用于經受高工作壓力的壓力變送器的過程流體壓力傳感組件的制作方法
【專利摘要】發本明公開了一種壓力測量組件。所述組件包括壓力傳感器安裝件，所述壓力傳感器安裝件具有穿過該壓力傳感器安裝件的孔。壓力傳感器穿過所述孔并被安裝到所述孔處。壓力傳感器具有隨外加壓力變化的電特性。隔離塞被構造成暴露給過程流體。隔離塞具有被設置成與過程流體接觸的隔離膜片。通路以流體連通的方式連接到隔離膜片以通過不可壓縮流體將過程流體壓力從隔離膜片傳送到壓力傳感器。壓力傳感器安裝件被連接到隔離塞，并且當沿著孔的軸線觀察所述壓力傳感器安裝件時該壓力傳感器安裝件具有非圓形形狀。
【專利說明】用于經受高工作壓力的壓力變送器的過程流體壓力傳感組 件

【背景技術】
[0001] 工業過程控制系統用于監測和控制用于生產或輸送流體等的工業過程。在該系統 中，通常重要的是測量諸如溫度、壓力、流量、液位等的"過程變量"。過程控制變送器測量該 過程變量并將與測量的過程變量有關的信息發送回到諸如中央控制室的中央位置。
[0002] -種類型的過程變量變送器是測量過程流體壓力并提供與測量的壓力有關的輸 出的壓力變送器。這種輸出可以是過程流體的壓力、流量、液位、或可以由測量的壓力得出 的其它過程變量。壓力變送器被構造成將與測量壓力有關的信息發送回到中央控制室。通 常通過二線式過程控制回路提供所述發送，然而，有時也使用其它通信技術。
[0003] 用于壓力測量的一種尤其有挑戰的環境是具有非常高的工作壓力的應用。一種這 樣的應用是海底環境。在這種應用中，過程設備被暴露給的靜壓力可能非常高。此外，過程 流體可能會腐蝕許多公知的金屬。例如，當前正在考慮需要20000psi (磅/平方英寸）的 最大工作壓力（MWP)的一些海底應用。
[0004] 該考慮通常需要專門的高性能、高成本特殊材料以提供耐用的結構。這種高性能、 高成本、耐腐蝕合金的例子包括從印第安納州Kokomo的海恩斯國際股份有限公司獲得的 Hastelloy?合金C-276或從紐約州New Hartford的特殊金屬公司獲得的Inconel?合金 625。盡管選擇這種特殊合金能夠允許過程變量變送器在這樣不利的環境中工作，所述特殊 合金確實通常增加整個結構的成本。


【發明內容】

[0005] 本發明公開了一種壓力測量組件。所述組件包括壓力傳感器安裝件，所述壓力傳 感器安裝件具有穿過該壓力傳感器安裝件的孔。壓力傳感器穿過所述孔并被安裝到所述孔 處。壓力傳感器具有隨外加壓力變化的電特性。隔離塞被構造成暴露給過程流體。隔離塞 具有被設置與過程流體接觸的隔離膜片。通路以流體連通的方式連接到隔離膜片以通過不 可壓縮流體將過程流體壓力從隔離膜片傳送到壓力傳感器。壓力傳感器安裝件被連接到隔 離塞，并且當沿著孔的軸線觀察所述壓力傳感器安裝件時該壓力傳感器安裝件具有非圓形 形狀。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1是本發明的實施例可以被實踐的海底PT(壓力/溫度）變送器的圖解立體圖。
[0007] 圖2是一般用于圖1中示出的探頭內的壓力傳感器模塊的圖解正視圖。
[0008] 圖3是用于根據先前技術安裝單晶材料壓力傳感器的傳感器安裝件的俯視圖。
[0009] 圖4提供圖3所示的傳感器安裝件的截面正視圖。
[0010] 圖5是根據本發明的實施例的非圓形傳感器安裝件的俯視圖。
[0011] 圖6是圖5所示的傳感器安裝件的圖解剖視圖。
[0012] 圖7是根據本發明的實施例的具有非圓形傳感器安裝件的隔離塞的俯視圖。
[0013] 圖8是根據本發明的實施例的壓力探頭的壓力傳感組件部分的圖解截面圖。
[0014] 圖9是圖8中示出的組件的圖解立體圖。
[0015]圖10是根據本發明的另一個實施例的具有非圓形傳感器安裝件的壓力傳感組件 的俯視圖。
[0016] 圖11是圖10中沿A-A線獲得的圖解截面圖。
[0017] 圖12是圖10所示的壓力傳感組件的俯視圖，但是旋轉了90度。
[0018] 圖13是圖12中沿C-C線獲得的圖12中所示的壓力傳感組件的截面圖。
[0019] 圖14是圖11和圖13中示出的壓力傳感組件的圖解立體圖，其中濾網被移除。
[0020] 圖15是圖11和圖13中示出的壓力傳感組件的圖解立體圖，其中濾網被焊接到壓 力傳感組件上。

【具體實施方式】
[0021] 圖1是典型的海底PT (壓力/溫度）變送器的圖解立體圖。變送器10包含電子裝 置殼體12, API (美國石油研究所）管道法蘭14,及壓力/溫度探頭16。探頭16插入穿過管 壁的開口并在管中定位一個或兩個壓力/溫度隔離膜片。一般地，這些膜片被定位在管的 內徑處，在所述內徑處測量過程壓力。基于可獲得的已知的海底變送器，一般的探頭直徑變 動范圍為36. 5mm到46. 5mm并且所述探頭一般由高性能、高成本、耐腐蝕的諸如Hastelloy? 合金c-276或ineonel?合金625之類的合金構建成。這些合金適合海底環境，但是所述合 金一般地增加全部組件的成本。考慮到許多應用中涉及到高壓，管道法蘭14和電子裝置殼 體12的大小一般由探頭16的外徑決定。探頭組件16的關鍵元件是探頭16中的壓力密封 艙。壓力密封艙一般包含壓力傳感器和過程流體隔離膜片，所述過程流體隔離膜片接觸過 程流體并且將過程流體壓力傳送到壓力傳感器而不允許過程流體接觸壓力傳感器。除了壓 力傳感器，密封艙可以包括溫度傳感器。密封艙一般地也包括諸如濾網的過程接口，和將過 程壓力傳送到壓力傳感器的液壓系統（諸如填充流體）。如圖1所示，API法蘭安裝件14 包括8個尺寸能夠通過螺栓的螺栓孔，所述螺栓接合管道法蘭以將變送器10安裝到管道。 考慮到所涉及的壓力，法蘭14的尺寸和厚度不是薄弱的。
[0022] 圖2是一般用于探頭16(如圖1所示）內的壓力傳感器模塊的圖解正視圖。傳感 器模塊20包括濾網22,所述濾網適合暴露給過程流體，并且保護傳感器模塊20的諸如圖8 中所示的隔離膜片64之類的內部元件免受過程流體中微粒和其他固體材料的損害。隔離 塞24被構造成直接暴露給過程流體并物理地將壓力傳感器26與過程流體隔離，然而依然 能夠將過程流體壓力輸送給壓力傳感器26。隔離塞24 -般被焊接到傳感器主體28的焊接 點30處。隔離塞將過程流體壓力輸送給壓力傳感器26而不允許過程流體和壓力傳感器之 間物理接觸的方法是通過使用諸如硅油之類的液壓填充流體（也就是不可壓縮流體）。液 壓填充流體通過填充管32被引入封閉系統，然后所述填充管32被密封。過程流體然后對 隔離膜片的一側施壓，而隔離膜片的另一側填充著液壓填充流體。填充流體然后將壓力輸 送給壓力傳感器26。用這種方法，壓力傳感器26只接觸液壓填充流體而不會接觸潛在地腐 蝕的、熱的或在其他方面有挑戰性的過程流體。在某些情況下，壓力傳感器26是能夠耐高 壓和高溫的、小型單晶壓力傳感器。在某些情況下，這種單晶壓力傳感器由藍寶石形成。這 些單晶壓力傳感器是已知的。例如，美國專利No. 6520020公開了這樣一種傳感器。對單晶 襯底的壓縮導致壓力傳感器的單晶材料的兩層或更多層之間距離的改變。設置在壓力傳感 器內表面的導體因此可以彼此接近或遠離移動從而改變這種導體之間的電容。電容的這種 改變被電子裝置殼體12中的合適電路檢測到并與壓力有關。在許多情況下，單晶壓力傳感 器也會包含一種溫度敏感結構，諸如電阻溫度器件。因此，這種小型壓力敏感/溫度敏感元 件可以形成一種適合相對不利環境的小型的、高度耐用的傳感系統。
[0023] 圖3是根據先前技術安裝單晶材料壓力傳感器的傳感器安裝件的俯視圖。傳感器 安裝件34是圓形的并且直徑一般為0. 279" (7. 09毫米）。位于傳感器安裝件34的中心， 狹槽36的大小設置成能夠接收具有矩形橫截面的單晶壓力傳感器。當壓力傳感器如此安 裝進狹槽36時，進行銅焊或焊接操作將壓力傳感器26物理地附接到或以其他方式安裝到 傳感器安裝件34上。
[0024] 圖4提供傳感器安裝件34的截面正視圖。圖4中，傳感器安裝件34的高度被標 記為大約〇. 170" (4. 32毫米）。進一步地，所示狹槽36完全延伸通過傳感器安裝件34。
[0025] 根據本發明的實施例，傳感器安裝件的形狀被修改成非圓形結構，所述非圓形結 構允許更緊湊的傳感器安裝布置，同時仍然提供異常耐用的傳感器安裝件。
[0026] 圖5是根據本發明的實施例的根據非圓形傳感器安裝件的傳感器安裝件的圖解 俯視圖。傳感器安裝件40依然包括狹槽或孔36,所述狹槽或孔36的大小和形狀被設置成 接收和安裝諸如那些當前使用的或以后可以被研發出的單晶壓力傳感器。然而，當沿著孔 36的軸線觀察（也就是圖5中所示的向下看穿過孔36)時，傳感器安裝件40具有非圓形 形狀。在一個實施例中，傳感器安裝件40包括被細長的部分46彼此分開的一對彎曲末端 42、44。用這種方法，傳感器安裝件40的俯視圖類似于橢圓形或競賽的跑道。在一個實施 例中，橢圓形的寬度大概是0.170" (4.32毫米）并且橢圓形的長度大概是0.279" (7.09 毫米）。盡管與圖5相關的所闡述的實施例表明，細長的部分46在彎曲端42,44之間具有 直線，但是只要總體形狀是非圓形，細長部分46中的一些輕微的彎曲是允許的。通過背離 圓形，額外的空間被提供給諸如填充管之類的其他元件，所述元件將會在與圖7和8相關的 更多細節中得到解釋。
[0027] 圖6表明如傳感器安裝件34 -樣，傳感器安裝件40具有完全延伸穿過所述安裝 件40的狹槽36并且優選地在一個實施例中具有與傳感器安裝件34相同的高度0. 170英 寸。
[0028] 圖7是根據本發明的實施例的隔離塞的俯視圖，隔離塞具有以銅焊或其它方式附 接到其上的非圓形傳感器安裝件40。傳感器安裝件40具有安裝在其中的壓力傳感器52。 壓力傳感器52優選地由諸如藍寶石之類的單晶材料構建成。壓力傳感器52通過銅焊接頭 或軟釬焊接頭被安裝到傳感器安裝件40。當這樣安裝時，傳感器安裝件40將壓力傳感器 52配置進壓力傳感室54內（如圖8所示）。過程流體壓力通過隔離流體從隔離膜片64被 傳送到壓力傳感器52使得壓力傳感器52可以檢測過程流體壓力。優選地，壓力傳感器52 也包括至少一種溫度敏感元件從而所述溫度敏感元件也會提供對過程流體溫度的指示。填 充流體通過油填充管56被引導進入隔離膜片和壓力傳感室54之間的空間里。在一種實施 例中，油填充管56沿基本上與安裝壓力傳感器52的孔的軸線平行的方向（也就是堅直地） 從隔離塞50延伸。這為壓力傳感組件提供十分緊湊的布置。一旦系統被填滿油，油填充管 56就被密封使得保持封閉的容積。
[0029] 圖8是根據本發明的實施例的壓力探頭的壓力傳感組件部分的圖解截面圖。組件 60包括濾網62或其他合適的結構，濾網62或其他合適的結構設置成靠近隔離膜片64使 得在過程流體中移動的微粒或固體不會物理地接觸隔離膜片。然而，濾網62的確包含允許 過程流體通達隔離膜片64的多個孔。當過程流體對隔離膜片64施加壓力時，封閉系統中 的填充流體將過程流體壓力通過油道66輸送給壓力傳感室54。在一些實施例中，壓力傳 感室54包括一個或多個油容積插入件68,所述插入件68實質上是不可壓縮的并且減少壓 力傳感室54中所需要的油容積的數量。當填充流體被過程流體加壓時，壓力傳感器52的 相對層基于壓力被朝向另一方推動。壓力傳感器52的相對層的位移造成了層間距離的改 變。設置在該層的內表面的敷金屬或導電層形成電容板使得提供具有隨外加壓力變化的電 容的電容器。
[0030] 如圖8所示，壓力傳感器52被安裝到優選地被銅焊到隔離塞50的傳感器安裝件 40。因此，傳感器安裝件和隔離塞的特征被結合成單件隔離塞。通過結合特征，傳感器主體 28和隔離塞24之間的必備的深熔透焊縫被消除并且組件60的總高度和直徑被減小。目前 的過程和材料可以用來將傳感器安裝件40、壓力傳感器52和油填充管56銅焊或軟釬焊入 隔離塞50。
[0031] 返回參考圖7,通過利用非圓形傳感器安裝件50,結合堅直的油填充管56,兩種結 構都可以存在于環形70的周邊之內。這允許將組件的外直徑減小因此將整個結構最小化， 這也減少了需要用來制造探頭的高性能、高成本合金的數量。
[0032] 圖9是顯示被設置在環形70的周邊內的壓力傳感器52和油管56的壓力傳感系 統60的圖解立體圖。此外，濾網62被展示為焊接到隔離塞50的焊接點72處。
[0033] 圖10是根據本發明的另一個實施例的壓力傳感組件80的俯視圖。壓力傳感組件 80與壓力傳感組件50(如圖7所示）有些相似并且相似的元件進行了類似的編號。如圖 10所示，組件80包含一對非圓形的壓力傳感器安裝件40,每個所述壓力傳感器安裝件40 具有孔，相應的壓力傳感器52安裝在孔中（當沿著傳感器安裝件的孔的軸線觀察時，例如 如圖圖10所示，安裝件40具有非圓形形狀）。另外，壓力傳感器52大致彼此隔開且另外 布置成相對彼此平行。進一步地，壓力傳感組件80包括一對油填充管56,所述油填充管56 可以將不可壓縮填充流體引入進壓力傳感組件80中多個不同的封閉流體容積中。
[0034] 圖11是沿圖10中A-A線得到的壓力傳感組件80的圖解截面圖。如所示，壓力傳 感組件80包含焊接到濾網84的焊接點86處的隔離塞82。隔離塞82的遠端88具有一對 隔離膜片90、92,所述隔離膜片90、92大致彼此對齊但在橫向于該隔離膜片的各自平面的 方向上彼此分隔開。每個隔離膜片90、92被連接到將過程流體壓力傳送到壓力傳感器52 的各自的油道94、96。在一些實施例中，每個壓力傳感器52也包括溫度敏感元件。另外，在 圖11所示的實施例中，每個膜片90、92和濾網84之間存在顯著的間隙以最小化或減小水 合物（固體）堆積和影響隔離膜片90、92的運動的可能性。
[0035] 每個壓力傳感器安裝件40優選地銅焊到隔離塞82。進一步地，每個壓力傳感器 52優選地軟釬焊到或以其他方式附接到所述壓力傳感器的各自的傳感器安裝件。當整個壓 力傳感組件80完成時，所述壓力傳感組件80可以優選地通過在界面處或表面98處焊接連 接到或以其他方式附接到探頭。
[0036] 圖12是圖10所示的壓力傳感組件80的俯視圖，但是旋轉了 90度。
[0037] 圖13是沿圖12中C-C線得到的如圖12所示的壓力傳感組件的截面圖。特別地， 圖13中所示的截面圖是沿圖12中的C-C線得到的，所述C-C線自圖10中A-A線旋轉90°。 圖13顯示每個填充管56,所述填充管56連接到隔離塞82并且通過油道100輸送油以填充 每個不同的油填充系統。一旦這種系統被填滿，每個油管56被關閉或以其他方式密封使得 施加在相應的隔離膜片上的過程流體壓力被傳送到各自的壓力傳感器。圖10-13所示的多 壓力/溫度測量實施例允許提供冗余壓力測量。然而，在一些實施例中，可以基于由多壓力 /溫度傳感器測量的壓力間的不同來測量差壓。
[0038] 圖14是示出的壓力傳感組件80的圖解立體圖，其中濾網84被移除。從圖14可 以看出，隔離膜片92是圓形的并且包括許多環形波紋。另一個隔離膜片優選地實質上與隔 離膜片92相同。圖14也示出安裝在所述壓力傳感組件80的各自的傳感器安裝件40內的 一對壓力傳感器52。仍然進一步地，設置了一對油填充管56,并且所有這些元件可以設置 到環形70的周邊內。
[0039] 圖15是示出的壓力傳感組件80的圖解立體圖，其中濾網84在焊接點86被焊接 到壓力傳感組件上。根據本發明的實施例的壓力傳感組件80的外直徑，基于最大工作壓力 (MWP) 20000psi(磅/平方英寸）和合適的隔離塞材料，可以小至0.98" (24. 9毫米）。圖 15也示出了在焊點86附近鉆過或以其他方式通過濾網84的多個孔88。孔88允許氣體逃 逸并消除可以影響壓力測量的任何"死端"。
[0040] 如前所述，本發明的實施例總體上提供了小直徑壓力密封艙，通過獨特的傳感器 安裝件和隔離塞幾何結構所述小直徑壓力密封艙適合于海底變送器使用。探頭的長度可以 通過應用改變并且一般地由高性能、高成本的材料構建成。壓力密封艙是探頭組件的關鍵 元件并且因此決定外直徑。減小壓力密封艙和探頭的大小及直徑有利于減小海底壓力變送 器的整體大小和成本。減小探頭直徑的機會將通過減小需要用來制作器件的高成本耐腐蝕 合金（CRA)材料的數量以減小壓力變送器的成本。進一步地，器件的總重量也將減小。最 終地，本發明的實施例將使超過標準的2 1/16"直徑API管道法蘭的其他過程連接件能夠 用于一些產品和/或應用。
[0041] 盡管已經參照優選的實施例對本發明進行了描述，但是本領域的技術人員將認識 至IJ，在不背離本發明的精神和保護范圍的情況下可以在形式和細節上進行改變。例如，具有 對隔離塞相對小的修改，濾網可以替換為標準過程連接器并且用于附加的應用或環境。另 夕卜，通過本發明的實施例使具有相對小的直徑的探頭成為可能，探頭可以用于能沉入水中 的用于地下水或廢水應用的壓力變送器。進一步地，當本發明的實施例提供一對雙平面的 隔離膜片（如圖11所示）時，本發明的實施例可以在隔離膜片是共面的情況下實踐。
【權利要求】
1?一種壓力測量組件，包括： 壓力傳感器安裝件，所述壓力傳感器安裝件具有穿過該壓力傳感安裝件的孔； 壓力傳感器，所述壓力傳感器穿過所述孔并被安裝到該孔處，所述壓力傳感器具有隨 外加壓力變化的電特性；和 隔離塞，所述隔離塞被構造成暴露給過程流體，所述隔離塞具有被設置成接觸過程流 體的隔離膜片、和通路，所述通路以流體連通的方式連接到隔離膜片以通過不可壓縮流體 將過程流體壓力從隔離膜片傳送到壓力傳感器； 其中所述壓力傳感器安裝件連接到隔離塞，并且當沿著孔的軸線觀察所述壓力傳感器 安裝件時該壓力傳感器安裝件具有非圓形形狀。
2. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，進一步包括填充管，所述填充管連接到隔離 塞并被構造成將不可壓縮流體引入通路。
3. 根據權利要求2所述的壓力測量組件，其中所述填充管被安裝到隔離塞并且沿著與 所述孔的軸線大致平行的方向從隔離塞延伸。
4. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，其中所述壓力傳感器安裝件被銅焊到隔離 塞。
5. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，進一步地包括設置在所述隔離膜片之上的濾 網。
6. 根據權利要求5所述的壓力測量組件，其中所述濾網被焊接到隔離塞。
7. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，其中所述壓力傳感器由單晶材料形成。
8. 根據權利要求7所述的壓力測量組件，其中所述單晶材料是藍寶石。
9. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，進一步地包括至少一個不可壓縮的容積插入 件，所述容積插入件靠近壓力傳感器的一部分定位并設置在不可壓縮流體中。
10. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，其中所述組件被嵌入壓力探頭中并且是壓 力變送器的一部分。
11. 根據權利要求1所述的壓力測量組件，其中所述壓力傳感器進一步包括至少一個 溫度敏感元件，所述溫度敏感元件被設置成提供過程流體溫度指示。
12. 根據權利要求1所述的壓力測量系統，其中所述隔離塞由耐腐蝕合金形成。
13. 根據權利要求12所述的壓力測量系統，其中所述耐腐蝕合金是C276。
14. 根據權利要求12所述的壓力測量系統，其中所述耐腐蝕合金是因科鎳合金 (Inconel)625。
15. 根據權利要求1所述的壓力測量系統，其中所述非圓形形狀基本上是橢圓形。 16?-種壓力測量組件，包括： 第一壓力傳感器安裝件，所述第一壓力傳感器安裝件具有穿過該第一壓力傳感器安裝 件的第一孔； 第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器穿過所述第一孔并被安裝到該第一孔處，所述 第一壓力傳感器具有隨外加壓力變化的電特性； 第二壓力傳感器安裝件，所述第二壓力傳感器安裝件具有穿過該第二壓力傳感器安裝 件的第二孔； 第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器穿過所述第二孔并被安裝到該第二孔處，所述 第二壓力傳感器具有隨外加壓力變化的電特性；以及 隔離塞，所述隔離塞被構造成暴露給過程流體，所述隔離塞具有被設置成接觸過程流 體的第一隔離膜片，并且所述隔離塞包括第一通路，所述第一通路以流體連通的方式連接 到第一隔離膜片以通過不可壓縮流體將過程流體壓力從第一隔離膜片傳送到第一壓力傳 感器；所述隔離塞也具有被設置成接觸過程流體的第二隔離膜片，并且所述隔離塞包括第 二通路，所述第二通路以流體連通的方式連接到第二隔離膜片以通過不可壓縮流體將過程 流體壓力從第二隔離膜片傳送到第二壓力傳感器； 其中所述第一壓力傳感器安裝件和第二壓力傳感器安裝件被連接到隔離塞，并且當沿 著第一孔的軸線觀察所述第一壓力傳感器安裝件和第二壓力傳感器安裝件時該第一壓力 傳感器安裝件和第二壓力傳感器安裝件具有非圓形形狀。
17. 根據權利要求16所述的壓力傳感器組件，其中所述第一和第二隔離膜片是圓形 的。
18. 根據權利要求17所述的壓力傳感器組件，其中所述第一和第二隔離膜片在軸向方 向上彼此間隔開。
19. 根據權利要求18所述的壓力傳感器組件，其中所述第一和第二隔離膜片彼此對 準。
20. 根據權利要求16所述的壓力傳感器組件，進一步包括連接到隔離塞的濾網，并且 其中所述每個隔離膜片和濾網隔開。
21. 根據權利要求20所述的壓力傳感器組件，其中所述濾網包括鄰近與隔離塞的界面 布置的多個孔。
22. 根據權利要求16所述的壓力測量組件，進一步包括： 第一填充管，所述第一填充管連接到隔離塞并被構造成將不可壓縮流體引入第一通 路；和 第二填充管，所述第二填充管連接到隔離塞并被構造成將不可壓縮流體引入第二通 路。
23. 根據權利要求22所述的壓力測量組件，其中所述第一填充管和第二填充管沿著與 孔的軸線基本上平行的方向從隔離塞延伸。
24. 根據權利要求22所述的壓力測量組件，其中所述壓力測量組件具有大概0.98"或 更小的直徑。
25. 根據權利要求16所述的壓力測量組件，其中所述第一壓力傳感器和第二壓力傳感 器各自由單晶材料形成。
26. 根據權利要求16所述的壓力測量組件，其中所述非圓形形狀基本上是橢圓形。
【文檔編號】G01L9/12GK104515546SQ201410363633
【公開日】2015年4月15日 申請日期:2014年7月28日 優先權日:2013年9月26日
【發明者】尼克拉斯·約翰·海伍德 申請人:羅斯蒙特公司