專利名稱：用于置放儲存匣的電子貨架的制作方法
專利說明本實用新型關(guān)于一種電子貨架(E-Rack)，尤指一種于制造工廠中，用來置放儲存 匣的電子貨架。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的演進，許多產(chǎn)業(yè)，諸如顯示器制造廠、半導(dǎo)體制造廠、太陽能設(shè) 備制造廠等，皆會進行半導(dǎo)體相關(guān)組件的處理或制造，而于制造過程中需要將半導(dǎo)體相關(guān) 組件，如半導(dǎo)體晶圓、光罩等，于不同的位置間移動，因此，于該等半導(dǎo)體相關(guān)組件移動或 存放時，皆會將之置放在一特制的儲存匣中以避免被雜質(zhì)污染。此外，當(dāng)不需要使用這些半 導(dǎo)體相關(guān)組件時，該等儲存匣會被存放在特定的貨架上以待下一次的取用使用。傳統(tǒng)上，儲存匣會被置放在一經(jīng)過標(biāo)示的特定位置上，并于每次使用完畢放回此 特定位置，雖然此種儲物系統(tǒng)的建置成本低廉，但對于動則上萬片光罩或芯片的晶圓廠來 說，此種儲物方式將耗費相當(dāng)高的人事成本，且易出差錯。現(xiàn)有技術(shù)如中國臺灣公開第200821241號的“被搬送物儲存系統(tǒng)”專利案，公開一 種全自動化控制的儲存系統(tǒng)，借由軌道、天車(0ΗΤ)、及倉儲柜(stocker)的組合，每一儲存 匣皆可被安排在該倉儲柜的專屬位置中，當(dāng)生產(chǎn)在線需要使用某一儲存匣內(nèi)的晶圓或光罩 等組件時，通過系統(tǒng)的操作即可令該天車依循軌道自動地至該倉儲柜中取出該儲存匣，再 透過軌道將該儲存匣運送至生產(chǎn)在線。此系統(tǒng)全由計算機所監(jiān)控，其好處在于任何儲存匣 皆能被正確地放置到其各自專屬的位置上，而不會錯放至其它的存放位置。然而，此種系統(tǒng) 的建置成本相當(dāng)高昂且相當(dāng)占空間，舉例來說，一個晶圓廠的運作可能就需要上千上萬片 的光罩或芯片，該些光罩或芯片皆需要有獨立的儲存匣，若將所有的儲存匣皆以該現(xiàn)有技 術(shù)的儲存系統(tǒng)來存放時，系統(tǒng)的建置成本勢必大幅提高，再者，一個廠房運作時需要運送 儲存匣的次數(shù)相當(dāng)多，運送時的等待時間亦會造成產(chǎn)能的降低。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的一目的在于提供一種低成本、高效率的電子貨架。本實用新型的另一目的在于提供一種相較于現(xiàn)有技術(shù)較不占空間且空間安排彈 性大的電子貨架。本實用新型的再一目的在于提供一種可供在線操作人員對于置放的儲存匣，可放 了即走(put & go)的電子貨架。為達上述目的及其它目的，本實用新型提供一種用于置放儲存匣的電子貨架，應(yīng) 用于將該電子貨架上儲存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠程服務(wù)器，該電子貨架包含復(fù)數(shù)個置放區(qū)， 每一置放區(qū)用于置放一儲存匣；及復(fù)數(shù)個無線射頻感應(yīng)器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng) 該置放區(qū)中儲存匣上的無線射頻標(biāo)簽，并取得該儲存匣的數(shù)據(jù)。于一實施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個動作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中， 并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感測該儲存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射 頻感應(yīng)器。其中，該動作傳感器可為一紅外線傳感器。于另一實施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該儲存匣的數(shù)據(jù)。于再一實施例中，該電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電 性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該儲存匣的數(shù)據(jù)，以及顯示該遠程服務(wù)器下達的 指示；及復(fù)數(shù)個LED燈指示模塊，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng) 器，用以指示該置放區(qū)的狀態(tài)以及指示出該遠程服務(wù)器下達的指示。于再一實施例中，該些儲存匣用于存放半導(dǎo)體芯片或光罩。于再一實施例中，該電子貨架的底部設(shè)有復(fù)數(shù)個輪子，以便于移動。借此，本實用新型氣體循環(huán)式電子貨架結(jié)構(gòu)相較于現(xiàn)有技術(shù)可節(jié)省成本且日后 維護 成本低廉，再者，本實用新型于每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無線射頻感應(yīng)器，使得在線操作 人員可直接將儲存匣置放在電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無線射頻感應(yīng)器即會感應(yīng)儲存 匣上的無線射頻標(biāo)簽并取得儲存匣的數(shù)據(jù)，如識別數(shù)據(jù)(ID)，達到放了即走(put & go) 的功效；而不若傳統(tǒng)技術(shù)于置放儲存匣時，需根據(jù)架上的指示位置來置放。

圖1為本實用新型于一實施例中電子倉儲系統(tǒng)的架構(gòu)圖。圖2為本實用新型于一實施例中電子貨架的立體圖。圖3為本實用新型于另一實施例中電子貨架的立體圖。圖4為本實用新型于再一實施例中電子貨架的立體圖。圖5為本實用新型于再一實施例中電子貨架的立體圖。圖6為本實用新型于再一實施例中電子貨架的立體圖。主要組件符號說明100電子倉儲系統(tǒng)101遠程服務(wù)器103集線器110電子貨架IlOa e電子貨架112置放區(qū)114無線射頻感應(yīng)器116顯示器117LED燈指示模塊118動作傳感器119 輪子120儲存匣122無線射頻標(biāo)簽130網(wǎng)關(guān)器
具體實施方式
為充分了解本實用新型之目的、特征及功效，現(xiàn)借由下述具體的實施例，并配合所 附之圖式，對本實用新型做一詳細(xì)說明，說明如后[0039]于半導(dǎo)體廠、其它需對半導(dǎo)體芯片或光罩進行存放之廠房、或其它倉儲廠房皆可 使用本實用新型。本實用新型是應(yīng)用于一種電子倉儲系統(tǒng)中。請參閱圖1，本實用新型于一實施例中 電子倉儲系統(tǒng)的架構(gòu)圖，該電子倉儲系統(tǒng)100包含一遠程服務(wù)器101、至少一集線器103、及 復(fù)數(shù)個電子貨架llOa-e，該等電子貨架llOa-e會回傳目前存放于架上的貨品資料，如識 別數(shù)據(jù)(ID)，而該等電子貨架llOa-e與該遠程服務(wù)器101間的連接則可通過現(xiàn)有的網(wǎng)絡(luò)架 設(shè)技術(shù)來完成，以圖1所示，將每一電子貨架聯(lián)機至一集線器103，再連接至該遠程服務(wù)器 101，該遠程服務(wù)器101可通過無線或有線之方式來建立此連接，再者，該集線器103亦可再 并聯(lián)多個集線器以完成不同區(qū)之間的網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)，前述架設(shè)技巧與網(wǎng)絡(luò)階層的建置皆為現(xiàn)有 架設(shè)技術(shù)的不同變化，于此不再贅述。接著請參閱圖2，本實用新型于一實施例中電子貨架的立體圖。該電子貨架110于 此實施例中通過一網(wǎng)關(guān)130與該集線器103 (請參閱圖1)連接，以將數(shù)據(jù)傳送予該遠程服 務(wù)器101(請參閱圖1)，如同前述，其網(wǎng)絡(luò)接線的各種變化是現(xiàn)有技術(shù)，于此不再贅述。該電 子貨架110用來存放復(fù)數(shù)個儲存匣120，舉例來說，該儲存匣120于半導(dǎo)體組件或光罩上的 應(yīng)用時，為一種前開式綜合儲存匣(Front-Opening Unified Pod，F(xiàn)0UP)，其符合SEMI標(biāo)準(zhǔn) E47. 1所規(guī)定。該儲存匣為一運送用的儲存盒或容器。本實用新型中的置放區(qū)的數(shù)量可依 實際情況作改變，本實施例中提供的九個置放區(qū)僅為一種示例而非為一種限制。請繼續(xù)參閱圖2，該電子貨架110包含有復(fù)數(shù)個置放區(qū)112及復(fù)數(shù)個無線射頻感應(yīng) 器114，其中，每一置放區(qū)112是用來存放一儲存匣120，該等無線射頻感應(yīng)器114是用來 感應(yīng)該儲存匣120上的無線射頻標(biāo)簽122，該無線射頻標(biāo)簽122內(nèi)儲存有該儲存匣120的 數(shù)據(jù)，如識別數(shù)據(jù)(ID)。因此，當(dāng)操作員欲放回該儲存匣120時，可直接找一空的置放區(qū) 112置放該儲存匣120，達到放了即走(put & go)的功效，該電子貨架110會通過對應(yīng)的無 線射頻感應(yīng)器114取得該儲存匣120的數(shù)據(jù)，如識別數(shù)據(jù)(ID)，并將此數(shù)據(jù)回傳至該遠程 服務(wù)器101 (請參閱圖1)。如此，該遠程服務(wù)器101即會有目前位于架上之儲存匣120的資 料，在線操作者可根據(jù)該遠程服務(wù)器101的數(shù)據(jù)找到其欲找尋的儲存匣位于廠房中的哪一 位置，只要該儲存匣未處于生產(chǎn)在線的使用中狀態(tài)。如此電子貨架將可使操作者不用為了 將儲存匣放入專屬位置而耗費時間在尋找位置，而可放了即走(put & go)，也不需擔(dān)心儲 存匣是否會放錯，因為它現(xiàn)在被置放的位置會回傳至該遠程服務(wù)器101，于下一次使用時仍 可被輕易地找出其置放的位置。接著請參閱圖3，是本實用新型于另一實施例中電子貨架的立體圖。所述的電子貨 架110更可包含復(fù)數(shù)個顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一顯示器116，該顯示器116電 性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該儲存匣120的數(shù)據(jù)，其中，該數(shù)據(jù)系儲存于 該儲存匣120的無線射頻標(biāo)簽122中。接著請參閱圖4，本實用新型于再一實施例中電子貨架的之立體圖。所述的電子貨 架110更可包含復(fù)數(shù)個動作傳感器118，每一置放區(qū)112是設(shè)置有一動作傳感器118，該動 作傳感器118電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以感測該儲存匣120的置放狀態(tài)，并 據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器114。即，當(dāng)該儲存匣120被置放入該置放區(qū)112時，對應(yīng)的動 作傳感器118會感測到動作的變化，并致能與其電性連接的無線射頻感應(yīng)器114，該無線射 頻感應(yīng)器114始進行感應(yīng)，如此可節(jié)省電力的消耗。其中，該動作傳感器118可為紅外線傳感器(IR sensor)或其它可達成相同功效的傳感器。接著請參閱圖5，是本實用新型于再一實施例中電子貨架的立體圖。如前所述，該 電子貨架110更可包含復(fù)數(shù)個顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一顯示器116，該顯示器 116電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該儲存匣120的資料，而可供操作人員 直接檢視。再者，該電子貨架110為便于移動，更可于底部增設(shè)復(fù)數(shù)個輪子119，以便于機 動使用，前述的實施例皆可增設(shè)該等輪子119。接著請參閱圖6，是本實用新型于再一實施例中電子貨架的立體圖。除了前述增 加的顯示器116外，更可于每一置放區(qū)中設(shè)置一 LED燈指示模塊117，其電性連接對應(yīng)的無 線射頻感應(yīng)器114，用以指示該置放區(qū)112的狀態(tài)以及指示出該遠程服務(wù)器101(請參閱的 圖1)下達的指示。舉例來說，一種情況為當(dāng)該置放區(qū)112被正確置放儲存匣120時，可透 過該LED燈指示模塊117來指示出目前的正常置放狀態(tài)，如亮一綠燈燈號；而另一種情況 為當(dāng)該遠程服務(wù)器101指示目前應(yīng)取用的儲存匣120位于哪一置放區(qū)112時，可通過該 LED燈指示模塊117來指示，如亮一紅燈燈號讓現(xiàn)場的操作人員清楚且快速地得知欲取用 的儲存匣120是位于哪一置放區(qū)112。再者，該顯示器116可顯示來自該遠程服務(wù)器101下 達的指示，例如引導(dǎo)操作人員儲存匣該如何處理等事項。借此可快速且清楚地顯示與指示 出置放區(qū)與儲存匣的狀態(tài)，并可供遠程服務(wù)器101下達欲交辦的指示。此外，如前所述，本 實施例中亦可增加動作傳感器(圖未示)。本實用 新型的所有實施例中，顯示器116、LED燈指示模塊117、動作傳感器118、及 輪子119皆可視需求于該電子貨架上進行不同的搭配組合。綜上所述，本實用新型具體提供了一種低成本、高效率且機動性高、空間安排彈性 大的電子貨架，在線操作者對于置放的儲存匣，可放了即走(put& go)，而不若傳統(tǒng)技術(shù)于 置放儲存匣時，需根據(jù)架上的指示位置來置放。本實用新型在上文中已以較佳實施例公開，然本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實 施例僅用于描繪本實用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實用新型的范圍。應(yīng)注意的是，舉凡與該 實施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實用新型的范疇內(nèi)。因此，本實用新型的保護 范圍當(dāng)以所附的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于置放儲存匣的電子貨架，應(yīng)用于將該電子貨架上儲存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠程服務(wù)器，其特征在于該電子貨架包含復(fù)數(shù)個置放區(qū)，每一置放區(qū)用于置放一儲存匣；及復(fù)數(shù)個無線射頻感應(yīng)器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng)該置放區(qū)中儲存匣上的無線射頻標(biāo)簽，并取得該儲存匣的數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲存匣的數(shù)據(jù)。
3.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含 復(fù)數(shù)個動作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感 測該儲存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器。
4.如權(quán)利要求3所述的電子貨架，其特征在于該動作傳感器為一紅外線傳感器。
5.如權(quán)利要求3所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲存匣的數(shù)據(jù)。
6.如權(quán)利要求1所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 儲存匣的數(shù)據(jù)，以及顯示該遠程服務(wù)器下達的指示；及復(fù)數(shù)個LED燈指示模塊，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用 以指示該置放區(qū)的狀態(tài)以及指示出該遠程服務(wù)器下達的指示。
7.如權(quán)利要求6所述的電子貨架，其特征在于更包含復(fù)數(shù)個動作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對應(yīng)的無線射頻感應(yīng)器，用以感 測該儲存匣的置放狀態(tài)，并據(jù)以致能該無線射頻感應(yīng)器。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項所述的電子貨架，其特征在于該些儲存匣用于存放半導(dǎo) 體芯片或光罩。
9.如權(quán)利要求8所述的電子貨架，其特征在于該電子貨架的底部設(shè)有復(fù)數(shù)個輪子。
專利摘要本實用新型提供一種用于置放儲存匣的電子貨架，應(yīng)用于將該電子貨架上儲存匣的數(shù)據(jù)傳送予一遠程服務(wù)器，該電子貨架包含復(fù)數(shù)個置放區(qū)及復(fù)數(shù)個無線射頻感應(yīng)器，其中，每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無線射頻感應(yīng)器，使得在線操作人員可直接將儲存匣置放在電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無線射頻感應(yīng)器即會感應(yīng)儲存匣上的無線射頻標(biāo)簽并取得儲存匣的數(shù)據(jù)，如識別數(shù)據(jù)(ID)，達到放了即走(put & go)的功效。
文檔編號H01L21/673GK201717248SQ20102010859
公開日2011年1月19日 申請日期2010年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月28日
發(fā)明者葉秀珢, 陳榮華 申請人:華景電通股份有限公司