技術編號：41738153
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及壓力傳感器，具體地涉及對不期望刺激具有改善的抑制的mems(“微機電系統”)類型的壓力傳感器。背景技術、已知mems壓力傳感器具有被配置為根據待測量的外部壓力而變形的膜。通過例如通過壓電電阻器檢測膜的變形，可以獲得外部壓力的測量值。、然而，如已知的，mems壓力傳感器受到不期望的機械刺激，該機械刺激可能引起膜的寄生(spurious)的、不期望的變形。這引起mems壓力傳感器的低檢測精確度。、不期望的機械刺激可以被劃分成：外部刺激，例如，其上安裝有壓力傳感器的pcb的彎曲、壓力傳...
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