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懸掛式搬運裝置及其檢測方法與流程技術資料下載

技術編號:41754958

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本發明內容是有關于一種懸掛式搬運裝置及一種懸掛式搬運裝置的檢測方法。背景技術、一般而言,半導體自動化物流系統中常采用懸掛式搬運(overhead?hoisttransport;oht)裝置,以在生產場域內運輸物料。進一步而言,懸掛式搬運裝置包含沿著軌道在生產場域內運送不同物料的車體。軌道包含組裝在一起的多個區段,以完成復雜的布局。然而,在長期使用下,軌道的各個區段之間的間隙會增大(例如,等于或大于臨界距離),導致車體的內部負載增加。因此,當車體通過軌道的這些間隙時,會發生晃動問題,并且此晃動問...
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