專利名稱:半導體器件測試分選機的旋轉工作臺的制作方法
技術領域:
本發明涉及一種半導體器件測試分選的裝置,特別涉及半導體器件測試 分選機的旋轉工作臺。
技術背景現有技術中,有一種半導體器件測試分選機,其上有一個旋轉工作臺, 該旋轉工作臺包括水平設置的轉臺,轉臺上表面水平,轉臺下側中心設有轉 軸,轉軸與一電機的軸端傳動連接,轉軸上套裝有一進氣座,進氣座下側設 有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座,進氣座側面設有至少一個吸嘴,轉臺 四周分布有若干可容納半導體器件的大孔,大孔下側同軸設有上下貫穿轉臺 的小孔,進氣座上設有若干接通吸嘴并與小孔一一對應的氣道, 一側大孔的 正上方設有激光頭,另一側大孔的正上方設有圖像攝像頭。該裝置工作時, 通過吸嘴吸氣,可以將半導體器件吸附在大孔內,電機轉動時,可使得半導 體器件一一依次經過激光頭和圖像攝像頭的正下方,以便對半導體器件進行 檢測;其不足之處在于由于激光頭和圖像攝像頭尺寸較大,需要占據一定 的空間,為避免兩者之間相互干涉,轉臺的尺寸必須做得足夠大,使得轉臺 的體積大,相應電機的功率也大,造成了成本上升。發明內容本發明的目的是提供一種半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,使得轉 臺尺寸小,電機功率小,制造成本大幅降低。本發明的目的是這樣實現的半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,包 括水平設置的轉臺,轉臺下側中心設有轉軸,轉軸與一電機的軸端傳動連接,轉軸上套裝有一進氣座,進氣座下側設有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座,進氣座側面設有至少一個吸嘴,轉臺四周分布有若干可容納半導體器件
的大孔,大孔下側設有上下貫穿轉臺的小?L,進氣座上設有若干接通吸嘴并
與小孔一一對應的氣道;所述轉臺上側周向呈上小下大的錐面,大孔軸線與所述錐面的軸線相交,同時,大孔軸線垂直于與其所相交的錐面的母線。為便于小孔的加工,所述小孔軸線與轉臺的轉軸平行設置。本發明使用時,將激光頭和圖像攝像頭設置在大孔的軸線方向上,由于大孔設置在錐面上,使得激光頭和圖像攝像頭布置在轉臺側上方,可讓出轉臺正上方的空間,激光頭和圖像攝像頭的布置不會發生干涉問題,這樣,轉臺的尺寸就可以做得足夠小,相應地,電機的功率、尺寸也比較小,可大幅節約生產成本。該裝置可用于半導體器件的檢測和分選。
圖1為本發明結構示意圖。
其中,1電機,2轉軸,3機身,4彈簧,5吸嘴,6氣道,7小孔,8大孔,9轉臺,IO錐面,11進氣座。
具體實施例方式
如圖,半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,包括水平設置的轉臺9,轉臺9下側中心設有轉軸2,轉軸2與一電機1的軸端傳動連接,轉軸2上套裝有一進氣座11,電機1安裝在機身3上,在機身3和進氣座11之間設置彈簧4,即可實現彈性連接;進氣座11側面設有至少一個吸嘴5,轉臺9四周分布有若干可容納半導體器件的大孔8,大孔8下側設有上下貫穿轉臺9的小孔7,進氣座11上設有若干接通吸嘴5并與小孔7 —一對應的氣道6;轉臺9上側周向呈上小下大的錐面10,大孔8的軸線與所述錐面10的軸線相交,同時,大孔8的軸線垂直于與其所相交的錐面的母線,小孔7的軸線與轉臺9的轉軸2平行設置。本發明使用時,將激光頭和圖像攝像頭設置在大孔8的軸線方向上,由于大孔8設置在錐面10上,使得激光頭和圖像攝像頭布置在轉臺9側上方,可讓出轉臺9正上方的空間,激光頭和圖像攝像頭的布置不會發生干涉問題,這樣,轉臺9的尺寸就可以做得足夠小,相應地,電機1的功率、尺寸也比較小,可大幅節約生產成本。
權利要求
1、半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,包括水平設置的轉臺,轉臺下側中心設有轉軸,轉軸與一電機的軸端傳動連接,轉軸上套裝有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座,進氣座側面設有至少一個吸嘴,轉臺四周分布有若干可容納半導體器件的大孔,大孔下側設有上下貫穿轉臺的小孔,進氣座上設有若干接通吸嘴并與小孔一一對應的氣道;其特征在于所述轉臺上側周向呈上小下大的錐面,大孔軸線與所述錐面的軸線相交,同時,大孔軸線垂直于與其所相交的錐面的母線。
2、 根據權利要求1所述的半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,其特 征在于所述小孔軸線與轉臺的轉軸平行設置。
全文摘要
本發明公開了半導體器件檢測技術領域內的半導體器件測試分選機的旋轉工作臺,包括水平設置的轉臺,轉臺下側中心設有轉軸,轉軸與一電機的軸端傳動連接,轉軸上套裝有彈性抵觸在轉臺下端面上的進氣座,進氣座側面設有至少一個吸嘴,轉臺四周分布有若干可容納半導體器件的大孔,大孔下側設有上下貫穿轉臺的小孔,進氣座上設有若干接通吸嘴并與小孔一一對應的氣道;轉臺上側周向呈上小下大的錐面,大孔軸線穿過所述錐面的軸線并垂直于錐面的母線設置。使用時,將激光頭和圖像攝像頭設置在大孔的軸線方向上,激光頭和圖像攝像頭不會相互干涉,轉臺和電機的尺寸小,可節約成本。該裝置可用于半導體器件的檢測和分選。
文檔編號G01D11/00GK101504295SQ20091002571
公開日2009年8月12日 申請日期2009年3月6日 優先權日2009年3月6日
發明者梁天貴, 貢瑞龍, 軍 陸 申請人:江都市東元機電設備有限公司