技術總結
本發(fā)明提供的一種干涉儀光學系統(tǒng)，包括光源、聚光鏡、濾光片、視場光闌、分光鏡、準直鏡、移相器、顯微物鏡、電荷耦合元件，所述光源發(fā)出的光線依次經過所述聚光鏡、所述濾光片、所述視場光闌、所述分光鏡、所述準直鏡、所述移相器、進入所述顯微物鏡，經所述顯微物鏡的分光面分光后，一部分光線反射到所述顯微物鏡的參考反射面，經所述參考反射面反射返回，另一部分光線透過所述顯微物鏡的分光面到達被測面，經被測面反射返回，再次穿過所述分光面后與經所述參考反射面反射的光線重合，發(fā)生干涉并經所述分光鏡反射后進入所述電荷耦合元件，產生干涉圖樣，本發(fā)明元件少，結構簡單，易于保證鏡筒機械加工精度，降低裝調難度。

技術研發(fā)人員：王飛;史振廣;田偉;隋永新
受保護的技術使用者：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
文檔號碼：201611133620
技術研發(fā)日：2016.12.10
技術公布日：2017.05.31