專利名稱：一種多晶硅鑄錠爐的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種多晶硅鑄錠爐，特別涉及太陽能多晶硅的鑄錠爐。
二背景技術：
現有技術中的多晶硅鑄錠生產方法， 一種是保持加熱器和保溫罩
不動，向下移動裝有熔化后多晶硅料的坩堝；使裝有熔化后多晶硅料 與加熱器相對位置發生變化，慢慢移出加熱器，從而使熔化后多晶硅 料形成縱向溫度梯度，熔化后多晶硅料慢慢結晶，最終形成多晶硅鑄 錠。另一種是保持加熱器和坩堝不動，向上移動保溫罩，使保溫罩與 下保溫底板之間脫離形成一個縫隙，熱量從縫隙中泄漏，坩堝底部冷 卻，從而使熔化后多晶硅料形成縱向溫度梯度，熔化后多晶硅料慢慢 結晶，最終形成多晶硅鑄錠。這兩種方法為了形成多晶硅料的縱向溫 度梯度，移動的部件體積大、重量大，運動過程中容易發生振動、爬 行等，影響多晶硅的結晶質量。
三、 技術內容
針對上述現有技術存在的缺陷，本發明目的在于提供一種結構簡 單，運動輕巧平穩，安裝使用方便，工藝可靠的一種多晶硅鑄錠爐。 圖l為本發明的結構示意圖；參見

圖1所示，本發明的多晶硅鑄錠爐，包括爐底2通過液壓提 升油缸20與爐筒6相連接并通過支腿5、調整墊鐵4安裝在機座1 上，爐蓋9安裝在爐筒6上，爐底2上設置有觀察孔3，安裝著由滑座 25、絲杠26、減速器27、電機28、導向導軌29等組成的下傳動部 件，滑座25通過連桿23與保溫底板21連接，并通過波紋管24實現密 封，滑座25移動通過連桿23帶動保溫底板21移動，使得保溫底板21 與保溫罩15脫開滿足工藝需要。爐底2內裝有支撐柱22支撐導熱塊 18，導熱塊18上面放置被加熱的多晶硅料及坩堝系統16，多晶硅料及 坩堝系統16通過加熱器17進行加熱，加熱器17的加熱能量通過水冷 電纜11和電極8傳送，電極8通過絕緣套14與爐蓋9連接；保溫罩 15通過支腳19與爐筒6固定，爐筒6又抽真空口7，爐蓋9上部安裝 著觀察孔12和充氣孔13;溫度傳感器IO、 30、 31用來測量工藝溫 度；液壓提升油缸20用來升降爐底2，實現裝料、取料工作。
工作時，啟動液壓提升油缸20，降下爐底2、導熱塊18、保溫底 板21及滑座25、絲杠26、減速器27、電機28、導向導軌29等組成 的下傳動部件；將多晶硅料及坩堝系統16放置在導熱塊18上，然 后，閉合下爐底2等，加熱多晶硅料，直至熔化；隨后，調節下傳 動，帶動保溫底板21按工藝要求下降，使保溫罩15內的溫度發生變 化，實現多晶硅料的定向凝固生長；
本發明具有結構簡單，運動輕巧平穩，安裝使用方便，工藝可靠等 特點，廣泛用于太陽能多晶硅鑄錠的制備和其它材料的定向凝固生 長。
權利要求
1、一種多晶硅鑄錠爐，包括爐底2通過液壓提升缸20與爐筒6相連接并通過支腿5、調整墊鐵4安裝在機座1上，爐蓋9安裝在爐筒6上，爐底2上設置有觀察孔3，安裝著由滑座25、絲杠26、減速器27、電機28、導向導軌29等組成的下傳動部件，滑座25通過連桿23與保溫底板21連接，并通過波紋管24實現密封，滑座25移動通過連桿23帶動保溫底板21移動，使得保溫底板21與保溫罩15脫開滿足工藝需要。爐底2內裝有支撐柱22支撐導熱塊18，導熱塊18上面放置被加熱的多晶硅料及坩堝系統16，多晶硅料及坩堝系統16通過加熱器17進行加熱，加熱器17的加熱能量通過水冷電纜11和電極8傳送，電極8通過絕緣套14與爐蓋9連接；保溫罩15通過支腳19與爐筒6固定，爐筒6又抽真空口7，爐蓋9上部安裝著觀察孔12和充氣孔13；溫度傳感器10、30、31用來測量工藝溫度；液壓提升油缸20用來升降爐底2，實現裝料、取料工作。
2、 根據權利要求l所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于滑座25移 動通過連桿23帶動保溫底板21移動，使得保溫底板21與保溫罩15脫開滿足工藝需要。
3、 根據權利要求1或2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于爐底2 通過液壓提升油缸20實現升降；爐底2上設置有觀察孔3。
全文摘要
本發明是一種多晶硅鑄錠爐，特別涉及太陽能多晶硅的鑄錠爐。包括爐底、爐筒、爐蓋組成的工作室，爐底通過液壓提升缸與爐筒安裝在爐筒上，爐底上設置有觀察孔，爐底上安裝著由滑座、絲杠、減速器、電機、導向導軌等組成的下傳動部件，滑座通過連桿帶動保溫底板移動，使得保溫底板與保溫罩脫開滿足工藝需要。爐底內裝有支撐柱支撐導熱塊，導熱塊上面放置被加熱的多晶硅料及坩堝系統，多晶硅料及坩堝系統通過加熱器進行加熱，爐蓋上部安裝著觀察孔和充氣孔；三組溫度傳感器用來測量工藝溫度；液壓提升油缸用來升降爐底，實現裝料、取料工作。
文檔編號C30B35/00GK101429677SQ20071016812
公開日2009年5月13日 申請日期2007年11月7日 優先權日2007年11月7日
發明者 馮, 李留臣 申請人:常州華盛天龍機械有限公司