專利名稱：基于微機械mems 二維掃描鏡的激光主動探測裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種激光成像，特別是一種基于MEMS 二維掃描鏡的激光主動探測裝置。
背景技術：
激光探測技術已有40多年的發展歷史。高速激光掃描技術一直是制約激光探測技術發展的一項瓶頸技術。傳統的激光掃描方法主要包括機械掃描和聲(電)光掃描，但這兩種掃描方法被用于激光主動成像制導時均存在一定的局限性。機械掃描是較成熟的一種掃描技術，它利用反射鏡或透射鏡等光學元件的轉動或振動來改變光束的傳播方向從而實現光束的掃描。而聲(電)光掃描則是利用聲(電)光效應來改變光束在空間的傳播方向，即聲(電)光晶體在聲波(電場)的作用下沿某些方向對光的折射率發生變化，當激光束沿特定方向入射時，在聲(電)場的作用下就會發生偏轉從而達到掃描的目的。光束偏轉角的大小與晶體折射率的線性變化率成正比。表-1三種掃描方法的比較
權利要求
1.基于微機械MEMS二維掃描鏡的激光主動探測裝置，其特征在于，CPU(I)生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀( 發射脈沖激光，激光光束經靜電驅動MEMS 二維掃描鏡(3) 掃描后，照射到被探測的目標(4)上，激光光束被反射回激光測距儀，CPU(I)與激光測距儀 (2)連接，經過信息處理后實現對目標的探測。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于所述二維掃描鏡為MEMS二維激光掃描
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于所述激光測距儀( 為脈沖激光測距儀。
全文摘要
本發明公開了一種基于微機械MEMS二維掃描鏡的激光主動探測裝置，CPU生成激光脈沖控制信號控制激光測距儀發射脈沖激光，激光光束經靜電驅動M EMS二維掃描鏡掃描后，照射到被探測的目標上，激光光束被反射回激光測距儀，CPU與激光測距儀連接，經過信息處理后實現對目標的探測。本發明具有體積小、質量輕、功耗小、響應速度快、價格便宜，耐撞擊等特點。
文檔編號G01S7/48GK102426362SQ20111036783
公開日2012年4月25日 申請日期2011年11月18日 優先權日2011年11月18日
發明者孫劍, 尤政, 張弛 申請人:西安交通大學