置。矩形的長邊與花籃4內晶圓垂直，使得冷風氣流不會直接噴吹在晶圓面上，由晶圓側方吹過，避免晶圓因風力損傷。

以上對本實用新型進行了詳細介紹，本實用新型中應用具體個例對本實用新型的實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型，應當指出，對于本技術領域的技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可對本實用新型進行若干改進，這些改進也落入本實用新型權利要求的保護范圍內。