本實用新型屬于真空技術領域，具體涉及一種高壓比復合分子泵。

背景技術：

復合分子泵屬于高速旋轉的真空獲得設備，由動葉輪、靜葉片、高速電機、滾動軸承等組成。復合分子泵包括渦輪段和牽引段，渦輪段由多組動葉輪和靜葉片組成，實現大抽速；牽引段由牽引鼓筒和牽引槽筒組成，實現高壓比。如果壓比不夠高，在前級加氣負載時，真空腔內部的壓力會升高，影響測量結果，甚至會損壞高精度的測量儀器。

目前，亟需一種高壓比復合分子泵。

技術實現要素：

本實用新型要解決的技術問題是提供一種高壓比復合分子泵。

本實用新型的高壓比復合分子泵，其特點是，包括內磁環、泵殼、球軸承組件、底座組件、外槽筒、牽引槽盤、靜葉片、定位環、動葉輪、永磁軸承外磁環、牽引盤、芯軸、牽引鼓筒、永磁電機轉子；其連接關系是，所述的泵殼與底座組件沿底座組件的圓周固定，球軸承組件放置在泵殼中心的空腔中，與底座組件圓周固定，泵殼中心安裝有芯軸；所述的外槽筒、牽引槽盤、靜葉片、定位環從下至上依次與芯軸同軸安裝在泵殼中心的空腔中，在泵殼的內腔壁上定位固定；所述的動葉輪、永磁軸承外磁環、牽引盤、牽引鼓筒依次過盈裝配在芯軸上，永磁電機轉子粘接在芯軸上；所述的芯軸的下端支承固定于球軸承組件，芯軸的上端由泵殼頂端的內磁環、外磁環構成的永磁軸承支承，內磁環安裝在泵殼的上端，外磁環安裝在動葉輪的內孔腔。所述的牽引槽盤的上表面刻有上牽引槽，下表面刻有下牽引槽，上牽引槽的外徑小于下牽引槽的外徑。

所述的牽引槽盤采用雙面牽引槽結構，牽引槽輪廓為圓弧或直線。

所述的牽引槽盤采用兩瓣結構，使用止口定位。

所述的牽引槽盤的材料為鋁合金。

所述的牽引盤采用平面盤形結構。

所述的牽引盤的材料為鋁合金，鋁合金的抗拉強度高于400MPa。

本實用新型的高壓比復合分子泵的壓比量級為10¹⁰~10¹¹，該高壓比復合分子泵在動葉輪上裝配有牽引盤、在外槽筒上安裝雙面有槽的牽引槽盤，增加了兩級盤式牽引功能，提高了分子泵的壓比，降低了真空腔內部的真空壓力，提高復合分子泵的抽氣性能，滿足儀器對超低真空的要求。

附圖說明

圖1為本實用新型的高壓比復合分子泵結構示意圖；

圖2為本實用新型的高壓比復合分子泵的上牽引槽示意圖；

圖3為本實用新型的高壓比復合分子泵的下牽引槽示意圖；

圖中：1.內磁環 2.泵殼 3.球軸承組件 4.底座組件 5.外槽筒 6.牽引槽盤 7.靜葉片 8.定位環 9.動葉輪 10.外磁環 11.牽引盤 12.芯軸 13.牽引鼓筒 14.永磁電機轉子 601.上牽引槽 602.下牽引槽。

具體實施方式

下面結合附圖詳細說明本實用新型。

如圖1~圖3所示，高壓比復合分子泵，包括內磁環1、泵殼2、球軸承組件3、底座組件4、外槽筒5、牽引槽盤6、靜葉片7、定位環8、動葉輪9、永磁軸承外磁環10、牽引盤11、芯軸12、牽引鼓筒13、永磁電機轉子14；其連接關系是，所述的泵殼2與底座組件4沿底座組件4的圓周固定，球軸承組件3放置在泵殼2中心的空腔中，與底座組件4圓周固定，泵殼2中心安裝有芯軸12；所述的外槽筒5、牽引槽盤6、靜葉片7、定位環8從下至上依次與芯軸12同軸安裝在泵殼2中心的空腔中，在泵殼2的內腔壁上定位固定；所述的動葉輪9、永磁軸承外磁環10、牽引盤11、牽引鼓筒13依次過盈裝配在芯軸12上，永磁電機轉子14粘接在芯軸12上；所述的芯軸12的下端支承固定于球軸承組件3，芯軸12的上端由泵殼2頂端的內磁環1、外磁環10構成的永磁軸承支承，內磁環1安裝在泵殼2的上端，外磁環10安裝在動葉輪9的內孔腔；所述的牽引槽盤6的上表面刻有上牽引槽601，下表面刻有下牽引槽602，上牽引槽601的外徑小于下牽引槽602的外徑。

所述的牽引槽盤6采用雙面牽引槽結構，牽引槽輪廓為圓弧或直線。

所述的牽引槽盤6采用兩瓣結構，使用止口定位。

所述的牽引槽盤6的材料為鋁合金。

所述的牽引盤11采用平面盤形結構。

所述的牽引盤11的材料為鋁合金，鋁合金的抗拉強度高于400MPa。

本實用新型的高壓比復合分子泵工作過程如下：

底座組件4中的電機驅動動芯軸12高速旋轉，氣體分子被動葉輪9和靜葉片7向下驅趕，再由牽引盤11和牽引槽盤6、牽引鼓筒13和外槽筒5驅趕至前級泵，最后排入大氣。所增加的牽引盤11和牽引槽盤6的結構，能進一步提高壓比，滿足高壓比的要求。

本實用新型不局限于上述具體實施方式，所屬技術領域的技術人員從上述構思出發，不經過創造性的勞動，所作出的種種變換，均落在本實用新型的保護范圍之內。