專利名稱：一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器,屬于聲表面波溫度傳感技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在傳統(tǒng)SPUDT (Single Phase Unidirectional Transducer,單相單向換能器)技術(shù)中，不論使用1/4還是3/8波長指寬的反射指，幅頻響應(yīng)的高端過渡帶上總會激發(fā)出一定高度的聲體波效應(yīng)，而在現(xiàn)有技術(shù)中還沒有一種能夠降低過渡帶上激發(fā)的體波的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為解決·現(xiàn)有的聲表面波溫度傳感技術(shù)存在的無法降低過渡帶上激發(fā)的體波的問題，進而提供了一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器。為此，本發(fā)明提供了如下的技術(shù)方案:—種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設(shè)有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結(jié)構(gòu)。本發(fā)明采用采用鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發(fā)的體波的影響。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是本發(fā)明的具體實施方式
提供的本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明的具體實施方式
提供的傳輸指和負指的外鏤空結(jié)構(gòu)的示意圖；圖3是本發(fā)明的具體實施方式
提供的鏤空電極的技術(shù)細節(jié)原理圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本具體實施方式
提供了一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，如圖1所不，包括基片1、輸入換能器2和輸出換能器3,基片I上設(shè)有相互稱合的輸入換能器2和輸出換能器3，輸入換能器2和輸出換能器3均為鏤空反射電極結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，在鏤空反射電極結(jié)構(gòu)中的傳輸叉指電極為1/8波長結(jié)構(gòu)、反射電極為3/8波長，在所述反射電極中間按照預(yù)定比例被鏤空出一定寬度的縫隙，并在縱向按照波長的特定比例進行截斷。具體的，本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器的原理是在傳統(tǒng)SPUDT基礎(chǔ)上，如圖2所示，將傳輸指和負指(指寬 1/8波長)做外鏤空，將反射指(寬度為3.33333/8波長)做內(nèi)鏤空，縱向各自按照一定波長比例，并相互錯位。其中，鏤空電極的技術(shù)細節(jié)如圖3所示，A = 1.03333/8波長，B = 3.03333/16波長，C = 1.03333/16 波長，D = (1-0.03333)/8 波長，E = 3.3333/8 波長，F(xiàn) = 3 波長，G =3波長。輸入發(fā)射聲表面波(SAW),并被輸出換能器接受,通過這樣的聲電電聲的轉(zhuǎn)換過程實現(xiàn)電信號的過濾功能。通過現(xiàn)代微電子技術(shù)的光刻技術(shù)方式，在實際生產(chǎn)中，通過正膠剝離工藝的方法，使本具體實施方式
提供的基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器能夠保證所有鏤空處線條寬度的精準(zhǔn)度，最終實現(xiàn)了合格產(chǎn)品。采用本具體實施方式
提供的技術(shù)方案，通過采用采用鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發(fā)的體波的影響。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明實施例揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設(shè)有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，其特征在于，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，其特征在于，所述鏤空反射電極結(jié)構(gòu)中的傳輸叉指電極為1/8波長結(jié)構(gòu)、反射電極為3/8波長，在所述反射電極中間按照預(yù)定比例被鏤空出一定寬度的縫隙，并在縱向按照波長的特定比例進行截斷。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種基于鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的聲表面波濾波器，包括基片、輸入換能器和輸出換能器，所述基片上設(shè)有相互耦合的輸入換能器和輸出換能器，所述輸入換能器和輸出換能器均為鏤空反射電極結(jié)構(gòu)。本發(fā)明采用采用鏤空反射電極結(jié)構(gòu)的輸入換能器和輸出換能器，能夠有效地提高高端帶外抑制，從而降低過渡帶上激發(fā)的體波的影響。
文檔編號H03H9/64GK103152010SQ201310080350
公開日2013年6月12日 申請日期2013年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月14日
發(fā)明者張敬鈞, 董啟明 申請人:北京中訊四方科技股份有限公司