技術總結
本發明公開一種MEMS紅外光源及其制作方法，MEMS紅外光源包括襯底、支撐層、第一熱敏電阻層、介質層、第二熱敏電阻層、隔離保護層、加熱電阻層和輻射層，本發明中利用第一熱敏電阻層和第二熱敏電阻層中的一層熱敏電阻層作為溫度傳感器，直接在外界通過熱敏電阻層的阻值變化測量MEMS紅外光源的輻射區溫度變化；利用另一層作為溫度補償性能，在一定溫度范圍內于外圍的補償回路中抵消溫漂產生的誤差，即本發明提供的MEMS紅外光源能夠在實時監測溫度漂移的同時進行實時溫度補償，從而提高MEMS紅外光源的測量線性度，避免器受外界環境影響。所述制作方法，便于與紅外光源內部芯片工藝兼容，減小了工藝難度。

技術研發人員：明安杰;劉衛兵;孫西龍;王瑋冰;陳大鵬
受保護的技術使用者：中國科學院微電子研究所
文檔號碼：201611265720
技術研發日：2016.12.30
技術公布日：2017.05.10