專利名稱:太陽能電池擴散用源瓶的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及ー種源瓶,尤其涉及一種太陽能電池擴散用源瓶。
背景技術:
常規擴散爐在采用P0C13 (三氯氧磷)擴散制PN結時,由于生產過程中源量的不斷消耗而使源量液位降低,氣體攜帯P0C13的能力降低。常規源瓶結構剛開始的液位為100mm,結束時的液位為20mm,液位落差(比值)=100/20=5,對擴散方塊電阻的影響為8-12 Ω/ □;對于這種情況,一般通過頻繁的エ藝修改或調整等手段將擴散方塊電阻控制在制程以內;因此,這為エ藝的穩定、エ藝配方的修改或保存及調用帶來麻煩,容易產生管理和控制混亂,造成エ藝監瞀不利或エ藝的錯誤調用,為生產帶來極大損失。
發明內容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能夠避免エ藝的重復修改或調整,使生產制程更加穩定可靠的太陽能電池擴散用源瓶。為了解決上述技術問題,本實用新型是通過以下技術方案實現的ー種太陽能電池擴散用源瓶,包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶,外瓶頂部設置有貫通其內外的進氣ロ和出氣ロ,所述位于外瓶內的進氣ロ末端設置有玻璃導管,所述外瓶內設置有隔層,玻璃導管串通隔層底部。為了提高源量利用率,進ー步地,所述隔層至少有三個。為了提高整個系統源瓶的密封性,進ー步地,所述進氣口和出氣口上端呈凹槽形。為了防止進氣ロ所進氣體產生氣泡,再進ー步地,所述隔層上設置有氣孔。為了更好的防止產生氣泡,更進一歩地,所述氣孔直徑為8_。與現有技術相比,本實用新型的有益之處是這種太陽能電池擴散用源瓶優化較易實現,具有實踐意義,同時提高源瓶內三氯氧磷的利用率,優化后的源瓶不會增加額外負擔或工作,對エ藝穩定性有較好的控制。
以下結合附圖對本實用新型進ー步說明。圖I是本實用新型太陽能電池擴散用源瓶內部結構示意圖;圖2是圖I中A的局部放大圖。圖中1、外瓶;2、進氣ロ; 3、出氣ロ; 4、玻璃導管;5、隔層;6、氣孔。
具體實施方式
以下結合附圖及具體實施方式
對本實用新型進行詳細描述圖I所示一種太陽能電池擴散用源瓶,包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶1,保證了源瓶的長期重復使用而不易變形;所述外瓶I頂部設置有貫通其內外的進氣ロ 2和出氣ロ 3,在進氣ロ 2和出氣ロ 3的上端采用凹槽設計,此設計能提高整個系統源瓶的密封性,使源瓶更安全,也有利于エ藝穩定;所述位于外瓶I內的進氣ロ 2末端設置有玻璃導管4,外瓶I內至少設置有三層隔層5,所述玻璃導管4串通隔層5底部;如圖2所示,為了防止進氣ロ 2進入的氣體產生氣泡影響,所述隔層5上設置有直徑為8_的氣孔6。工作時,進氣ロ 2作為攜帶氣體通ロ(如氮氣/氬氣等性質比較穩定的氣體),通過玻璃導管4深入源瓶內三氯氧磷液體的下部,氣體攜帯部分三氯氧磷分子,經由出氣ロ 3將磷源帶入高溫石英管內進行擴散;由于在源瓶內設置了隔層5,因此同時添加的隔層5占用了一部分體積,使得源瓶內三氯氧磷總剩余量降低,即源量利用率提高。優化后的源瓶剛開始的液位為100mm,結束時的液位為20mm,中間隔層增加的路程 42+70*2 ^ 182mm,液位落差(比值) (100+182)/ (20+182) ^ I. 4,對擴散方塊電阻的影響為1-3 Ω / ロ。因此,這種太陽能電池擴散用源瓶優化較易實現,具有實踐意義,同時提高源瓶內三氯氧磷的利用率,優化后的源瓶不會增加額外負擔或工作,將源量由之前的5:1落差降為I. 3 I. 5之間,對エ藝穩定性有較好的控制。需要強調的是以上僅是本實用新型的較佳實施例而已,并非對本實用新型作任何形式上的限制,凡是依據本實用新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實用新型技術方案的范圍內。
權利要求1.一種太陽能電池擴散用源瓶,包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶(1),外瓶(I)頂部設置有貫通其內外的進氣ロ(2)和出氣ロ(3),所述位于外瓶(I)內的進氣ロ(2)末端設置有玻璃導管(4),其特征在于所述外瓶(I)內設置有隔層(5),玻璃導管(4)串通隔層(5)底部。
2.根據權利要求I所述的太陽能電池擴散用源瓶,其特征在于所述隔層(5)至少有三個。
3.根據權利要求I所述的太陽能電池擴散用源瓶,其特征在于所述進氣ロ(2)和出氣ロ(3)上端呈凹槽形。
4.根據權利要求I所述的太陽能電池擴散用源瓶,其特征在于所述隔層(5)上設置有氣孔(6)。
5.根據權利要求4所述的太陽能電池擴散用源瓶,其特征在于所述氣孔(6)直徑為8mm ο
專利摘要本實用新型涉及一種太陽能電池擴散用源瓶,包括由耐高溫玻璃熔融而成的外瓶,外瓶頂部設置有貫通其內外的進氣口和出氣口,所述位于外瓶內的進氣口末端設置有玻璃導管,所述外瓶內設置有隔層,玻璃導管串通隔層底部;所述隔層至少有三個;所述進氣口和出氣口上端呈凹槽形;所述隔層上設置有氣孔;所述氣孔直徑為8mm。本實用新型的優點是,這種太陽能電池擴散用源瓶優化較易實現,具有實踐意義,同時提高源瓶內三氯氧磷的利用率,優化后的源瓶不會增加額外負擔或工作,對工藝穩定性有較好的控制。
文檔編號C30B31/16GK202626353SQ20122014079
公開日2012年12月26日 申請日期2012年4月6日 優先權日2012年4月6日
發明者錢小鋒, 劉志敏, 聞明 申請人:南京遠景新能源有限公司