技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供了一種高壓比復(fù)合分子泵，所述復(fù)合分子泵的壓比量級為1010~1011，包括渦輪段和牽引段，渦輪段由動葉輪和靜葉片組成，實現(xiàn)大抽速，牽引段由牽引鼓筒和牽引槽筒組成，實現(xiàn)高壓比，本實用新型的高壓比復(fù)合分子泵還在渦輪段和牽引段之間增加了盤式牽引功能，即在動葉輪組件上裝配了牽引盤，在外槽筒上安裝了雙面加工有圓弧或直線槽的牽引槽盤，增加的兩級牽引功能，可以有效提高分子泵的壓比，降低真空腔內(nèi)部的真空壓力，提高復(fù)合分子泵的抽氣性能，滿足儀器對超低真空的要求。

技術(shù)研發(fā)人員：陶繼忠;王文升;何朝暉;蔡飛飛;劉廣民;馬紹興;劉有海;雷艷華;張明君;吳定柱
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所
文檔號碼：201620721864
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.11
技術(shù)公布日：2016.12.07