專利名稱：用于石墨晶舟的固定柱的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種固定柱，特別涉及一種用于承載太陽能電池芯片的石墨晶舟的固定柱。
背景技術：
太陽能電池的光照面一般都會有抗反射層或紋理結構，來減少入射陽光的反射。如果沒有這樣的話，入射陽光會有約30%的反射損失，這對太陽電池而言是相當嚴重的。硅晶太陽電池一般是使用氮化硅(SiN)來形成抗反射層，它不僅能有效的減少入射光的反射，而且還有鈍化的作用，甚至能保護太陽電池，有防刮傷、防濕氣等功能?？狗瓷鋵右话阍诘入x子體化學氣相沉積反應器中制作，等離子體化學氣相沉積反應器屬于水平爐管的形式，進行沉積前先將太陽能電池芯片垂直堆疊在長方形的石墨晶舟 中，石墨晶舟是由多個石墨板組合而成，用來當作產生等離子體的電極板及放置芯片的載具，這些電極板的形狀也是被設計成在每片芯片上能提供一個均勻的等離子體環境以確保鍍出來的薄膜非常均勻。這些垂直方向的石墨電極板，以一片接著一片，彼此互相平行的方式排列著，而且以間隔方式當作射頻能量及接地的電極，因此等離子體就在每對的空間中產生。使用多個長的平板即可使得在一個工藝中，放入120片以上的芯片到反應器中。將芯片垂直放置在石墨電極板上時，須使用固定柱固定。請參照圖I、圖2與圖3。圖I為現有的石墨晶舟I承載太陽能電池芯片2的不意圖。圖2為圖I中的固定柱10的俯視圖。圖3為圖2中的固定柱10的側視圖。如圖I至圖3所示，現有的固定柱10包含有本體部100、頸部102以及頭部104。固定柱10主要應用于生產太陽能電池芯片2的石墨晶舟I上，其功能是使太陽能電池芯片2承載于石墨晶舟I的固定柱10上而不掉落，并使太陽能電池芯片2能垂直地進出上述的等離子體化學氣相沉積反應器進行鍍膜。然而，在固定柱10承載太陽能電池芯片2時，太陽能電池芯片2的部分面積會受到固定柱10遮蔽。換言之，太陽能電池芯片2受到固定柱10遮蔽的部分面積將會因無法有效濺鍍上氮化硅而產生固定柱痕(Pi n Mark)，使太陽能電池芯片2的外觀有缺陷。

實用新型內容為解決前述問題，本實用新型的目的在于提供一種用于石墨晶舟的固定柱，在有效地防止太陽能電池芯片脫離固定柱的前提下，可將太陽能電池芯片上的固定柱痕尺寸有效地縮小。為達上述目的，本實用新型提供一種用于石墨晶舟的固定柱，該石墨晶舟用以承載一芯片，該固定柱包含—本體部，用以與該石墨晶舟結合，并承載該芯片；一頸部，與該本體部連接，用以供該芯片的邊緣抵靠，該頸部的輪廓為一圓柱體，該圓柱體具有一第一半徑；以及一頭部，與該頸部連接，用以限制該芯片遠離該本體部的移動，該頭部的輪廓為一截頭圓錐體，該截頭圓錐體具有一第二半徑及一第三半徑，且該第三半徑大于該第二半徑。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頭部的第二半徑等于該頸部的該第一半徑。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部的寬度范圍為O. 2至O. 5毫米。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部與該頭部的兩側形成兩平行的側壁。上述的用于石墨晶舟的固定柱，其中該頸部與該頭部進一步截為具有兩對平行的 側壁。本實用新型固定柱的頭部輪廓設計為截頭圓錐體，與圓柱體的頸部連接，提供等離子體態反應氣體進入的空間，可有效地大幅縮小芯片上的固定柱痕尺寸。而且，頭部的截頭圓錐體側邊斜面有助于芯片順利導入。此外，可借著截去固定柱的頸部與頭部的一部分，使頸部與頭部的兩側形成兩平行的側壁，于鍍膜時達到縮小芯片上的固定柱痕尺寸。另外，可借著截去固定柱的頸部與頭部的一部分，使頸部與頭部的四邊形成兩對平行的側壁，于鍍膜時達到縮小芯片上的固定柱痕尺寸。
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細描述，但不作為對本實用新型的限定。

圖I為現有的石墨晶舟承載太陽能電池芯片的不意圖；圖2圖I中的固定柱的俯視圖；圖3為圖2中的固定柱的側視圖；圖4依據本實用新型的較佳實施例的石墨晶舟承載太陽能電池芯片的示意圖；圖5依據本實用新型的一實施例的固定柱的外觀立體圖；圖6為圖5的固定柱的俯視圖；圖7為圖5的固定柱的側視圖；圖8為圖4中的固定柱承載芯片的局部正面放大圖；圖9為圖4中的固定柱承載芯片的局部側面放大圖；圖10依據本實用新型的另一實施例的固定柱的外觀立體圖；圖11為芯片抵靠于圖10的固定柱的局部正面放大圖；圖12依據本實用新型的又一實施例的固定柱的外觀立體圖；圖13為芯片抵靠于圖12的固定柱的局部正面放大圖。其中，附圖標記I石墨晶舟2芯片10固定柱100本體部102頸部104 頭部4石墨晶舟[0040]40固定柱400本體部402頸部404 頭部Rl第一半徑R2第二半徑R3第三半徑50固定柱500本體部502頸部504頭部506側壁 508遮蔽區域60固定柱600本體部602頸部604頭部606側壁608遮蔽區域
具體實施方式
有關本實用新型的詳細說明及技術內容，配合附圖說明如下，然而所附的附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本實用新型加以限制。請參照圖4，圖4為依據本實用新型的較佳實施例的石墨晶舟4承載太陽能電池芯片2的示意圖。如圖4所示，本實用新型的石墨晶舟4可用于承載太陽能電池芯片2，但不以此為限。例如本實用新型的石墨晶舟4也可用于承載圓形的半導體晶圓(圓片)，只要在半導體工藝中是采用垂直堆疊方式承載受載體，均可利用本實用新型的石墨晶舟4。如圖4所示，本實施例的石墨晶舟4包含有三個固定柱40。石墨晶舟4的三個固定柱40可分別于太陽能電池芯片2的三個邊上進行支撐。至于固定柱40的數量與位置，并不以圖4為限，可端視太陽能電池芯片2的重心位置，或者是工藝上所需達到的穩定度而彈性地調整設置。以下將詳細介紹本實施例的石墨晶舟4上的固定柱40的詳細結構。請參照圖5至圖7，圖5依據本實用新型的較佳實施例的固定柱40的外觀立體圖。圖6為圖5的固定柱40的俯視圖。圖7為圖5的固定柱40的側視圖。如圖5至圖7所示，本實施例中，固定柱40主要包含有本體部400、頸部402以及頭部404。本體部400，用以與石墨晶舟4結合，并承載芯片2 ;頸部402，與本體部400連接，用以供芯片2的邊緣抵靠，頸部402的輪廓為具有第一半徑Rl的圓柱體；以及頭部404，與頸部402連接，用以限制芯片2遠離本體部400的移動，頭部404的輪廓為截頭圓錐體，截頭圓錐體具有第二半徑R2及第三半徑R3，且第三半徑R3大于第二半徑R2。頭部404的第二半徑R2可等于頸部402的第一半徑Rl。頸部402寬度(即R3與R2的尺寸差)較佳范圍為0. 2至0. 5毫米，頸部寬度愈小，愈能使芯片的邊緣抵靠本體部400，提高鍍膜的均勻性。請參照圖8與圖9，圖8為圖4中的固定柱40承載芯片2的局部正面放大圖。圖9為圖4中的固定柱40承載芯片2的局部側面放大圖。如圖9所示，當芯片2的邊緣抵靠固定柱40的頸部402時，由于固定柱40的頭部404輪廓設計為截頭圓錐體，與圓柱體的頸部402連接，提供等離子體態反應氣體進入的空間，可有效地大幅縮小芯片上的固定柱痕尺寸。而且，頭部404的截頭圓錐體側邊斜面有助于芯片順利導入。[0058]另外，本實用新型的另一實施例中，如圖10與圖11所示，可借著截去固定柱50的頸部502與頭部504的一部分，使頸部502與頭部504的兩側形成兩平行的側壁506，于鍍膜時達到縮小芯片2上的固定柱痕尺寸。固定柱50的頭部504遮蔽于太陽能電池芯片2上的遮蔽區域508大體上可呈長方形。與圖I至圖3所示的現有固定柱10的頸部102與頭部104均為圓柱體比較，當芯片2的邊緣抵靠固定柱10的頸部102時，其遮蔽區域的外型約略為半橢圓形。另外，本實用新型的又一實施例中，如圖12與圖13所示，可借著截去固定柱60的頸部602與頭部604的一部分，使頸部602與頭部604的四邊形成兩對平行的側壁606，于鍍膜時達到縮小芯片2上的固定柱痕尺寸。固定柱60的頭部604遮蔽于太陽能電池芯片2上的遮蔽區域608大體上可呈梯形。上述經截去固定柱的頸部與頭部的一部分所形成的側壁外型不以圖10與圖12為限，可依設計需求而彈性調整。 本實用新型分別以現有的固定柱10與本實用新型依照上述圖12制作出的固定柱60承載太陽能電池芯片2垂直地進出上述的等離子體化學氣相沉積反應器進行工藝之后，發現采用現有的固定柱10承載的太陽能電池芯片2上的固定柱痕的面積約為I. 1254mm2,而采用本實用新型依照上述圖12制作出的固定柱60承載太陽能電池芯片2上的固定柱痕的面積約為O. 7566mm2。換言之,在依然可有效地防止太陽能電池芯片2脫離固定柱60的前提之下，本實用新型通過截去固定柱60的頸部602與頭部604的一部分，即可將太陽能電池芯片2上的固定柱痕尺寸有效地縮小30 35%。當然，本實用新型還可有其它多種實施例，在不背離本實用新型精神及其實質的情況下，熟悉本領域的技術人員當可根據本實用新型作出各種相應的改變和變形，但這些相應的改變和變形都應屬于本實用新型所附的權利要求的保護范圍。
權利要求1.一種用于石墨晶舟的固定柱，該石墨晶舟用以承載一芯片，其特征在于，該固定柱包含: 一本體部，用以與該石墨晶舟結合，并承載該芯片； 一頸部，與該本體部連接，用以供該芯片的邊緣抵靠，該頸部的輪廓為一圓柱體，該圓柱體具有一第一半徑；以及 一頭部，與該頸部連接，用以限制該芯片遠離該本體部的移動，該頭部的輪廓為一截頭圓錐體，該截頭圓錐體具有一第二半徑及一第三半徑，且該第三半徑大于該第二半徑。
2.根據權利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頭部的第二半徑等于該頸部的該第一半徑。
3.根據權利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部的寬度范圍為.O. 2至O. 5毫米。
4.根據權利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部與該頭部的兩側形成兩平行的側壁。
5.根據權利要求I所述的用于石墨晶舟的固定柱，其特征在于，該頸部與該頭部進一步截為具有兩對平行的側壁。
專利摘要本實用新型公開一種用于石墨晶舟的固定柱。固定柱包含本體部、頸部以及頭部。本體部用以與晶舟組合，并承載太陽能電池芯片。頸部與本體部連接，用以供芯片的邊緣抵靠，頸部的輪廓為圓柱體。頭部與頸部連接，用以限制芯片遠離本體部的移動，頭部的輪廓為截頭圓錐體。固定柱的頭部輪廓設計為截頭圓錐體，與圓柱體的頸部連接，提供等離子體態反應氣體進入的空間，可有效地大幅縮小芯片上的固定柱痕尺寸。
文檔編號H01L21/673GK202585368SQ20122014014
公開日2012年12月5日 申請日期2012年3月31日 優先權日2012年3月31日
發明者李清福 申請人:屹峰股份有限公司