1.一種干涉儀光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于，包括光源(1)、聚光鏡(2)、濾光片(3)、視場光闌(4)、分光鏡(5)、準(zhǔn)直鏡(6)、移相器(7)、顯微物鏡(8)、電荷耦合元件(9)；
所述光源(1)發(fā)出的光線依次經(jīng)過所述聚光鏡(2)、所述濾光片(3)、所述視場光闌(4)、所述分光鏡(5)、所述準(zhǔn)直鏡(6)、所述移相器(7)、進(jìn)入所述顯微物鏡(8)，經(jīng)所述顯微物鏡(8)的分光面(8b)分光后，一部分光線反射到所述顯微物鏡(8)的參考反射面(8a)，經(jīng)所述參考反射面(8a)反射返回，另一部分光線透過所述顯微物鏡(8)的分光面(8b)到達(dá)被測面，經(jīng)被測面反射返回，再次穿過所述分光面(8b)后與經(jīng)所述參考反射面(8a)反射的光線重合，發(fā)生干涉并經(jīng)所述分光鏡(5)反射后進(jìn)入所述電荷耦合元件(9)，產(chǎn)生干涉圖樣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光源(1)為LED白光光源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述聚光鏡(2)為雙膠合透鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述分光鏡(3)由兩等腰直角三棱鏡膠合，通過鍍膜處理且具有透射率50％和反射率50％。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述準(zhǔn)直鏡(6)為通過鍍膜處理且具有消色差作用的雙膠合透鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述移相器(7)為壓電陶瓷驅(qū)動。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述顯微物鏡(8)為Mirau型顯微物鏡，所述顯微物鏡(8)通過螺紋連接方式與移相器(7)固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述光源(1)、所述聚光鏡(2)、所述濾光片(3)、所述視場光闌(4)、所述分光鏡(5)、所述準(zhǔn)直鏡(6)、所述移相器(7)、所述顯微物鏡(8)共軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述視場光闌(4)與所述電荷耦合元件(9)像面及被測表面三者成共軛關(guān)系。