1.一種工藝氬氣回收系統中的低溫精餾裝置，它主要包括低溫換熱器（102），低溫精餾塔（106），精餾塔底部蒸發器（104），精餾塔頂部冷凝器（109）；其特征在于所述的低溫換熱器（102）中設置有氬氣（101）輸入流道、產品氬氣（113）輸出流道以及精餾廢氣（114）輸出流道，其中氬氣（101）輸入流道通過管路連接至精餾塔底部蒸發器（104），并在該精餾塔底部蒸發器（104）接出管路，該接出管路連接至低溫精餾塔（106）的上部，產品氬氣（113）輸出流道通過連接管路連接至低溫精餾塔（106）塔頂，而精餾廢氣（114）輸出流道通過管道連接至精餾塔頂部冷凝器（109），另在低溫精餾塔（106）的上部設置有輸入補充液氬（112）的外接管路。
2.根據權利要求1所述的工藝氬氣回收系統中的低溫精餾裝置，其特征在于所述的低溫精餾塔（106）為單塔結構，所述蒸發器（104）和所述冷凝器（109）中冷、熱源皆為氬氣本身，不引入空氣、液氮介質。
3.一種利用權利要求1或2所述工藝氬氣回收系統中的低溫精餾裝置的低溫精餾方法，其特征在于所述的方法是：
所述壓縮氬氣（101）進入低溫換熱器（102）被冷卻，冷卻后的低溫氬氣（103）進入蒸發器（104），提供熱源并自身冷凝，冷凝后的液態氬氣（105）進入低溫精餾塔頂部，與冷凝器（109）回流的液氬混合后，作為精餾塔頂部的下降液，與蒸發器（104）產生的上升氣在精餾塔內進行精餾，精餾塔底部得到純液氬（107），經節流閥（108）節流后進入低溫精餾塔（106）頂部的冷凝器（109），與補充液氬（112）混合后，提供冷源并自身蒸發得到純氬氣（110），純氬氣（110）進入低溫換熱器（102），回收冷量后作為產品氣（113）進入用戶管道。
4.根據權利要求3所述的工藝氬氣回收系統中的低溫精餾方法，其特征在于所述的精餾塔頂部氣體進入冷凝器（109）后，大部分作為冷凝器（109）的熱源，提供熱量并自身冷凝后全回流到精餾塔頂部與液態氬氣（105）混合；少部分作為精餾廢氣（111）排出低溫精餾塔進入低溫換熱器回收冷量，復溫后的精餾廢氣（114）排出低溫精餾裝置；
所述氬氣（101）在進入工藝前為壓縮氬氣，所含雜質為相對氬氣為輕組分的雜質。