技術總結
本實用新型涉及晶圓清洗烘干技術領域，具體公開了一種晶圓烘干機，包括機架和設于機架上的烘干室，所述烘干室的上方設有熱風送風裝置，用于向烘干室內輸送熱風，所述機架上還設有動力傳送帶，所述動力傳送帶貫穿烘干室，用于傳送承載晶圓的花籃穿過烘干室，還包括冷風送風裝置，固定在所述烘干室的出口上部外側，其送風口沖向所述烘干室出口外側的動力傳送帶，所述冷風送風裝置的送風口外側設有導流罩，固定于所述冷風送風裝置上，所述導流罩上設有氣體導流孔。本實用新型能夠使烘干出料后的硅片及花籃溫度降低，不會燙傷操作人員，方便操作人員取片，提高效率。

技術研發人員：王會敏;何京輝;李立偉;張立濤;張穩;尚玉曉
受保護的技術使用者：邢臺晶龍電子材料有限公司
文檔號碼：201620771547
技術研發日：2016.07.21
技術公布日：2016.12.28