本發明涉及壓電致動器、壓電馬達、機器人、手部以及泵。

背景技術：

已知有具備多個壓電元件的壓電致動器(例如，參照專利文獻1)。例如，專利文獻1所記載的壓電致動器具備具有多個壓電元件的壓電致動器主體和設于該壓電致動器主體的端部的傳遞體，多個壓電元件以串聯的方式電連接。

專利文獻1：日本特開2015－115542號公報

在專利文獻1所記載的壓電致動器中，由于多個壓電元件以串聯的方式電連接，所以就算只有一個壓電元件發生故障，也不能夠驅動其它的壓電元件，結果，存在不能夠驅動傳遞體這樣的問題。

技術實現要素：

本發明的目的在于提供即使多個壓電元件中的一部分壓電元件發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件的壓電致動器，還在于提供具備這樣的壓電致動器的壓電馬達、機器人、手部以及泵。

上述目的通過下述的本發明實現。

本發明的壓電致動器的特征在于，具備：多個壓電元件，它們產生向被驅動部傳遞的驅動力；以及

電力供給部，其對上述多個壓電元件的每一個供給電力，

上述多個壓電元件分別以并聯的方式與上述電力供給部電連接。

根據這樣的壓電致動器，即使多個壓電元件中的一部分壓電元件由于斷線等而發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件而向被驅動部傳遞驅動力。

在本發明的壓電致動器中，優選層疊有上述多個壓電元件。

由此，能夠對被驅動部的一個位置傳遞較大的驅動力。另外，即使一部分壓電元件發生故障，也能夠隨著剩余的壓電元件的驅動來驅動該故障的壓電元件。

在本發明的壓電致動器中，優選具備多組層疊的上述多個壓電元件。

由此，能夠對被驅動部的多個位置傳遞驅動力。

在本發明的壓電致動器中，優選上述驅動力是使上述被驅動部旋轉的力。

由此，能夠使被驅動部旋轉。

在本發明的壓電致動器中，優選具備以并聯的方式與上述多個壓電元件電連接的線圈。

由此，能夠降低多個壓電元件以并聯的方式電連接所引起的電壓效應。

在本發明的壓電致動器中，優選上述線圈的電感可變。

由此，即使多個壓電元件中的一部分壓電元件發生故障，也能夠通過調整線圈的電感，降低剩余的多個壓電元件以并聯的方式電連接所引起的電壓效應。

本發明的壓電馬達的特征在于，具備本發明的壓電致動器。

由此，能夠提供具有優異的可靠性的壓電馬達。

本發明的機器人的特征在于，具備本發明的壓電致動器。

由此，能夠提供具有優異的可靠性的機器人。

本發明的手部的特征在于，具備本發明的壓電致動器。

由此，能夠提供具有優異的可靠性的手部。

本發明的泵的特征在于，具備本發明的壓電致動器。

由此，能夠提供具有優異的可靠性的泵。

附圖說明

圖1是表示本發明的第一實施方式所涉及的壓電致動器的整體構成的示意圖。

圖2是表示圖1所示的壓電致動器所具備的壓電振動體的俯視圖。

圖3是圖2中的a－a線剖視圖。

圖4是表示圖1所示的壓電致動器所具備的多個壓電元件的連接狀態的圖。

圖5是說明圖2所示的壓電振動體的動作的圖。

圖6是表示本發明的第二實施方式所涉及的壓電致動器所具備的多個壓電元件的連接狀態的圖。

圖7是表示本發明的第三實施方式所涉及的壓電致動器所具備的壓電振動體的剖視圖。

圖8是表示本發明的壓電馬達的實施方式的示意立體圖。

圖9是表示本發明的機器人的實施方式的示意立體圖。

圖10是說明圖9所示的機器人所具備的手部的示意圖。

圖11是表示本發明的泵的實施方式的示意圖。

具體實施方式

以下，基于附圖所示的優選的實施方式對本發明的壓電致動器、壓電馬達、機器人、手部以及泵進行詳細說明。

1.壓電致動器

首先，對本發明的壓電致動器的實施方式進行說明。

第一實施方式

圖1是表示本發明的第一實施方式所涉及的壓電致動器的整體構成的示意圖。圖2是表示圖1所示的壓電致動器所具備的壓電振動體的俯視圖。圖3是圖2中的a－a線剖視圖。圖4是表示圖1所示的壓電致動器所具備的多個壓電元件的連接狀態的圖。圖5是說明圖2所示的壓電振動體的動作的圖。

圖1所示的壓電致動器1具有產生對未圖示的被驅動部給予的驅動力的多個壓電振動體10和驅動多個壓電振動體10的驅動電路20。以下，依次對壓電致動器1的各部進行說明。

壓電振動體

多個壓電振動體10彼此相同地構成。另外，如圖1所示，多個壓電振動體10以并聯的方式電連接。壓電振動體10的數目在圖示中為四個以上，但并不限定于此，也可以是兩個、三個或者五個以上。

如圖3所示，圖2所示的壓電振動體10具有兩個壓電元件單元11、將兩個壓電元件單元11相互接合的粘合層12、以及橫跨兩個壓電元件單元11設置的凸部件13。此處，兩個壓電元件單元11被構成為相對于粘合層12對稱(圖3中的上下對稱)，且相互具有相同的構成。

各壓電元件單元11具有基板14、設在基板14上的多個壓電元件15、以及覆蓋多個壓電元件15的保護層16。

如圖2所示，基板14具有驅動部141、固定部142、以及連接它們的一對連接部143。在本實施方式中，驅動部141在從基板14的厚度方向觀察的俯視(以下，也簡稱為“俯視”)時，呈長方形。另外，固定部142被設置為在俯視時沿著驅動部141的長邊方向上的一端側的部分的外周與驅動部141分離。另外，一對連接部143被配置在驅動部141的寬度方向(與長邊方向正交的方向)上的兩側。而且，一對連接部143連接驅動部141的長邊方向上的中央部與固定部142。需要說明的是，若能夠實現驅動部141的所希望的變形或者振動，則驅動部141、固定部142以及一對連接部143的形狀、配置等并不限定于上述的方式。例如，固定部142也可以按照每個連接部143分開設置。另外，連接部143的數目、形狀以及配置等也是任意的。

作為基板14，例如能夠使用硅基板。另外，雖然未圖示，但在基板14的壓電元件15側的面設有絕緣層。該絕緣層雖然并無特別限定，但例如，在使用硅基板作為基板14的情況下，能夠通過對該硅基板的表面進行熱氧化來形成。

在這樣的基板14的驅動部141上配置有多個壓電元件15。在本實施方式中，多個壓電元件15由五個驅動用的壓電元件15a、15b、15c、15d、15f以及一個檢測用的壓電元件15e構成。此處，多個壓電振動體10具有的驅動用的壓電元件15a、15c是產生向被驅動部傳遞的驅動力的“多個壓電元件”。另外，多個壓電振動體10具有的驅動用的壓電元件15b、15d也是產生傳遞到驅動部的驅動力的“多個壓電元件”。另外，多個壓電振動體10具有的驅動用的壓電元件15f也是產生傳遞到驅動部的驅動力的“多個壓電元件”。

壓電元件15f在驅動部14的寬度方向的中央部，沿著驅動部14的長邊方向配置。相對于該壓電元件15f，在驅動部141的寬度方向上的一側配置有壓電元件15a、15b，在另一側配置有壓電元件15c、15d。壓電元件15a、15b、15c、15d與沿著驅動部141的長邊方向以及寬度方向分割的四個區域對應地配置。在本實施方式中，壓電元件15a、15b被配置在驅動部141的寬度方向上的一側，壓電元件15c、15d被配置在驅動部141的寬度方向上的另一側。另外，壓電元件15a、15c被配置在驅動部141的長邊方向上的一側，壓電元件15b、15d被配置在驅動部141的長邊方向上的另一側。另外，壓電元件15e在驅動部141的寬度方向上的一側，相對于壓電元件15a被配置在與壓電元件15b相反的一側。需要說明的是，壓電元件15e的配置并不限定于圖示的配置。

這樣配置的壓電元件15a、15b、15c、15d、15e、15f分別具有設在基板14上的第一電極151、設在第一電極151上的壓電體152、以及設在壓電體152上的第二電極153。

第一電極151是對壓電元件15a、15b、15c、15d、15e、15f共用地設置的共用電極。另一方面，第二電極153是按照壓電元件15a、15b、15c、15d、15e、15f獨立地設置的獨立電極。在本實施方式中，壓電體152按照壓電元件15a、15b、15c、15d、15f獨立地設置，但對壓電元件15a、15e共用地設置。需要說明的是，壓電體152也可以按照壓電元件15a、15e獨立地設置，也可以對壓電元件15a、15b、15c、15d、15e、15f以共用的方式一體地設置。

此處，多個第二電極153由與壓電元件15a對應地設置的第二電極153a、與壓電元件15b對應地設置的第二電極153b、與壓電元件15c對應地設置的第二電極153c、與壓電元件15d對應地設置的第二電極153d、與壓電元件15e對應地設置的第二電極153e、以及與壓電元件15f對應地設置的第二電極153f構成。

第二電極153a與第二電極153d經由未圖示的布線電連接。同樣地，第二電極153b與第二電極153c經由未圖示的布線電連接。另外，在第二電極153上、上述兩個布線之間等適當地設有未圖示的sio2膜等絕緣膜。另外，第一電極151經由未圖示的布線接地(與接地電位連接)。另外，兩個壓電元件單元11的第一電極151彼此、第二電極153a彼此或者第二電極153d彼此、第二電極153b彼此或者第二電極153c彼此、以及第二電極153f彼此分別經由未圖示的布線電連接。

通過這樣的布線，如圖4所示，壓電振動體10具有的兩個壓電元件單元11的壓電元件15a、15d彼此以并聯的方式電連接。同樣地，壓電振動體10具有的兩個壓電元件單元11的壓電元件15b、15c彼此以并聯的方式電連接。另外，壓電振動體10具有的兩個壓電元件單元11的壓電元件15f彼此以并聯的方式電連接。另外，如圖1所示，多個壓電振動體10的驅動用的壓電元件15a、15d彼此以并聯的方式電連接。另外，多個壓電振動體10的壓電元件15b、15c彼此以并聯的方式電連接。另外，多個壓電振動體10的壓電元件15f彼此以并聯的方式電連接。

作為這樣的第一電極151以及第二電極153各自的構成材料，例如，使用鋁(al)、鎳(ni)、金(au)、白金(pt)、銥(ir)、銅(cu)等金屬材料。另外，第一電極151以及第二電極153分別能夠通過濺射法形成。

壓電體152被構成為通過施加沿著驅動部141的厚度方向的方向的電場而向沿著驅動部141的長邊方向的方向伸縮。作為這樣的壓電體152的構成材料，例如，能夠使用鋯鈦酸鉛(pzt)、鈦酸鋇、鈦酸鉛、鈮酸鉀、鈮酸鋰、鉭酸鋰、鎢酸鈉、氧化鋅、鈦酸鍶鋇(bst)、鉭酸鍶鉍(sbt)、偏鈮酸鉛、鈧鈮酸鉛等壓電陶瓷。由壓電陶瓷構成的壓電體152例如可以由散裝材料形成，也可以使用溶膠－凝膠法形成。需要說明的是，作為壓電體152的構成材料，也可以使用聚偏氟乙烯、水晶等。

在以上那樣的構成的多個壓電元件15a、15b、15c、15d、15e上以一并覆蓋這些壓電元件的方式設有保護層16。作為該保護層16的構成材料，例如，能夠使用硅酮樹脂、環氧樹脂、聚酰亞胺樹脂等。另外，保護層16例如能夠使用旋涂法形成。

另外，由上述那樣的第一電極151、壓電體152、第二電極153以及保護層16構成的層疊體也被配置在基板14的固定部142上。由此，能夠經由粘合層12穩定地接合兩個壓電元件單元11。

以上說明的那樣的構成的兩個壓電元件單元11的保護層16彼此經由粘合層12接合。作為粘合層12，例如能夠列舉環氧樹脂等。

這樣一來，層疊有兩個壓電元件單元11的壓電元件15。由此，能夠對被驅動部的一個位置傳遞較大的驅動力。另外，即使一個壓電元件單元11的壓電元件15發生故障，也能夠隨著剩余的壓電元件單元11的壓電元件15的驅動來驅動該故障的壓電元件單元11的壓電元件15。

另外，在兩個壓電元件單元11的驅動部141的與固定部142相反的一側的端部例如通過粘合劑固定有凸部件13。在本實施方式中，凸部件13呈圓筒狀，并以該圓筒面的一部分從驅動部141突出的方式設置。作為凸部件13的構成材料，優選耐磨性優異的材料，例如，能夠列舉陶瓷等。需要說明的是，對于凸部件13的形狀，若能夠向被驅動部傳遞驅動力，則并不限定于圓筒狀。

(驅動電路)

如圖1所示，驅動電路20與五個壓電振動體10各自的第二電極153b、153d電連接。該驅動電路20具有通過將電壓值周期性變化的電壓信號作為驅動信號分別輸入到第二電極153b、153d，驅動壓電元件15a、15b、15c、15d的功能。另外，如圖4所示，這樣的驅動電路20具有輸出電壓值周期性變化的電壓信號vin的驅動電壓產生電路21。另外，雖然未圖示，但驅動電路20與五個壓電振動體10各自的第二電極153f電連接。而且，驅動電路20具有通過將電壓值周期性變化的電壓信號作為驅動信號輸入到第二電極153f，驅動壓電元件15f的功能。此處，驅動電壓產生電路21是對多個壓電元件15a、15b、15c、15d、15的每一個供給電力的“電力供給部”。

若對第二電極153b輸入電壓值周期性變化的驅動信號，則壓電元件15b、15c分別反復向圖5中的箭頭a所示的方向伸長和收縮。由此，隨著驅動部141的彎曲振動，設于驅動部141的長邊方向上的一端部的凸部件13向圖5中的箭頭b所示的方向和與其相反的方向往復移動(振動)。通過將這樣振動的凸部件13的驅動力作為旋轉力傳遞到被驅動部亦即轉子50，能夠使轉子50繞其轉動軸o向圖5中的箭頭c所示的方向旋轉。此時，通過對壓電元件15f輸入與壓電元件15b、15c同步的驅動信號，能夠增大由凸部件13給予轉子50的驅動力、控制凸部件13的軌道。需要說明的是，對第二電極153d輸入電壓值周期性變化的驅動信號，同樣地，通過壓電元件15a、15d的驅動，也能夠使凸部件13向圖5中的箭頭b所示的方向往復移動(振動)。該情況下，也可以對第二電極153b輸入驅動信號，此時，例如使該驅動信號的相位相對于輸入到第二電極153d的驅動信號的相位偏移180°即可。

根據以上說明的那樣的壓電致動器1，多個壓電振動體10的壓電元件15a、15d以并聯的方式與同一個驅動電壓產生電路21電連接。因此，即使壓電致動器1具有的多個壓電元件15a、15d中的一部分壓電元件由于斷線等而發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件而向被驅動部傳遞驅動力。同樣地，多個壓電振動體10的壓電元件15b、15c以并聯的方式電連接。因此，即使壓電致動器1具有的多個壓電元件15b、15c中的一部分壓電元件由于斷線等而發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件而向被驅動部傳遞驅動力。

第二實施方式

接下來，對本發明的第二實施方式進行說明。

圖6是表示本發明的第二實施方式所涉及的壓電致動器所具備的多個壓電元件的連接狀態的圖。

本實施方式除了追加了線圈以及電容器以外，與上述的第一實施方式相同。

需要說明的是，在以下的說明中，關于本實施方式，以與上述的實施方式的不同點為中心進行說明，關于相同的事項則省略其說明。另外，在圖6中，對與上述的實施方式相同的構成標注相同的附圖標記。

圖6所示的壓電致動器1a具備具有驅動電壓產生電路21以及共振元件22的驅動電路20a。共振元件22以并聯的方式與多個壓電元件15a、15d電連接。該共振元件22具有以串聯的方式電連接的線圈221以及電容器222。

線圈221是具有電流的變化作為感應電動勢顯現的性質的電感器。優選在將線圈221的電感設為ls，將驅動信號的頻率設為fvin，并將以并聯的方式電連接的多個壓電元件15a、15d或者多個壓電元件15b、15c的總共的靜電電容設為cpz時，滿足fvin＝1/(2π√(ls·cpz))的關系。由此，通過多個壓電元件15a、15d或者多個壓電元件15b、15c以及線圈221能夠構成并聯共振電路。另外，能夠使該并聯共振電路的共振頻率與驅動信號的頻率(交流成分的頻率)一致。因此，通過線圈221能夠降低在各壓電元件15a、15d或者各壓電元件15b、15c流動的電流。結果，能夠降低驅動電路20a的消耗電力。

這樣，通過具備以并聯的方式與多個壓電元件15a、15d或者多個壓電元件15b、15c電連接的線圈221，能夠降低多個壓電元件15a、15d或者多個15b、15c以并聯的方式電連接所引起的電壓效應。

需要說明的是，電感ls即使稍微偏離滿足上述的關系的值，例如，若在將滿足上述的關系的值設為100％時在90％以上110％以下的范圍內，則也能夠發揮上述的效果。此處，優選上述的關系式的右邊的值在頻率fvin的±5％的范圍內。

另外，線圈221的電感可變。由此，即使多個壓電元件15a、15d或者多個壓電元件15b、15c中的一部分壓電元件發生故障，也能夠通過調整線圈221的電感，維持上述的關系，降低剩余的多個壓電元件以并聯的方式電連接所引起的電壓效應。需要說明的是，線圈221的電感也可以固定。

另外，電容器222具有阻止在線圈221中流動的直流成分的功能。由此，在驅動信號具有直流成分的情況下，通過由電容器222阻止在線圈221中流動的直流成分，能夠適當地發揮降低上述的電壓效應的效果。需要說明的是，在驅動信號不具有直流成分的情況下，也可以省略電容器222。

根據以上說明的第二實施方式，即使多個壓電元件中的一部分壓電元件發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件。

第三實施方式

接下來，對本發明的第三實施方式進行說明。

圖7是表示本發明的第三實施方式所涉及的壓電致動器所具備的壓電振動體的剖視圖。

本實施方式除了壓電振動體的構成不同以外，與上述的第一實施方式相同。

需要說明的是，在以下的說明中，關于本實施方式，以與上述的實施方式的不同點為中心進行說明，關于相同的事項則省略其說明。另外，在圖7中，對與上述的實施方式相同的構成標注相同的附圖標記。

如圖7所示，本實施方式的壓電致動器所具備的壓電振動體10b層疊有多個壓電振動體10。此處，相互相鄰的兩個壓電振動體10的基板14彼此通過粘合劑17接合。作為該粘合劑17，并無特別限定，例如，能夠列舉環氧類粘合劑等。這樣通過層疊多個壓電振動體10的壓電元件15，能夠對被驅動部的一個位置傳遞較大的驅動力。另外，即使一部分的壓電振動體10的壓電元件15發生故障，也能夠隨著剩余的壓電振動體10的壓電元件15的驅動來驅動該故障的壓電振動體10的壓電元件15。

根據以上說明的第三實施方式，即使多個壓電元件中的一部分壓電元件發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件。

2.壓電馬達

接下來，對本發明的壓電馬達的實施方式進行說明。

圖8是表示本發明的壓電馬達的實施方式的示意立體圖。

圖8所示的壓電馬達100具有能夠繞轉動軸o旋轉的被驅動部亦即轉子50和沿著轉子50的外周面排列配置的多個壓電振動體10。另外，雖然未圖示，但在多個壓電振動體10電連接有與上述的第一實施方式相同的驅動電路20。即，壓電馬達100具備上述的壓電致動器1。

在這樣的壓電馬達100中，通過使多個壓電振動體10分別驅動(振動)，使轉子50繞轉動軸o向圖8中的箭頭c所示的方向旋轉。

根據這樣的具備壓電致動器1的壓電馬達100，即使多個壓電元件15a、15b、15c、15d中的一部分壓電元件由于斷線等而發生故障，也能夠驅動剩余的壓電元件而向被驅動部傳遞驅動力。因此，壓電馬達100具有優異的可靠性。

另外，由于具備多組層疊的兩個壓電元件單元11的壓電元件15，所以能夠對被驅動部的多個位置傳遞驅動力。

3.機器人以及手部

接下來，對本發明的機器人以及手部的實施方式進行說明。

圖9是表示本發明的機器人的實施方式的示意結構圖。圖10是說明圖9所示的機器人所具備的多指手部的示意圖。

圖9所示的機器人1000能夠進行精密設備、構成該設備的部件(對象物)的供料、除料、輸送以及組裝等作業。

機器人1000是6軸的垂直多關節機器人，具有基臺1100、與基臺1100連接的機器人臂1200、設于機器人臂1200的前端部的力檢測器(未圖示)以及手部1400。另外，機器人1000具有產生使機器人臂1200驅動的動力的多個驅動源(包括壓電致動器1的驅動源)。

基臺1100是將機器人1000安裝到任意的設置位置的部分。需要說明的是，基臺1100的設置位置并無特別限定，例如，能夠列舉地板、墻壁、天花板、能夠移動的臺車上等。

機器人臂1200具有第一臂1210、第二臂1220、第三臂1230、第四臂1240、第五臂1250、以及第六臂1260，這些臂從基端側(基臺1100側)朝向前端側依次連結。第一臂1210與基臺1100連接。在第六臂1260的前端，例如以能夠拆裝的方式安裝有把持各種部件等的手部1400(末端執行器)。該手部1400具有兩根手指1410，利用手指1410例如能夠把持各種部件等。

在第五臂1250作為驅動第六臂1260的驅動源設有多個壓電振動體10。另外，雖然未圖示，但在基臺1100、第一～第四臂1210～1240分別設有具有馬達以及減速機的驅動源。而且，各驅動源被未圖示的控制裝置控制。

如圖10所示，設于第五臂1250的多個壓電振動體10繞第六臂1260相對于第五臂1250的轉動軸o在圓周方向排列設置。而且，該各壓電振動體10對第六臂1260的端面給予繞轉動軸o的驅動力。由此，能夠使第六臂1260相對于第五臂1250繞轉動軸o轉動。

另外，在作為多指手部的手部1400也與各指1410對應地設有多個壓電振動體10，該各壓電振動體10對手指1410給予接近或者遠離轉動軸o的方向的驅動力。由此，能夠使兩根手指1410向接近或者遠離的方向移動。

根據以上說明的那樣的機器人1000以及作為多指手部的手部1400，由于分別具備壓電致動器1，所以能夠發揮優異的可靠性。

4.泵

接下來，對本發明的泵的實施方式進行說明。

圖11是表示本發明的泵的實施方式的示意圖。

圖11所示的送液泵2000(泵)具有儲液罐2100、軟管2200、壓電致動器1、轉子2300、減速傳遞機構2400、凸輪2500、以及多個指部2600，它們被收納在外殼2700內。在儲液罐2100存積有作為輸送對象的液體。軟管2200是具有用于從儲液罐2100輸送液體的流路的可撓性的管。壓電致動器1具備的多個壓電振動體10的凸部件13與轉子2300的外周面接觸，使轉子2300旋轉驅動。轉子2300的旋轉力經由減速傳遞機構2400傳遞到凸輪2500。多個指部2600沿著軟管2200的長邊方向排列配置，并隨著凸輪2500的旋轉依次被設于凸輪2500的外周面的突起部2510按向軟管2200。由此，多個指部2600從軟管2200的液體的輸送方向上游側的指部2600向下游側的指部2600依次通過擠壓而使軟管2200關閉。這樣一來，軟管2200內的液體從輸送方向上游側向下游側輸送。

根據這樣的送液泵2000，能夠高精度地對少量的液體進行輸送，并且能夠使送液泵2000整體小型化。因此，送液泵2000例如，能夠適當地使用于將胰島素等藥液供給人體的給藥裝置等。

特別是，根據送液泵2000，通過具備壓電致動器1，能夠發揮優異的可靠性。

以上，基于圖示的實施方式對本發明的壓電致動器、壓電馬達、機器人、手部以及泵進行了說明，但本發明并不限定于此，各部的構成能夠替換為具有相同的功能的任意的構成。另外，也可以對本發明附加其它的任意的結構物。另外，也可以適當地組合各實施方式。

附圖標記說明

1…壓電致動器，1a…壓電致動器，10…壓電振動體，10b…壓電振動體，11…壓電元件單元，12…粘合層，13…凸部件，14…基板，15…壓電元件，15a…壓電元件，15b…壓電元件，15c…壓電元件，15d…壓電元件，15e…壓電元件，15f…壓電元件，16…保護層，17…粘合劑，20…驅動電路，20a…驅動電路，21…驅動電壓產生電路，22…共振元件，50…轉子，100…壓電馬達，141…驅動部，142…固定部，143…連接部，151…第一電極，152…壓電體，153…第二電極，153a…第二電極，153b…第二電極，153c…第二電極，153d…第二電極，153e…第二電極，153f…第二電極，221…線圈，222…電容器，1000…機器人，1100…基臺，1200…機器人臂，1210…第一臂，1220…第二臂，1230…第三臂，1240…第四臂，1250…第五臂，1260…第六臂，1400…手部，1410…手指，2000…送液泵，2100…儲液罐，2200…軟管，2300…轉子，2400…減速傳遞機構，2500…凸輪，2510…突起部，2600…指部，2700…外殼，c…箭頭，o…轉動軸，vin…電壓信號，a…箭頭，b…箭頭，c…箭頭。